中圖儀器測長儀SJ5160系列超高精度全自動光柵測長機采用超高精度進口長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進行符合阿貝原理超高精度全自動測量。自主研發(fā)智能全自動測量功能，用戶操作體驗感佳，而且儀器精度測量重復性30nm，測量重復性（2S）可達0.12μm以內(nèi)，外尺寸示值誤差為±（0.07+L/2000）μm。配置高性能超高進度螺紋環(huán)規(guī)測量裝置，可測量小螺紋環(huán)規(guī)，同時可完成小的光滑環(huán)規(guī)檢測。其測量力為電子測力，軟件界面內(nèi)可自由設(shè)置，設(shè)置較小測力可用于超薄壁工件測量。
性能特點
高精度、高穩(wěn)定性
1)零膨脹超高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達到0.001μm，測量精度高；
2)高精密特制研磨級直線導軌系統(tǒng)，導軌直線度高，導軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；
3)進口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的真實采集；
4)采用高精度穩(wěn)定的大理石基座，保證了在頭座及五軸工作臺的移動過程中不會產(chǎn)生變形以及儀器不受外界震動干擾，保證了儀器的穩(wěn)定可靠；
全自動調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測力系統(tǒng)
1) 全自動調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測力系統(tǒng)，采用特殊及雙向受力彈性結(jié)構(gòu)，測力恒定性好，減小了測力對測量結(jié)果的影響，全自動伺服驅(qū)動控制測力及光柵反饋測力位置，保證了高系統(tǒng)測量重復性精度；
2) 電子測力通過調(diào)節(jié)桿全自動伺服驅(qū)動系統(tǒng)控制連續(xù)可調(diào)；
電子測力傳感器原理避免了儀器臺面不水平及環(huán)境振動引起的測力變化帶來的測量誤cha。
零測力修正系統(tǒng)
1) 準確的電子測力技術(shù)，能準確的讀取到當前的；
2) 零測量力修正，根據(jù)被測件測量時的測針、測帽形狀及被測件尺寸進行測力變形量修正。
環(huán)境條件
參考環(huán)境溫濕度：
溫度：20±0.5℃，波動度不超過0.2℃/小時
相對濕度：20~60%
校準室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強磁場。
對于長度測量的精度低、穩(wěn)定性差、測量系統(tǒng)操作復雜、測量功能少、檢測過程復雜、數(shù)據(jù)不客觀等缺點和不足，SJ5160系列測長儀精度更高，其特點是穩(wěn)定性更強，及儀器的全自動測量。
