工業(yè)相機(jī)常見的有面陣相機(jī)、線陣相機(jī)、黑白相機(jī)、彩色相機(jī),根據(jù)不同的分類依據(jù),工業(yè)相機(jī)可分為多種類型。根據(jù)芯片形式、芯片材質(zhì)、輸出圖像顏色等不同參考系列。如果按照光譜波段范圍的不同,可以分為可見光(普通)相機(jī)、紅外相機(jī)、紫外相機(jī)等,下面我來看看UV紫外相機(jī)及其應(yīng)用。
根據(jù)波長的不同,紫外線可劃分為三個主要波段:
1.UVA波段(320-400nm):
波長最長的紫外波段
部分高靈敏度可見光相機(jī)可檢測到
2.UVB波段(280-320nm):
中等波長范圍
需使用專業(yè)紫外相機(jī)進(jìn)行觀測
對設(shè)備靈敏度和觀測精度要求較高
3.UVC波段(100-280nm):
波長最短的紫外波段
具有最強的光子能量

在晶圓制造以及檢測方面的應(yīng)用有裸晶圓檢測、圖案晶圓檢查、光掩模對準(zhǔn)以及晶圓鍵合等。圖案晶圓的檢測對象主要是晶圓表面在進(jìn)行圖案光刻時可能產(chǎn)生的缺陷或錯誤,例如,晶圓表面上圖案的缺陷、錯位以及特征缺失等。利用晶圓表面的圖案和周圍材料對紫外線的反射或吸收程度不同的特性,配合算法分析圖像,可以更加準(zhǔn)確地確定晶圓上缺陷的大小、形狀和位置。
充分利用各應(yīng)用場景的紫外特性,增加或使用紫外光源、紫外相機(jī)模組,捕捉晶圓表面的高分辨率圖像,使用圖像處理算法進(jìn)行圖像分析,可以對各種缺陷進(jìn)行識別和分類,有效提高污染或者缺陷檢出率,綜合提升設(shè)備可靠性和專業(yè)性,精準(zhǔn)解決終端制造檢測的難點和痛點。
電子產(chǎn)品和電弧/電暈檢查,電弧/電暈本質(zhì)都是大氣壓下的空氣放電,空氣中的電子在不均勻的高強度電場中運動,擊穿空氣,在放電的過程中會伴隨著產(chǎn)生光、聲、臭氧、熱量以及化學(xué)物質(zhì)等。目前,除了利用超聲波檢測技術(shù)、紅外熱像檢測技術(shù),紫外特性也越來越被重視,利用紫外光學(xué)成像系統(tǒng),不僅可以直接觀察電弧/電暈的放電位置,還可以獲知電弧/電暈的強度情況,獲得電力設(shè)備的放電分布與強度等多方位的信息。
醫(yī)療領(lǐng)域,真菌或者細(xì)菌對紫外線較為敏感,在紫外環(huán)境下會發(fā)出各種顏色的熒光。紫外線還可凸顯皮膚色素(黑色素),使色素更加清晰可見。如白癜風(fēng),白癜風(fēng)色素缺失在紫外環(huán)境下發(fā)象牙白色熒光,而色素減退皮損則不發(fā)光。癬在紫外環(huán)境下發(fā)出特征性亮橙紅色熒光,由犬微孢子菌和頭癬小孢霉菌引起的頭癬會發(fā)出亮綠色熒光。而皮膚假單胞菌Pseudomonas感染(如燒傷患者)早期,則有綠色熒光的特性。利用這些特性搭建紫外檢測環(huán)境以及系統(tǒng)設(shè)備,配合優(yōu)秀的算法進(jìn)行查找識別,患者的檢查體驗或許會變得更加奇妙。
安全印刷方面,銀行票據(jù)、護(hù)照、彩票和其他類似物品的特殊安全標(biāo)記,僅在紫外光譜下可見。充分利用被檢測物在紫外環(huán)境中的差異化反應(yīng),增加或使用紫外檢測系統(tǒng),能夠使目標(biāo)物體更加明顯、更加易查找,使檢出缺陷更加突出、更加具有辨識度,從而助力實現(xiàn)最終的檢測目標(biāo)。
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