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基于可重用IP(Intellectual Property)的設(shè)計(jì)方法為微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)系統(tǒng)級(jí)建模與仿真技術(shù)提供了新的思路，有望成為未來的主流。它將MEMS分解為梁、質(zhì)量塊、可變電容器等多個(gè)功能結(jié)構(gòu)部件，把這些功能結(jié)構(gòu)部件建立為參數(shù)化的組件模型，組件模型按照器件的功能結(jié)構(gòu)布局相互聯(lián)接形成的網(wǎng)絡(luò)表征整個(gè)MEMS。目前采用該思想建立的組件模型局限于特定的仿真器，通用性差，不能在其他的平臺(tái)上應(yīng)用。
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