近段時間，中美貿(mào)易之間的對弈牽動了很多行業(yè)的發(fā)展方向，其中微電子行業(yè)的相關(guān)問題最為突出。綜合來看，我國的微電子行業(yè)還處于發(fā)展階段，核心技術(shù)的缺失及制造工藝方面的不足在此次中美貿(mào)易摩擦中尤為明顯。當然，實現(xiàn)微電子行業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展，除了擁有自主的技術(shù)研發(fā)，還包括很多基礎(chǔ)硬件建設(shè)和環(huán)境保障等方面的因素。在這諸多環(huán)節(jié)中，微電子制造行業(yè)所必須的工業(yè)潔凈廠房就顯得十分重要。

“襁褓中的花朵”

從生產(chǎn)層面上看，微電子產(chǎn)品的制造工序復雜且繁多，其中許多關(guān)鍵工藝需要在恒溫、恒濕、超潔凈的無塵環(huán)境下進行。但其中部分大中型生產(chǎn)設(shè)備會釋放出高濃度顆粒物和化學物質(zhì)，這些物質(zhì)都會引發(fā)生產(chǎn)的良品率下降及其他生產(chǎn)安全隱患。因此，微電子行業(yè)在生產(chǎn)過程中對工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計和潔凈效果有非常高的要求和技術(shù)標準。

國際半導體設(shè)備以及材料協(xié)會SEMI發(fā)布的關(guān)于-AMC（化學氣態(tài)分子污染物）分類標準

微電子行業(yè)的工業(yè)潔凈廠房一般是相對密閉的空間，通常高級別潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)采用布置靈活的FFU送風方式，該方式解決了傳統(tǒng)送風方式不能使用工藝布局和凈化等級要求變化的問題。不過，微電子行業(yè)的工業(yè)潔凈廠房設(shè)計和實施是一項綜合技術(shù)，并非只是安裝設(shè)備那么簡單，只有充分了解微電子行業(yè)工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計特點，做到設(shè)計合理和選型適當，才能滿足其對空氣潔凈效果的嚴苛標準和要求。

為“中國芯”護航

隨著中國逐漸從“制造大國”向“智造大國”轉(zhuǎn)型，國內(nèi)涌現(xiàn)出一批知名的高科技制造企業(yè)，多個高科技項目也在全國多地落實并實施。近期在合肥投建的合肥長鑫集成電路12寸晶圓廠尤為引人注目，該晶圓廠將重點研發(fā)19nm制程工藝生產(chǎn)DRAM（動態(tài)隨機存取存儲器），項目投產(chǎn)后，最大月產(chǎn)高達12.5萬片規(guī)模，將有效地填補國內(nèi)高端DRAM制造業(yè)的空白，在全球DRAM生產(chǎn)廠商中占得一席之地。除此之外，該項目的投產(chǎn)也將帶動整個地區(qū)包括設(shè)備、材料、終端等多方面的綜合發(fā)展?？梢哉f，該晶圓廠的投產(chǎn)將加速合肥市產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級的步伐。有消息表明，到2025年中國將投產(chǎn)新建約25條12寸晶圓項目，一舉打破國外公司的壟斷體系。

不過，該晶圓廠在廠房建設(shè)、設(shè)備采購過程中也遇到了一些困難。從技術(shù)角度看，在使用19nm制程工藝生產(chǎn)DRAM時，該工藝下黃光光刻區(qū)對AMCs氣體極其敏感，工作區(qū)域中的潔凈空氣質(zhì)量稍有偏差就會直接影響最終生產(chǎn)的良品率，所以，整個生產(chǎn)環(huán)節(jié)中都需要嚴格控制AMCs制程環(huán)境濃度值。因此，他們對工業(yè)潔凈產(chǎn)房的空氣凈化解決方案提出了嚴格要求：需要按照不同區(qū)域的要求控制AMCs的指標，同時需要分子過濾器初始效率達到90%以上，最終效率達到70%，使用壽命大于一年。

AAF作為潔凈空氣解決方案的全球領(lǐng)導者，在近百年的歷史中一直致力于為微電子行業(yè)開發(fā)高效節(jié)能的過濾解決方案，包括顆粒物和AMC (分子氣態(tài)污染物) 過濾，全系列產(chǎn)品覆蓋了粗中高效空氣過濾器、化學過濾器、高效送風口、FFU/EFU、層流罩及DBS化學氣體尾氣排放處理等凈化設(shè)備。應(yīng)對這種高等級并復雜的潔凈工藝的需求，AAF采用了FFU加載化學氣體處理的解決方案，在FFU上方疊加兩臺化學過濾器，并提供了AMCs現(xiàn)場采樣測試，對實際環(huán)境中的空氣質(zhì)量數(shù)據(jù)進行快速準確的提取和整理，并依此制定合理的解決方案。

其中，AAF AstroFan? FFU配套了 MEGAcel?ePTFE高效&超高效過濾器，搭載VariSorb?CE化學過濾器的整體潔凈解決方案。方案實施后，生產(chǎn)區(qū)域的空氣整體凈化效果及相關(guān)測試驗證得到了客戶的認可。

品控嚴格，測試體系完備

一直以來，AAF以保護環(huán)境、降低企業(yè)風險和減少空氣凈化支出為己任，從某種程度上來說，其產(chǎn)品的精益求精同樣來源于自身的實踐。AAF本身就擁有高潔凈等級的萬級PTFE潔凈室、高效過濾器潔凈室和FFU潔凈室，以及工商業(yè)過濾器生產(chǎn)線。AAF以先進的設(shè)備、標準化的生產(chǎn)工藝和嚴苛的質(zhì)量標準進行生產(chǎn)。

并且AAF 擁有一套完備的測試體系。從粗中效過濾器到高效、超高效過濾器，乃至過濾設(shè)備，AAF皆依據(jù)行業(yè)最先進的測試標準，對產(chǎn)品性能進行全方位的檢測。

2016年9月，AAF在美國印第安納州成立了清潔空氣創(chuàng)新與研究中心，展現(xiàn)出了致力于革命性地改變空氣過濾的決心。該中心代表了AAF和全球空氣過濾行業(yè)在研究、開發(fā)和測試方面取得的重大進展。AAF清潔空氣中心的工程師和科學家正在將下一代高性能空氣過濾產(chǎn)品和設(shè)備推向市場。