論述了微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)工具的發(fā)展概況，并針對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)的多樣性對(duì)設(shè)計(jì)工具的需求提出了一種可支持任意流程的微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)工具架構(gòu)。該架構(gòu)以系統(tǒng)級(jí)行為建模與仿真、器件級(jí)物理建模與仿真和工藝級(jí)版圖設(shè)計(jì)與工藝仿真三個(gè)設(shè)計(jì)層級(jí)為主干，但特別地提出以六個(gè)數(shù)據(jù)自動(dòng)傳遞接口來連接任意兩個(gè)設(shè)計(jì)層級(jí)。這樣，三個(gè)設(shè)計(jì)層級(jí)通過六個(gè)數(shù)據(jù)自動(dòng)傳遞接口構(gòu)成一個(gè)設(shè)計(jì)閉環(huán)，使得用戶可以從任意一個(gè)設(shè)計(jì)層級(jí)開始設(shè)計(jì)，并完成設(shè)計(jì)循環(huán)，提供了在設(shè)計(jì)流程上的最大柔性。以網(wǎng)表、標(biāo)準(zhǔn)格式的實(shí)體模型和版圖文件分別作為這三個(gè)層級(jí)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的出入口，并設(shè)計(jì)了相應(yīng)的信息提取算法及程序，實(shí)現(xiàn)了任意兩個(gè)級(jí)別之間的數(shù)據(jù)自動(dòng)傳遞，從而可以支持在該架構(gòu)下的全部六種設(shè)計(jì)流程。所進(jìn)行的設(shè)計(jì)實(shí)例表明，基于該工具可以針對(duì)不同的微機(jī)電系統(tǒng)器件選擇最優(yōu)的設(shè)計(jì)路線，是對(duì)當(dāng)前通用微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)方法的發(fā)展和提高，可顯著提高設(shè)計(jì)效率。