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芯片封裝失效的典型現(xiàn)象

中科院半導(dǎo)體所 ? 來(lái)源:學(xué)習(xí)那些事 ? 2025-07-09 09:31 ? 次閱讀
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文章來(lái)源:學(xué)習(xí)那些事

原文作者:前路漫漫

本文介紹了芯片封裝失效的典型現(xiàn)象:金線(xiàn)偏移、芯片開(kāi)裂、界面開(kāi)裂、基板裂紋和再流焊缺陷。

金線(xiàn)偏移

在封裝過(guò)程中,金線(xiàn)偏移是較為常見(jiàn)的失效類(lèi)型。對(duì)于 IC 元器件而言,金線(xiàn)偏移量過(guò)大可能致使相鄰金線(xiàn)相互接觸,進(jìn)而引發(fā)短路故障;極端情況下,金線(xiàn)甚至?xí)粵_斷,造成斷路,使元器件出現(xiàn)缺陷。引發(fā)金線(xiàn)偏移的原因復(fù)雜多樣,具體如下:

樹(shù)脂流動(dòng)拖曳力:在填充階段,若樹(shù)脂黏性過(guò)高、流速過(guò)快,產(chǎn)生的拖曳力會(huì)作用于金線(xiàn),導(dǎo)致其偏移量增大,這是金線(xiàn)偏移失效的常見(jiàn)誘因 。

導(dǎo)線(xiàn)架變形:上下模穴中樹(shù)脂流動(dòng)波前失衡,會(huì)在模流間形成壓力差。導(dǎo)線(xiàn)架受此壓力差產(chǎn)生彎矩發(fā)生變形,由于金線(xiàn)連接于導(dǎo)線(xiàn)架的芯片焊墊與內(nèi)引腳,導(dǎo)線(xiàn)架變形便會(huì)引發(fā)金線(xiàn)偏移。

氣泡移動(dòng)影響:填充過(guò)程中,空氣進(jìn)入模穴形成小氣泡,氣泡在模穴內(nèi)移動(dòng)時(shí)碰撞金線(xiàn),也會(huì)造成金線(xiàn)一定程度的偏移。

保壓異常:過(guò)保壓會(huì)使模穴內(nèi)壓力過(guò)高,導(dǎo)致偏移的金線(xiàn)無(wú)法彈性恢復(fù);遲滯保壓則會(huì)引起溫度上升,對(duì)于添加催化劑后反應(yīng)活躍的樹(shù)脂,高溫使其黏性進(jìn)一步增加,同樣阻礙金線(xiàn)恢復(fù)原狀。

填充物碰撞:封裝材料中添加的填充物,若顆粒尺寸較大(如 2.5 - 250μm),在封裝過(guò)程中與精細(xì)的金線(xiàn)(如 25μm)碰撞,也可能致使金線(xiàn)偏移 。

此外,隨著多引腳集成電路的發(fā)展,封裝內(nèi)金線(xiàn)數(shù)量與引腳數(shù)目不斷增加,金線(xiàn)密度隨之提升,這也使得金線(xiàn)偏移現(xiàn)象更為顯著。為有效減少金線(xiàn)偏移,防范短路或斷路問(wèn)題,封裝工程師需審慎選擇封裝材料,精準(zhǔn)調(diào)控工藝參數(shù),降低模穴內(nèi)金線(xiàn)所受應(yīng)力,避免出現(xiàn)過(guò)大的偏移量。

芯片開(kāi)裂

IC 裸芯片的制造原料通常為單晶硅,這種材料雖具備高強(qiáng)度,卻因脆性大的特性,在遭受外力作用或表面存在瑕疵時(shí),極容易出現(xiàn)破裂情況。在晶圓減薄、晶圓切割、芯片貼裝和引線(xiàn)鍵合等一系列需要施加應(yīng)力的工藝操作過(guò)程中,芯片開(kāi)裂的風(fēng)險(xiǎn)大幅增加,這一問(wèn)題已成為致使 IC 封裝失效的重要因素之一。若芯片裂紋未蔓延至引線(xiàn)區(qū)域,通過(guò)常規(guī)手段很難發(fā)現(xiàn);更有部分存在裂紋的芯片,在常規(guī)工藝檢查與電學(xué)性能檢測(cè)時(shí),其性能表現(xiàn)與正常芯片并無(wú)明顯差異,使得裂紋問(wèn)題極易被忽略。然而,這些隱藏的裂紋會(huì)對(duì)封裝后器件的穩(wěn)定性與使用壽命造成嚴(yán)重威脅。由于常規(guī)電學(xué)性能測(cè)試無(wú)法有效識(shí)別芯片開(kāi)裂,因此需要借助高低溫?zé)嵫h(huán)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行檢測(cè)。該實(shí)驗(yàn)利用不同材料熱膨脹系數(shù)的差異,在加熱和冷卻交替過(guò)程中,材料間產(chǎn)生的熱應(yīng)力會(huì)促使裂紋逐步擴(kuò)展,直至芯片徹底破裂,最終在電學(xué)性能上呈現(xiàn)出異常狀態(tài)。

