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      ADI高校講座系列：MEMS（5）

      EE techvideo ? 來源：EE techvideo ? 2019-08-21 06:07 ? 次閱讀
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      MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。

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