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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>DSP>基于DSP平臺判定光學膜厚監(jiān)控信號極值

      基于DSP平臺判定光學膜厚監(jiān)控信號極值

      2010-07-27 | rar | 349 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      針對光學監(jiān)控系統(tǒng)（OMS）實際工作中面臨監(jiān)控信號含有噪聲分量過大；極值點附近信號不夠靈敏兩大困難。本文采用基于遺忘因子的自適應(yīng)卡爾曼濾波（AKF）對光學膜厚監(jiān)控信號進行去噪處理；并采用基于電壓補償和設(shè)置差分微小閾值δ的極值點判定方法。最后通過DSP開發(fā)平臺實現(xiàn)上述算法。實驗結(jié)果表明AKF輸出監(jiān)控信號噪聲被明顯抑制；最終本文方案判定極值點平均膜厚監(jiān)控相對誤差僅為1.07%。
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