鑒于外部應(yīng)力是引發(fā)芯片開(kāi)裂的主因,一旦檢測(cè)到芯片存在裂紋,就必須立即對(duì)芯片封裝的工藝流程和參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,最大程度減少工藝環(huán)節(jié)對(duì)芯片產(chǎn)生的應(yīng)力影響。例如,在晶圓減薄工序中,采用更為精細(xì)的加工方式,提高芯片表面的平整度,以此消除潛在應(yīng)力;晶圓切割時(shí),運(yùn)用激光切割技術(shù)替代傳統(tǒng)方法,降低切割過(guò)程對(duì)芯片表面造成的應(yīng)力損傷;在引線(xiàn)鍵合環(huán)節(jié),精準(zhǔn)調(diào)控鍵合溫度和壓力參數(shù),確保鍵合過(guò)程平穩(wěn)安全。

界面開(kāi)裂

開(kāi)裂問(wèn)題不僅存在于芯片內(nèi)部,在不同材料的交界位置同樣會(huì)出現(xiàn),這種現(xiàn)象被稱(chēng)為界面開(kāi)裂。在界面開(kāi)裂的初始階段,各部件之間的電氣連接尚能維持正常,但隨著使用時(shí)間的延長(zhǎng),熱應(yīng)力的持續(xù)作用以及電化學(xué)腐蝕的影響,會(huì)導(dǎo)致界面開(kāi)裂程度不斷加劇,最終破壞部件間的電氣連通性,對(duì)集成電路的可靠性產(chǎn)生嚴(yán)重影響。封裝過(guò)程中應(yīng)力過(guò)大、封裝材料受到污染等工藝缺陷,是引發(fā)界面開(kāi)裂的主要根源。界面開(kāi)裂可能出現(xiàn)在金線(xiàn)與焊盤(pán)的連接部位,造成電路斷路故障;也可能發(fā)生在外部塑料封裝體中,降低封裝對(duì)芯片的防護(hù)性能,導(dǎo)致芯片受到污染。因此,必須采用專(zhuān)業(yè)的檢測(cè)方法對(duì)潛在的界面開(kāi)裂問(wèn)題進(jìn)行全面排查,并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果對(duì)工藝方案進(jìn)行針對(duì)性調(diào)整 。

基板裂紋

在倒裝焊工藝?yán)?,通過(guò)焊球?qū)崿F(xiàn)芯片與基板焊盤(pán)的電氣連接,而在此過(guò)程中,基板開(kāi)裂是較為常見(jiàn)的失效模式,在引線(xiàn)鍵合環(huán)節(jié)同樣可能出現(xiàn)此類(lèi)問(wèn)題?;逡坏╅_(kāi)裂,會(huì)嚴(yán)重干擾芯片正常的電學(xué)性能,引發(fā)斷路、高阻抗等故障,影響集成電路的整體功能。

基板開(kāi)裂的成因較為復(fù)雜,一方面,芯片或基板本身若存在材料缺陷、內(nèi)部應(yīng)力集中等問(wèn)題,會(huì)降低其結(jié)構(gòu)強(qiáng)度;另一方面,焊接過(guò)程中的工藝參數(shù)匹配不當(dāng)也是關(guān)鍵因素。例如,鍵合力過(guò)大、基板溫度控制不合理、超聲功率設(shè)置不精準(zhǔn)等,都會(huì)使基板承受額外應(yīng)力,進(jìn)而導(dǎo)致裂紋產(chǎn)生 。

