電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
用氮離子注入的方法制備了4H-SiC歐姆接觸層。注入層的離子濃度分布由蒙特卡羅分析軟件 TRIM模擬提取，Si面4H-SiC-Ni/Cr合金歐姆接觸的特性由傳輸線方法結(jié)構(gòu)進行了測量，得到氮離子注入層的方塊電阻Rsh為30 kΩ/square, Ni/Cr合金與離子注入層的歐姆接觸電阻ρc為7.1×10?4 Ωcm2。
關(guān) 鍵 詞 SiC; 離子注入; 歐姆接觸; 方塊電阻
Abstract Doping by nitrogen ion-implantation is used to fabricate the Ohmic contacts of 4H-SiC. The implantation depth profile is simulated with the Monte Carlo simulator TRIM. Ni/Cr/Si-face 4H-SiC Ohmic contacts are measured by transfer length method structures. The result for sheet resistance Rsh of the implanted layers is 30 kΩ/square. The specific contact resistances ρc of Ohmic contacts is 7.1×10?4 Ωcm2.
Key words silicon carbide; ion implantation; Ohmic contact; sheet resistance
Fabrication of Ohmic Contacts to 4H-SiC Created by Ion-Implantation
- 控制多晶硅（poly-Si）/4H-SiC異質(zhì)結(jié)二極管能壘高度（ΦB）的方法 0次下載
- 離子注入高效SE電池 3次下載
- SiC肖特基紫外光電探測器的研制 60次下載
- 提高直升機齒輪傳動干運轉(zhuǎn)能力的離子注入技術(shù) 42次下載
- 離子注入生物實驗的計算機控制技術(shù)研究 0次下載
- 離子束注入技術(shù)應(yīng)用 0次下載
- 離子注入知識常見問答 0次下載
- 離子注入工藝(ion implantation) 119次下載
- 大規(guī)模集成技術(shù)5-離子注入ppt 0次下載
- 金屬表面改性用離子注入的機理和特點 68次下載
- 離子注入(Ion Implantation)教程 0次下載
- 集成電路工藝技術(shù)講座-離子注入(Ion implantation) 0次下載
- 離子注入工藝 (課程設(shè)計資料) 84次下載
- 離子注入摻雜銳鈦礦TiO2薄膜的光學(xué)性能 16次下載
- M5525100－1/UM型大角度離子注入機
- SiC的離子注入工藝及其注意事項 406次閱讀
- 源漏離子注入工藝的制造流程 403次閱讀
- SiC與GaN 功率器件中的離子注入技術(shù)挑戰(zhàn) 1417次閱讀
- 介紹離子注入在電容極板和濕法腐蝕自停止技術(shù)上的應(yīng)用 934次閱讀
- 什么是離子注入？離子注入的應(yīng)用介紹 5275次閱讀
- 一文解析離子注入的溝道效應(yīng) 4064次閱讀
- 離子注入中的劑量和濃度之間有何關(guān)系呢？ 3164次閱讀
- 離子注入涉及到的隧道效應(yīng)為什么需要7°角？ 1642次閱讀
- 原位摻雜、擴散和離子注入的相關(guān)原理及其區(qū)別介紹 5202次閱讀
- 碳化硅離子注入和退火工藝介紹 3151次閱讀
- 什么是離子注入？離子注入相對于擴散的優(yōu)點？ 4494次閱讀
- 半導(dǎo)體離子注入工藝評估 4861次閱讀
- 離子注入技術(shù)的優(yōu)點和應(yīng)用 3248次閱讀
- 8英寸導(dǎo)電型4H-SiC單晶襯底制備與表征 2734次閱讀
- SiC器件中SiC材料的物性和特征,功率器件的特征,SiC MOSFET特征概述 1w次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1DC電源插座圖紙
- 0.67 MB | 2次下載 | 免費
- 2AN158 GD32VW553 Wi-Fi開發(fā)指南
- 1.51MB | 2次下載 | 免費
- 3AN148 GD32VW553射頻硬件開發(fā)指南
- 2.07MB | 1次下載 | 免費
- 4AN111-LTC3219用戶指南
- 84.32KB | 次下載 | 免費
- 5AN153-用于電源系統(tǒng)管理的Linduino
- 1.38MB | 次下載 | 免費
- 6AN-283: Σ-Δ型ADC和DAC[中文版]
- 677.86KB | 次下載 | 免費
- 7SM2018E 支持可控硅調(diào)光線性恒流控制芯片
- 402.24 KB | 次下載 | 免費
- 8AN-1308: 電流檢測放大器共模階躍響應(yīng)
- 545.42KB | 次下載 | 免費
本月
- 1ADI高性能電源管理解決方案
- 2.43 MB | 450次下載 | 免費
- 2免費開源CC3D飛控資料（電路圖&PCB源文件、BOM、
- 5.67 MB | 138次下載 | 1 積分
- 3基于STM32單片機智能手環(huán)心率計步器體溫顯示設(shè)計
- 0.10 MB | 130次下載 | 免費
- 4使用單片機實現(xiàn)七人表決器的程序和仿真資料免費下載
- 2.96 MB | 44次下載 | 免費
- 53314A函數(shù)發(fā)生器維修手冊
- 16.30 MB | 31次下載 | 免費
- 6美的電磁爐維修手冊大全
- 1.56 MB | 24次下載 | 5 積分
- 7如何正確測試電源的紋波
- 0.36 MB | 17次下載 | 免費
- 8感應(yīng)筆電路圖
- 0.06 MB | 10次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935121次下載 | 10 積分
- 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關(guān)降壓/升壓雙向直流/直流轉(zhuǎn)換器 PCB layout 設(shè)計
- 1.48MB | 420062次下載 | 10 積分
- 3Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233088次下載 | 10 積分
- 4電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191367次下載 | 10 積分
- 5十天學(xué)會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183335次下載 | 10 積分
- 6labview8.5下載
- 未知 | 81581次下載 | 10 積分
- 7Keil工具MDK-Arm免費下載
- 0.02 MB | 73810次下載 | 10 積分
- 8LabVIEW 8.6下載
- 未知 | 65988次下載 | 10 積分
工商網(wǎng)監(jiān)
評論