資料介紹
本發(fā)明提供一種 PVT 法生長(zhǎng) SiC 晶體的籽晶固定方法,包括,將所述籽晶晶片邊緣通過(guò)粘結(jié)劑粘接于具有一定寬度以能可靠粘結(jié)固定所述籽晶的環(huán)形連接件的一端面 ;將所述連接件套裝在端部周邊邊緣開(kāi)槽、且所述槽尺寸與所述連接件匹配的籽晶托上,使所述連接件可靠固定于所述籽晶托,并使所述籽晶晶片緊貼所述端部的端面。本發(fā)明可以確保籽晶與籽晶托之間實(shí)現(xiàn)可靠的粘結(jié)固定,并且避免在籽晶背面涂刷粘結(jié)劑導(dǎo)致的不良影響,同時(shí),籽晶中心大部分區(qū)域與籽晶托緊密接觸,溫度梯度分布均勻,有利于 SiC 晶體的均勻生長(zhǎng),進(jìn)一步提高 SiC 晶體的質(zhì)量。
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