再流焊缺陷

晶圓翹曲

再流焊工藝容易引發(fā)晶圓翹曲問(wèn)題。由于封裝體由多種材料構(gòu)成,各材料熱膨脹系數(shù)存在差異,同時(shí)還受流動(dòng)應(yīng)力和黏著力影響,在封裝過(guò)程中外界溫度變化時(shí),封裝體內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力,而翹曲變形便是材料釋放內(nèi)應(yīng)力的一種表現(xiàn)形式,這種現(xiàn)象在再流焊接階段尤為突出。翹曲受多個(gè)工藝參數(shù)協(xié)同作用,通過(guò)針對(duì)性調(diào)整部分參數(shù),能夠有效緩解或消除這一問(wèn)題。

器件受力不均衡是導(dǎo)致翹曲的主要根源。在預(yù)熱階段,因材料熱膨脹系數(shù)不匹配、焊膏涂覆不均或器件放置偏差等原因,器件一端可能脫離焊膏,阻礙熱量正常傳導(dǎo)。當(dāng)熱量經(jīng)器件傳導(dǎo)時(shí),一端先熔化的焊料會(huì)形成新月形,其表面張力產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力矩大于器件自身重力,從而致使器件發(fā)生翹曲變形。

為改善晶圓翹曲狀況,可從多方面著手優(yōu)化工藝:首先,要嚴(yán)格把控焊膏印刷與器件放置精度,規(guī)范設(shè)備操作流程,定期維護(hù)印刷和安裝設(shè)備,確保生產(chǎn)過(guò)程穩(wěn)定;其次,重視印刷清晰度與精確度控制,這直接關(guān)系到襯墊配置,若控制不當(dāng)會(huì)加劇器件兩端受力失衡,需定期檢查印刷配準(zhǔn)參數(shù),及時(shí)修正偏差,清潔印刷模板防止堵塞,同時(shí)保證焊膏濕度適宜,支撐基板平整堅(jiān)固;最后,關(guān)注器件放置環(huán)節(jié),定期校準(zhǔn)進(jìn)料器位置,精準(zhǔn)控制放置對(duì)準(zhǔn),降低放置速度,合理選擇拾取工具噴嘴尺寸,并確保支撐平臺(tái)平穩(wěn)可靠。

此外,焊接材料和印刷電路板特性也會(huì)對(duì)翹曲產(chǎn)生影響。焊接合金熔點(diǎn)時(shí)的表面張力大小,與翹曲時(shí)的扭曲力呈正相關(guān),雖目前尚無(wú)統(tǒng)一的合金標(biāo)準(zhǔn)評(píng)估體系,但部分廠商嘗試使用 Sn/Pb/In 合金,發(fā)現(xiàn)對(duì)翹曲有一定抑制作用,但效果有限。不同類(lèi)型焊膏的特性差異,會(huì)改變其對(duì)器件的作用效果,焊膏活性越強(qiáng),越易引發(fā)翹曲;印刷電路板和器件表面的光潔度,會(huì)影響焊膏濕潤(rùn)性能,過(guò)量使用焊膏會(huì)增加熔化時(shí)的應(yīng)力,適當(dāng)減少用量有助于降低翹曲風(fēng)險(xiǎn)。在再流焊過(guò)程中,若器件兩端熱傳遞速率差異顯著,也會(huì)因受力不均導(dǎo)致翹曲現(xiàn)象發(fā)生 。

錫珠

在再流焊工藝中,錫珠是一種常見(jiàn)的缺陷類(lèi)型,多聚集于無(wú)引腳片式元器件兩側(cè)。若錫珠未與其他焊點(diǎn)相連,不僅會(huì)影響封裝外觀,還可能干擾產(chǎn)品電性能。錫珠產(chǎn)生的原因涵蓋多個(gè)方面,涉及模板設(shè)計(jì)、印刷操作、錫膏使用及工藝參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)。

從模板開(kāi)口角度來(lái)看,若鋼網(wǎng)開(kāi)口尺寸過(guò)大,或開(kāi)口形狀與元器件、焊盤(pán)不匹配,在貼裝片式元器件時(shí),焊膏易溢出焊盤(pán)范圍,進(jìn)而形成錫珠。為規(guī)避此問(wèn)題,片式阻容元器件的模板開(kāi)口尺寸通常應(yīng)略小于印制板焊盤(pán)??紤]到線(xiàn)路板刻蝕因素,一般將焊盤(pán)的模板開(kāi)口設(shè)置為印制板焊盤(pán)尺寸的 90% - 95%,同時(shí)還需依據(jù)實(shí)際生產(chǎn)情況靈活選擇合適的開(kāi)口形狀,以此減少焊膏過(guò)量擠出的風(fēng)險(xiǎn)。

