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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導(dǎo)體技術(shù)論文>快速熱處理設(shè)備

      快速熱處理設(shè)備

      2009-12-21 | rar | 221 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      “RHT系列半導(dǎo)體快速熱處理設(shè)備”是微電子所研制開發(fā)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。該設(shè)備已獲1項(xiàng)美國(guó)專利、4項(xiàng)中國(guó)專利、1項(xiàng)日本專利，1990、1991年先后獲得國(guó)家發(fā)明二等獎(jiǎng)和中國(guó)專利金獎(jiǎng)，目前廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)大規(guī)模集成電路、Ⅲ－V族化合物半導(dǎo)體、微機(jī)械的研制與生產(chǎn)中，1997年還獲得德國(guó)CE認(rèn)證，取得了進(jìn)入歐共體市場(chǎng)的準(zhǔn)入證。幾年來，已生產(chǎn)銷售三十多臺(tái)，為國(guó)家節(jié)省外匯一千多萬美元，不僅滿足了國(guó)內(nèi)科研院所、大專院校、生產(chǎn)廠家的需求，而且還出口美國(guó)等地，取得了明顯的社會(huì)效益和一定的經(jīng)濟(jì)效益。
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