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摘要：利用SON2薄膜光波導(dǎo)傳感元件，研究了檢測(cè)二甲苯蒸氣的新方法。采用溶膠-凝膠法制備了SNO2薄膜/錫摻雜玻璃光波導(dǎo)元件，將該元件固定在光波導(dǎo)氣體檢測(cè)系統(tǒng)，對(duì)揮發(fā)性有機(jī)物蒸氣進(jìn)行檢測(cè)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，室溫下該敏感元件對(duì)二甲苯蒸氣有較高的選擇性響應(yīng)。對(duì)于體積分?jǐn)?shù)為2.510的-7次方的二甲苯承氣，響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間分別為5S和36S。該元件具有響應(yīng)快、可逆性好、靈敏度高等特點(diǎn)。
關(guān)鍵詞：玻璃光波導(dǎo)，二甲苯，SNO2
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