模板與印刷電路板的精準(zhǔn)對(duì)位及穩(wěn)固固定同樣關(guān)鍵。對(duì)位偏差會(huì)致使焊膏蔓延至焊盤(pán)外,增加錫珠產(chǎn)生幾率。印刷錫膏的方式包括手工、半自動(dòng)和全自動(dòng),即便在全自動(dòng)印刷模式下,壓力、速度、間隙等參數(shù)仍依賴(lài)人工設(shè)定。因此,無(wú)論采用何種印刷方式,都需協(xié)調(diào)好機(jī)器、模板、印刷電路板和刮刀之間的關(guān)系,確保印刷質(zhì)量穩(wěn)定。在錫膏使用方面,從冷藏室取出的錫膏若升溫時(shí)間不足、攪拌不均勻,容易吸濕。在高溫再流焊過(guò)程中,錫膏內(nèi)水汽揮發(fā),就會(huì)形成錫珠。所以,使用前應(yīng)將錫膏在室溫下放置約 4 小時(shí)恢復(fù)溫度,并充分?jǐn)嚢杈鶆?。

溫度曲線(xiàn)作為再流焊工藝的核心參數(shù),包含預(yù)熱、保溫、回流、冷卻四個(gè)階段。預(yù)熱和保溫環(huán)節(jié)能夠降低元器件與印刷電路板所受熱沖擊,促使錫膏中溶劑充分揮發(fā)。若預(yù)熱溫度不足或保溫時(shí)間過(guò)短,將直接影響焊接質(zhì)量,通常建議保溫階段控制在 150 - 160℃、持續(xù) 70 - 90 秒。此外,生產(chǎn)中若需重新印刷錫膏,務(wù)必徹底清理殘留錫膏,防止其形成錫珠,清理時(shí)應(yīng)避免錫膏流入插孔造成通孔堵塞 。

空洞

空洞也是再流焊的主要缺陷之一,表現(xiàn)為焊點(diǎn)表面或內(nèi)部存在氣孔、針孔。其形成原因多樣:焊膏中金屬粉末含氧量過(guò)高、使用回收焊膏、工藝環(huán)境差混入雜質(zhì)等,需嚴(yán)格把控焊膏質(zhì)量;焊膏受潮吸收水汽,可通過(guò)控制環(huán)境溫度在 20 - 26℃、相對(duì)濕度 40% - 70%,且待焊膏達(dá)室溫后再開(kāi)蓋使用來(lái)解決;元件焊端、引腳、印制電路板焊盤(pán)氧化污染或印制板受潮,應(yīng)遵循元件先進(jìn)先出原則,避免在潮濕環(huán)境存放并注意使用期限;升溫速率過(guò)快導(dǎo)致焊膏中溶劑和氣體未充分揮發(fā),可將 160℃前的升溫速率控制在 1 - 2℃/s。

再流焊過(guò)程中還存在多種其他缺陷。例如,焊膏熔融不完全,表現(xiàn)為焊點(diǎn)周?chē)糠只蛉亢父辔慈刍?;濕?rùn)不良,即元件焊端、引腳或焊盤(pán)出現(xiàn)不沾錫或局部不沾錫現(xiàn)象;焊料量不足,焊點(diǎn)高度未達(dá)規(guī)定標(biāo)準(zhǔn),影響焊點(diǎn)機(jī)械強(qiáng)度與電氣連接可靠性,甚至引發(fā)虛焊、斷路;橋連(短路),元件端頭、引腳或與鄰近導(dǎo)線(xiàn)間出現(xiàn)不應(yīng)有的焊錫連接;錫點(diǎn)高度異常,焊料向焊端或引腳根部遷移,高度觸及或超過(guò)元件體;錫絲,元件焊端、引腳間或與通孔間存在細(xì)微錫絲;元件或端頭出現(xiàn)裂紋、缺損;元件端頭電極鍍層剝落;冷焊(焊錫紊亂),焊點(diǎn)表面有焊錫紊亂痕跡;焊點(diǎn)表面或內(nèi)部出現(xiàn)裂縫等。還有一些肉眼難以察覺(jué)的缺陷,如焊點(diǎn)晶粒大小、內(nèi)部應(yīng)力、內(nèi)部裂紋等,需借助 X 射線(xiàn)檢測(cè)、焊點(diǎn)疲勞測(cè)試等手段才能發(fā)現(xiàn) 。

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原文標(biāo)題:芯片封裝失效典型現(xiàn)象

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