光刻機(jī)是集成電路最具關(guān)鍵性的基礎(chǔ)裝備之一，全球只有3-4家廠商可以生產(chǎn)制造，中高端產(chǎn)品幾乎被國(guó)際廠商壟斷，要想解決我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的“卡脖子”問(wèn)題，推動(dòng)光刻機(jī)的國(guó)產(chǎn)化勢(shì)在必行，需要調(diào)動(dòng)國(guó)家資本、產(chǎn)業(yè)資本和社會(huì)資本的共同參與。

日前，集成電路裝備及關(guān)鍵零部件企業(yè)華卓精科獲得渾由渾璞投資、中國(guó)國(guó)際金融股份有限公司和紅星美凱龍控股集團(tuán)共計(jì)8700萬(wàn)的戰(zhàn)略投資。其中，渾璞投資的投資金額為6600萬(wàn)元。

與此同時(shí)，華卓精科發(fā)布公告，公司收到北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)撥付的國(guó)家科技重大專項(xiàng)中央財(cái)政資金合計(jì)1.39億元。

華卓精科由科技部首批重點(diǎn)領(lǐng)域“超精密機(jī)械與測(cè)控創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)”負(fù)責(zé)人，中組部國(guó)家萬(wàn)人計(jì)劃專家、清華大學(xué)機(jī)械工程系長(zhǎng)聘教授、博士生導(dǎo)師，機(jī)械電子工程研究所所長(zhǎng)朱煜教授于2012年創(chuàng)立，專注于集成電路裝備技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，在集成電路制造用前道光刻機(jī)的重要部件——雙工件臺(tái)的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化方面處于領(lǐng)先地位，是除世界光刻機(jī)龍頭——荷蘭ASML公司外全球第二家可以生產(chǎn)光刻機(jī)雙工件臺(tái)的企業(yè)。

華卓精科也是清華大學(xué)集成電路設(shè)備技術(shù)17年技術(shù)積累的產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)，公司挾高精尖技術(shù)向下俯沖，在激光退火、硅片堆疊、掃描干涉光刻、平面光柵、高精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)、靜電卡盤、隔振器等集成電路裝備和關(guān)鍵零部件領(lǐng)域處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。

光刻機(jī)被周光召先生譽(yù)為新時(shí)代“兩彈一星”般的“神器”和世界上最精密的儀器。而光刻機(jī)雙工件臺(tái)作為光刻機(jī)的兩大核心子系統(tǒng)，因要在最大加速度不小于30 m/s^2、最大速度不低于500m/s的工作狀態(tài)下，使運(yùn)動(dòng)誤差保持在2納米之內(nèi)，也就是人頭發(fā)絲直徑的四萬(wàn)分之一，可以想象為兩架時(shí)速1000公里/小時(shí)的飛機(jī)在任意時(shí)刻的飛行位置偏差不超過(guò)一個(gè)微米。如此極端的性能指標(biāo)，使光刻機(jī)雙工件臺(tái)成為當(dāng)之無(wú)愧的“精密機(jī)械之王”，其制造也成為世界級(jí)難題。

華卓精科肩負(fù)雙工件臺(tái)國(guó)產(chǎn)化這一世紀(jì)挑戰(zhàn)，承接清華大學(xué)2001年以來(lái)在“863計(jì)劃”光刻機(jī)工件臺(tái)方面的核心技術(shù)，已申請(qǐng)發(fā)明專利231項(xiàng)，其中已授權(quán)中國(guó)發(fā)明專利139項(xiàng)、授權(quán)國(guó)際發(fā)明專利23項(xiàng)。華卓精科于2014年聯(lián)合清華大學(xué)成功推出了中國(guó)第一臺(tái)滿足65納米光刻機(jī)需求的雙工件臺(tái)樣機(jī)，現(xiàn)在正在向28納米制程的浸沒(méi)式光刻機(jī)雙工件臺(tái)這一世界級(jí)技術(shù)高地發(fā)起沖鋒。

渾璞投資是一家專注于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局的股權(quán)投資公司。此次領(lǐng)投華卓精科，是繼今年八月份領(lǐng)投全球領(lǐng)先的磁性材料和新一代磁存儲(chǔ)器刻蝕裝備企業(yè)——魯汶儀器后，在集成電路裝備領(lǐng)域的又一次重大布局。當(dāng)前，全球半導(dǎo)體進(jìn)入第三次景氣周期，新一輪的晶圓廠建廠高峰期會(huì)帶來(lái)對(duì)設(shè)備的需求增長(zhǎng)，集成電路裝備是行業(yè)景氣的最先受益者，因此當(dāng)前是布局集成電路裝備行業(yè)的黃金時(shí)期。