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MEMS 振蕩器已得到了非常廣泛的使用，并在很多應(yīng)用中穩(wěn)步取代晶體振蕩器。MEMS 振蕩器與晶體振蕩器相比具有諸多顯著的優(yōu)勢，例如提高了可靠性和對機(jī)械應(yīng)力的抗力，以及在寬溫度范圍內(nèi)保持平穩(wěn)的性能。MEMS 振蕩器還具備一定的靈活性，可通過編程和配置生成多個輸出時鐘。
在過去的數(shù)十年，每當(dāng)有應(yīng)用需要穩(wěn)定的低抖動時鐘源時，我們都會使用晶體振蕩器。
近年來出現(xiàn)了一種使用MEMS來構(gòu)建諧振器的新技術(shù)。 MEMS 振蕩器與晶體振蕩器相比具有一些顯著的優(yōu)勢。首先，它們能夠抵御機(jī)械沖擊、振動、撓曲和墜落，因而非常堅(jiān)固和可靠，這要?dú)w功于其封裝結(jié)構(gòu)對諧振器形成了一種自然保護(hù)。第二，MEMS 諧振器具有偽線性溫度系數(shù)，因而易于補(bǔ)償；這可確保諧振器整個溫度范圍（最高可超過 +125°C）內(nèi)保持穩(wěn)定的時鐘頻率 （意味著低 ppm）。
顯而易見，這兩種特性讓MEMS振蕩器非常適合一些環(huán)境惡劣的工業(yè)和汽車應(yīng)用。
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