動(dòng)態(tài)
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發(fā)布了產(chǎn)品 2025-05-30 11:03
晶圓幾何形貌在線測(cè)量系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):WD4000系列 注釋:如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。52瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-05-30 10:59
CNC中圖三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):Mars系列 注釋:如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。50瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-05-30 10:56
空間定位激光跟蹤測(cè)量?jī)x
產(chǎn)品型號(hào):GTS系列 注釋:如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。32瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-05-30 10:54
sem掃描電子顯微鏡儀器
產(chǎn)品型號(hào):CEM3000系列 注釋:如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。39瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-05-29 14:57
共聚焦大傾角粗糙度測(cè)量顯微鏡
產(chǎn)品型號(hào):VT6000系列 注釋:如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。45瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-05-29 14:54
高精度光纖激光尺
產(chǎn)品型號(hào):PLR3000系列 注釋:如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。25瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-05-29 14:51
姿態(tài)位置激光跟蹤定位儀
產(chǎn)品型號(hào):GTS系列 注釋:如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。51瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-05-29 14:49
3座標(biāo)檢測(cè)儀
產(chǎn)品型號(hào):Mars系列 注釋:如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。64瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-05-29 14:47
自主研發(fā)臺(tái)式掃描電鏡
產(chǎn)品型號(hào):CEM3000系列 注釋:如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。68瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-05-29 14:41
共聚焦顯微鏡——賦能光學(xué)元件精密質(zhì)控
在光學(xué)精密加工領(lǐng)域,微納結(jié)構(gòu)元件的三維形貌檢測(cè)是保障器件性能的重要環(huán)節(jié)。以微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件為代表的精密光學(xué)元件,其特征尺寸已突破亞微米量級(jí),對(duì)表面輪廓精度與結(jié)構(gòu)面形誤差的檢測(cè)要求達(dá)到納米級(jí)分辨率。若加工過(guò)程中產(chǎn)生的邊緣塌陷、周期畸變或面形偏差未能精準(zhǔn)識(shí)別,當(dāng)此類缺陷元件被集成至光通信模塊或成像系統(tǒng)時(shí),將導(dǎo)致光束傳播相位失配、成像質(zhì)量劣化等問(wèn)題,甚至造