表面粗糙度跟形狀誤差、波紋度等參數(shù)一樣，是表面微觀幾何特征，它們共同構成了物體的表面原始形貌特征。在納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量高要求的領域中，可以說只有白光干涉儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。
中圖儀器推出的SuperView W1白光干涉儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。
產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導出功能。
目前，SuperView W1白光干涉儀主要用來測量3C玻璃、硅晶片、藍寶石襯底等表面粗糙度（微納米、納米級別）、MEMS微機電系統(tǒng)臺階高、金屬件表面磨損和摩擦情況以及超光滑加工表面粗糙度、平整度、劃痕等。
SuperView W1白光干涉儀不僅可用于硅晶片、光學透鏡、窗口片、藍寶石表鏡、手機屏等表面粗糙度檢測儀，還可對LED襯底、紅外觀察窗口、超精密工件、微機電系統(tǒng)等進行超精密檢測，在民用領域也有著廣泛應用。
未來，中圖儀器仍將繼續(xù)專注于精密計量儀器和精密檢測設備的技術發(fā)展，自強不息、知難而上，用現(xiàn)代化的技術手段大幅提高測量效率和精度，圖中國儀器技術之強大，鑄中國產(chǎn)業(yè)提升之利器！
