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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子教材>MEMS-IC設(shè)計(jì)的新平臺(tái)和結(jié)構(gòu)化方法

      MEMS-IC設(shè)計(jì)的新平臺(tái)和結(jié)構(gòu)化方法

      2010-09-23 | rar | 427 | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      本文介紹了一種MEMS 器件設(shè)計(jì)，及在Cadence Virtuoso 設(shè)計(jì)環(huán)境與集成電子產(chǎn)品一起仿真的新方法。采用德州儀器的數(shù)字微反射鏡器件（DMD）的例子，我們展示新的MEMS - IC 設(shè)計(jì)方法如何可以應(yīng)用到一個(gè)鏡面陣列，并將多個(gè)MEMS 微鏡與電子控制電路一起仿真。
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