下面我們進(jìn)入到今天的主角—Fab18工廠一探究竟。
Fab18工廠外觀
Intel Fab18建立于1999年,那個(gè)年代主要負(fù)責(zé)制造Pentium III晶圓片。后來(lái)升級(jí)到了90 nm制造工藝而且現(xiàn)在也生產(chǎn)重心也轉(zhuǎn)移到了制造Pentium 4 CPU晶圓片、芯片組和閃存顆粒上,員工總數(shù)約3,700人。
Fab18占地面積大約兩個(gè)英式足球場(chǎng)大小,為了保持無(wú)塵環(huán)境投入了很高成本,不過(guò),并非所有的車間都需要這種無(wú)塵的環(huán)境。有趣的是,地面并非是我們平 常所了解的硬地板,而是采用的一種類似于網(wǎng)狀的設(shè)計(jì),但是非常的堅(jiān)固,目的是保持空氣的流通。房間的空氣,每4分鐘就要完全的更換一次。
Fab18生產(chǎn)車間
圖片上是其中的一個(gè)無(wú)塵車間,可以注意一下地板。工作人員必須穿防塵服,免得讓晶圓遭受污染。遠(yuǎn)處技術(shù)人員所抱的“黑匣子”名字叫“lot”,里面裝的 就是晶圓。他要做的是把這個(gè)“lot”安裝在一個(gè)機(jī)器(或者是叫處理工具)當(dāng)中。基于成本方面的考慮,只有“lot”入口是在無(wú)塵房間中,而其他部分是在 低于無(wú)塵等級(jí)的“chase”當(dāng)中。
晶圓生產(chǎn)設(shè)備
這就是我們剛才提到的“chase”車間(留意地板)。這就是處理那些晶圓片的機(jī)器,也就是處理剛才技術(shù)人員抱著的“lot”。
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