“得知獲獎的那天早上，我在家里做事情，我太太匆忙過來跟我說，‘有個人來找你，是大陸口音’，我想也用大陸口音回復(fù)。結(jié)果打電話給我的人介紹了未來科學(xué)大獎，告訴我有100萬的獎金，我說‘獎金很不錯’。然后我聽到了周圍有笑聲，我想你們當(dāng)中應(yīng)該也有當(dāng)時笑我的吧 。”2018年未來科學(xué)大獎的數(shù)學(xué)與計算機(jī)科學(xué)獎獲得者林本堅，11月中旬在接受包括澎湃新聞在內(nèi)的媒體采訪時心情甚好，還跟在場記者開了個玩笑。

時間撥回兩個月前未來科學(xué)大獎的新聞發(fā)布會上，北京國際數(shù)學(xué)研究中心主任田剛現(xiàn)場連線林本堅，彼時林本堅在電話里說道：“我本來以為大陸不知道這件事，現(xiàn)在我明白了，大陸也很清楚我在半導(dǎo)體和微電子上做的一點小小的貢獻(xiàn)?！?/p>

2018年是集成電路發(fā)明以來的第60年。臺積電前研發(fā)副總經(jīng)理林本堅，因為開拓浸潤式光刻系統(tǒng)方法并持續(xù)擴(kuò)展納米級集成電路制造，獲得了2018年未來科學(xué)大獎的數(shù)學(xué)與計算機(jī)科學(xué)獎，同時成為未來科學(xué)大獎首位來自中國***的獲獎?wù)摺?/p>

林本堅是臺積電的傳奇人物，專注于半導(dǎo)體制程中的光刻技術(shù)的研發(fā)。2002年，他研究出以水作為介質(zhì)的193納米浸潤式光刻技術(shù)(Immersion Lithography)，改變了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以干式光刻作為主流的傳統(tǒng)。他本人也因此成為***“中央研究院”第一位產(chǎn)業(yè)界出身的院士。193納米浸潤式光刻技術(shù)讓摩爾定律得以延續(xù)，也協(xié)助臺積電躍進(jìn)三個世代，取得產(chǎn)業(yè)上的優(yōu)勢地位。

林本堅于1970年獲得美國俄亥俄州立大學(xué)電機(jī)工程博士，畢業(yè)后在IBM不斷提高成像技術(shù)，一干就是20多年。2000年林本堅回到***并在著名半導(dǎo)體制造公司臺積電任職。2015年底，林本堅從臺積電退休，目前在***大學(xué)、***清華大學(xué)等任講座教授。

“雖千萬人吾往矣”

時間撥回兩個月前未來科學(xué)大獎的新聞發(fā)布會，***新竹交通大學(xué)校長張懋中表示用“雖千萬人吾往矣”來形容林本堅再合適不過。在林本堅提出用水浸潤，代替原本間隙中的空氣的時候，全世界都繼續(xù)堅持干式工藝。

“他一個人站在一艘航空母艦前叫停。他憑什么叫停？就是在很堅實的物理學(xué)基礎(chǔ)上、光學(xué)基礎(chǔ)上，加以透徹的解釋，光刻在怎樣的規(guī)律下才能繼續(xù)前進(jìn)?！睆堩羞@樣評價林本堅的獲獎原因。

在集成電路行業(yè)，摩爾定律就是人們發(fā)展半導(dǎo)體工藝時跟隨的“路線圖”，由英特爾的創(chuàng)始人之一戈登·摩爾提出。講的是當(dāng)價格不變時，集成電路上可容納的元器件數(shù)目，約每隔18-24個月便會增加一倍。從笨重的大型電腦到掌上輕巧的智能手機(jī)，摩爾定律的魔力無所不在。

而光刻技術(shù)是指集成電路制造中利用光化學(xué)反應(yīng)原理將電路圖形刻蝕到介質(zhì)層上，形成有效功能圖形的工藝技術(shù)。摩爾定律要求在單位面積上刻得足夠小，對于光刻領(lǐng)域，關(guān)鍵的技術(shù)難點在于縮短光的波長。因為波長越短，光刻分辨率越高，所以大部分人會想到用波長較短的X光做。而林本堅則創(chuàng)造性地想到將工藝從“干式”改為“浸潤”，用水代替空氣，以縮短波長。

林本堅指出，摩爾定律意味著在當(dāng)下這一代技術(shù)問世后，研發(fā)人員要判斷未來兩到三代的技術(shù)方向。1987年林本堅還在IBM工作時，行業(yè)已經(jīng)到了193納米干式光刻技術(shù)的階段，那時林本堅在一個研討會上第一次提到了浸潤式光刻技術(shù)，用了兩段話簡單介紹了這個想法。

