電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
雙面拋光已成為硅晶片的主要后續(xù)加工方法，但由于需要嚴格的加工條件，很難獲得理想
的超光滑表面。設(shè)計了硅片雙面拋光加工工藝新路線，并在新研制的雙面拋光機上對硅晶片進行拋光加
工，實驗研究了不同加工參數(shù)對桂晶片表面粗糙度和材料去除率的影響。采用掃描探針顯微鏡和激光數(shù)
字波面干涉儀分別對加工后的硅晶片進行測量，實驗結(jié)果表明：在優(yōu)化實驗條件下硅晶片可以獲得表面
粗糙度0.533nm 的超光滑表面。
的超光滑表面。設(shè)計了硅片雙面拋光加工工藝新路線，并在新研制的雙面拋光機上對硅晶片進行拋光加
工，實驗研究了不同加工參數(shù)對桂晶片表面粗糙度和材料去除率的影響。采用掃描探針顯微鏡和激光數(shù)
字波面干涉儀分別對加工后的硅晶片進行測量，實驗結(jié)果表明：在優(yōu)化實驗條件下硅晶片可以獲得表面
粗糙度0.533nm 的超光滑表面。
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 碳化硅襯底和MEMS晶圓的研磨拋光技術(shù)
- 濺射工藝對晶片碎片的影響 2次下載
- 氮化鎵晶片的化學(xué)機械拋光工藝綜述 46次下載
- 化學(xué)機械拋光(CMP)技術(shù)的發(fā)展、應(yīng)用及存在問題 12次下載
- 化學(xué)機械拋光CMP技術(shù)的發(fā)展應(yīng)用及存在問題 9次下載
- 硅拋光片(CMP)市場和技術(shù)現(xiàn)狀 36次下載
- 半導(dǎo)體單晶拋光片清洗工藝分析 49次下載
- 集成電路的制造工藝 44次下載
- 太陽能電池工藝流程及其拋光技術(shù)的研究 18次下載
- 單晶硅加工流程及其拋光硅片工藝流程 23次下載
- 基于步進電機的表帶拋光研究 1次下載
- ZnSe晶體加工工藝研究 0次下載
- SiC單晶片CMP超精密加工技術(shù)現(xiàn)狀與趨勢 0次下載
- 智能硅晶片貼標機的研制
- 數(shù)控加工工藝分析
- 氬離子拋光技術(shù)：揭示材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的精密樣品制備方法 204次閱讀
- 硅晶圓的制備流程 349次閱讀
- 材料認識-硅拋光片和外延片 2213次閱讀
- 碳化硅晶片的化學(xué)機械拋光技術(shù)研究 2191次閱讀
- 切割工藝參數(shù)對6英寸N型碳化硅晶片的影響 2444次閱讀
- 碳化硅晶片的超精密拋光工藝 4225次閱讀
- 碳化硅單晶襯底加工技術(shù)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢 1901次閱讀
- 使用單晶片自旋處理器的背面清潔研究 515次閱讀
- 蝕刻作為硅晶片化學(xué)鍍前的表面預(yù)處理的效果 713次閱讀
- 利用蝕刻法消除硅晶片表面金屬雜質(zhì)? 794次閱讀
- 詳解硅片的研磨、拋光和清洗技術(shù) 1.5w次閱讀
- 硅晶片的蝕刻預(yù)處理方法包括哪些 1082次閱讀
- 硅拋光片生產(chǎn)工藝流程與光刻的基本 1.3w次閱讀
- 研磨與拋光的區(qū)別 3.2w次閱讀
- MEMS技術(shù)加工工藝與IC工藝區(qū)別 1w次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1PC2596 40V 輸入 150KHz 3A 降壓型電源轉(zhuǎn)換器數(shù)據(jù)手冊
- 2.44 MB | 3次下載 | 免費
- 2臺式主板DDR5內(nèi)存插槽引腳功能表資料
- 0.17 MB | 2次下載 | 5 積分
- 3高壓LED線性驅(qū)動芯片NU517應(yīng)用規(guī)格書
- 0.61 MB | 2次下載 | 免費
- 4ZYNALOG徴格半導(dǎo)體|ZGAD125S14技術(shù)參數(shù)書
- 982.53 KB | 2次下載 | 免費
- 5SM9001電磁爐IGBT驅(qū)動芯片應(yīng)用原理圖資料
- 0.12 MB | 2次下載 | 1 積分
- 6ZYNALOG徴格半導(dǎo)體|ZGAD125S12技術(shù)參數(shù)書
- 920.47 KB | 1次下載 | 免費
- 7APMS系列多通道相參微波信號發(fā)生器
- 1.46 MB | 1次下載 | 免費
- 8微盟/ME原裝正品SOT89 L7135線性恒流LED驅(qū)動電路
- 193.78 KB | 1次下載 | 免費
本月
- 1常用電子元器件集錦
- 1.72 MB | 24495次下載 | 免費
- 2三相逆變主電路的原理圖和PCB資料合集免費下載
- 27.35 MB | 111次下載 | 1 積分
- 3蘋果iphone 11電路原理圖
- 4.98 MB | 17次下載 | 5 積分
- 4運算放大器基本電路中文資料
- 1.30 MB | 16次下載 | 免費
- 5常用電子元器件介紹
- 3.21 MB | 13次下載 | 免費
- 6PC2456高壓浪涌抑制器控制器數(shù)據(jù)手冊
- 3.03 MB | 13次下載 | 免費
- 7PC2464具理想二極管的浪涌抑制控制器數(shù)據(jù)手冊
- 4.42 MB | 8次下載 | 免費
- 8PC2466高電壓浪涌抑制器數(shù)據(jù)手冊
- 3.37 MB | 8次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935132次下載 | 10 積分
- 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關(guān)降壓/升壓雙向直流/直流轉(zhuǎn)換器 PCB layout 設(shè)計
- 1.48MB | 420064次下載 | 10 積分
- 3Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233089次下載 | 10 積分
- 4電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191401次下載 | 10 積分
- 5十天學(xué)會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183345次下載 | 10 積分
- 6labview8.5下載
- 未知 | 81591次下載 | 10 積分
- 7Keil工具MDK-Arm免費下載
- 0.02 MB | 73816次下載 | 10 積分
- 8LabVIEW 8.6下載
- 未知 | 65990次下載 | 10 積分
工商網(wǎng)監(jiān)
評論