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用靜電懸浮技術(shù)設(shè)計耐久的MEMS開關(guān)

MEMS ? 來源:cg ? 2019-01-07 14:34 ? 次閱讀
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據(jù)麥姆斯咨詢報道,賓厄姆頓大學(xué)(Binghamton University)、紐約州立大學(xué)(State University of New York)的研究人員開發(fā)出了一種使手機(jī)和電力線更耐久的方法。


賓厄姆頓大學(xué)機(jī)械工程助理教授Sherry Towfighian和研究生Mark Pallay開發(fā)了一款新型MEMS開關(guān),利用靜電懸浮技術(shù)提供了更耐久的系統(tǒng)?!八惺謾C(jī)都在使用MEMS開關(guān)進(jìn)行無線通信,但傳統(tǒng)MEMS開關(guān)只有兩個電極,”Towfighian說,“這些開關(guān)在一個小時內(nèi)會多次打開和閉合,因此這種雙電極系統(tǒng)會限制它們的使用壽命?!碑?dāng)兩個電極在多次重復(fù)后接觸時,底部電極的表面會損壞,從而導(dǎo)致MEMS開關(guān)必須丟棄和更換。一些研究人員試圖通過在電極上添加凹痕或著觸墊來減少電極碰撞時的接觸面積,以避免這種損傷,但Towfighian解釋稱,這只能延緩材料的最終損壞。

她想打造一種完全避免損壞的系統(tǒng)。她沒有遵循傳統(tǒng)的雙電極模型,而是設(shè)計了一種底部有三個電極的MEMS開關(guān),這三個電極平行安置。底部右側(cè)和左側(cè)的兩個電極接電,而中間和頂部電極接地。Towfighian解釋說:“這種MEMS開關(guān)通常是閉合的,但是側(cè)電極提供了一個強(qiáng)大的向上力,可以克服兩個中間電極之間的力并打開開關(guān)?!边@種被稱為靜電懸浮的力,目前在雙電極系統(tǒng)中是無法實現(xiàn)的。這種力可防止器件在連續(xù)使用后永久損壞,并可實現(xiàn)可靠的雙向開關(guān)?!皩τ谑謾C(jī)來說,這種設(shè)計意味著更長的壽命和更少的部件更換,”Towfighian說,“對于電力線,當(dāng)電壓超過極限,我們想打開開關(guān)時,這種類型的MEMS開關(guān)會很有用。這種設(shè)計使我們能夠有更可靠的開關(guān)來監(jiān)測異常的電壓高峰,就像地震造成的情況,會對公眾安全造成威脅?!边@項名為“采用靜電懸浮的高可靠MEMS開關(guān)”的研究成果已經(jīng)發(fā)表于近期的《應(yīng)用物理學(xué)快報》。

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原文標(biāo)題:研究人員利用靜電懸浮設(shè)計了一款更耐久的MEMS開關(guān)

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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