彼時X光光刻技術(shù)的研究仍然是主流。他回憶道，有一次IBM開會時，做X光技術(shù)的十多個人被安排坐在會議桌的一邊，他一個人被安排坐在另一邊。

這樣的“勸退”方式并沒有給林本堅帶來太大壓力，但I(xiàn)BM的研發(fā)投入多半都給了做X光光刻技術(shù)研究。他提出IBM只需要給他X光技術(shù)組1/10的經(jīng)費，他就能做出一些東西。但I(xiàn)BM并未買這個賬，并告訴林本堅“這個別人也在做，我們不做別人在做的”。

“我判斷到65納米(干式光刻)階段時，讓我再往前看三代的話，我就已經(jīng)看不到了?！绷直緢员硎尽；谶@樣的判斷，在眾多人依然主攻X光光刻技術(shù)的時候，林本堅義無反顧地投入了浸潤式的研究中。

50歲那年林本堅已符合IBM早退休的申請資格，孩子也已大學(xué)畢業(yè)，一身輕的情況下，能退休卻還想“再干干”的林本堅，想到了創(chuàng)業(yè)。

“那時候我在想如果我創(chuàng)業(yè)了我的公司要叫什么名字，”林本堅回憶道，“后來我想了一個很酷的名字叫Linnovation。”林本堅解釋道，這個詞就是自己的姓Lin和Innovation(創(chuàng)新)的組合詞。

他半開玩笑地說，他是為了擁有Linnovation這個名字才出來創(chuàng)業(yè)的。隨后他被時任臺積電副總的蔣尚義邀請去臺積電，并于2002年成功開發(fā)出193納米浸潤式光刻技術(shù)。到2012年，全世界82%的半導(dǎo)體產(chǎn)品采用的是浸潤式光刻技術(shù)，為臺積電貢獻(xiàn)了47%的收入。

無心插柳柳成蔭

林本堅還向記者分享了他對科研和教育的一些看法，對于大陸的科技發(fā)展，他認(rèn)為大陸有很大的市場、有大量的投入、好學(xué)校和好人才，因此不必過于擔(dān)心眼前的差距。

“大家都已經(jīng)看到問題的存在，按照這個問題去解決就可以?！绷直緢员硎荆o科研人員適當(dāng)?shù)摹皽p負(fù)”也是必要的，如果只盯著獎項或成果做科研，則往往達(dá)不到效果。

林本堅向記者分享了IBM內(nèi)部的一件趣事。IBM公司設(shè)立IBM院士稱號以嘉獎業(yè)內(nèi)的頂尖技術(shù)人員。1986年，因為成功“研制掃描隧道顯微鏡(STM)”，兩位IBM蘇黎世研究院的研究員格爾德·賓寧(Gerd K. Binnig) 和海因里希·羅雷爾(Heinrich Rohrer)，被授予諾貝爾物理學(xué)獎。有意思的是，兩位獲獎?wù)唠m在IBM工作多年，但在獲獎時均不是IBM院士。獲獎后，IBM公司趕緊授予了兩人“IBM院士”的稱號。

“不是有一句話叫‘有意栽花花不發(fā)，無心插柳柳成蔭’嗎。做科研也是這樣的。做科研的人一定是享受科學(xué)樂趣的?！毖由熘两逃直緢愿嬖V澎湃新聞記者，科學(xué)家永遠(yuǎn)不會比銀行家有錢，但這個社會各種人才都需要，培養(yǎng)下一代的時候，挖掘興趣和天賦最重要。即便是美國，金融界的待遇也比做科技的也好，但是依然有不少人做科技，因為他們心甘情愿，這是興趣所在。

“勉強一些沒有興趣的人去做科研并沒有什么意思。最怕的是有些人對科技有興趣，但父母不讓他去。”林本堅說。

目前林本堅在***大學(xué)、***清華大學(xué)等高校擔(dān)任講座教授。林本堅說自己教課有個特點，所留的作業(yè)從不讓學(xué)生“單槍匹馬”完成，規(guī)定至少兩到三個人一起合作，以此來訓(xùn)練學(xué)生學(xué)習(xí)如何與他人合作。

“一個人的努力和天賦總有卡住的時候，在企業(yè)里做研究一定需要團(tuán)隊合作，所以要懂得交流分享，創(chuàng)造交流分享的氛圍?！绷直緢哉f。