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為了正確反映基于光電位置敏感器(PSD)的微位移傳感器的特性，首先介紹了一維光電位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD結(jié)合光學(xué)三角測量法將位移信號轉(zhuǎn)換成電壓信號的工作原理，得出基于PSD的微位移傳感器被測試件位移量與相關(guān)測量電路輸出電壓(S，V)關(guān)系特征，然后基于最小二乘估計算法基本原理， 提出了運用MATLAB語言建立PSD的為了正確反映基于光電位置敏感器(PSD)的微位移傳感器的特性，首先介紹了一維光電位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD結(jié)合光學(xué)三角測量法將位移信號轉(zhuǎn)換成電壓信號的工作原理，得出基于PSD的微位移傳感器被測試件位移量與相關(guān)測量電路輸出電壓(S，V)關(guān)系特征，然后基于最小二乘估計算法基本原理， 提出了運用MATLAB語言建立PSD的微位移傳感器(S，V)關(guān)系特征的數(shù)學(xué)模型的方法， 給出了建模的程序流程圖以及仿真結(jié)果。微位移傳感器(S，V)關(guān)系特征的數(shù)學(xué)模型的方法， 給出了建模的程序流程圖以及仿真結(jié)果。
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