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影響側蝕因素

工程師 ? 來源:網絡整理 ? 作者:h1654155205.5246 ? 2019-04-25 15:48 ? 次閱讀
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影響側蝕因素

1、蝕刻方式

浸泡和鼓泡式蝕刻會造成較大的側蝕,潑濺和噴淋式蝕刻側蝕較小,尤以噴淋蝕刻效果最好。

2、蝕刻液的種類

不同的蝕刻液化學組分不同,其蝕刻速率就不同,蝕刻系數也不同。例如:酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數通常為3,堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數可達到4。近來的研究表明,以硝酸為基礎的蝕刻系統(tǒng)可以做到幾乎沒有側蝕,達到蝕刻的線條側壁接近垂直。這種蝕刻系統(tǒng)正有待于開發(fā)。

3、蝕刻速率

蝕刻速率慢會造成嚴重側蝕。蝕刻質量的提高與蝕刻速率的加快有很大關系。蝕刻速度越快,板子在蝕刻液中停留的時間越短,側蝕量越小,蝕刻出的圖形清晰整齊。

4、蝕刻液的PH值

堿性蝕刻液的PH值較高時,側蝕增大。為了減少側蝕,一般PH值應控制在8.5以下。

5、蝕刻液的密度

堿性蝕刻液的密度太低會加重側蝕,選用高銅濃度的蝕刻液對減少側蝕是有利的。

6、銅箔厚度

要達到最小側蝕的細導線的蝕刻,最好采用(超)薄銅箔。而且線寬越細,銅箔厚度應越薄。因為,銅箔越薄在蝕刻液中的時間越短,側蝕量就越小。

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