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壓力傳感器廣泛應(yīng)用于各種現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，對(duì)于在機(jī)車、冶金、石油化工、動(dòng)力機(jī)械、航空航天等工程領(lǐng)域應(yīng)用的傳感器來講，研究高可靠性及耐高溫的壓力傳感器具有重要的實(shí)際意義。例如航空發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)出口油壓測(cè)量，發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室氣體壓力測(cè)量、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)用機(jī)油壓力測(cè)量、增壓熱燃?xì)鈬娍趬毫y(cè)量時(shí)，一旦傳感器失效或者泄漏，不僅會(huì)造成測(cè)量輸出異常，甚至?xí)斐扇藛T傷亡。目前，工業(yè)上常見的壓力傳感器芯片為擴(kuò)散硅原理，壓敏電阻和襯底通過PN結(jié)電隔離，當(dāng)工作溫度超過120℃時(shí)硅材料本征激發(fā)PN結(jié)會(huì)反向?qū)щ?，所以不能在高?20℃的環(huán)境下進(jìn)行壓力測(cè)量，傳感器敏感元件的安裝結(jié)構(gòu)通常為O型密封圈“懸浮”結(jié)構(gòu)，存在泄露隱患。針對(duì)某工程領(lǐng)域?qū)嶋H需求，提出了一種高可靠性壓力傳感器的設(shè)計(jì)方法，傳感器芯片采用（ silicon-orrinsulator，SOI）原理，具有優(yōu)良的高溫性能，敏感元件通過電子束焊接8連接，輸出信號(hào)還還將進(jìn)行溫度補(bǔ)償。最后經(jīng)過環(huán)境試驗(yàn)證明，該產(chǎn)品的的可靠性和性能指標(biāo)可以滿足工程要求。
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