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國產電容式MEMS壓力傳感器得到實現

jf_94815006 ? 來源:jf_94815006 ? 作者:jf_94815006 ? 2025-02-19 12:43 ? 次閱讀
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MEMS壓力傳感器是技術與資本密集型產業(yè),國內缺乏從事MEMS壓力芯片研發(fā)與量產的企業(yè),MEMS國產率很低。午芯芯科技是目前國內唯一家擁有電容式壓力芯片的企業(yè)。午芯芯科技MEMS電容式壓力芯片擁有完全自主知識產權,已獲10項專利授權,從設計到生產的每個環(huán)節(jié)均在國內完成,實現了MEMS電容式壓力芯片領域的國產化替代,突破了國外對電容式壓力芯片設計制造的卡脖子技術,解決了國外專利知識產權的卡脖子問題,填補了國內技術空白,芯片通過了東北國家計量測試中心測試,精度等級為0.01%級別,芯片性能達到國際領先水平,是國內第一個高精度小量程產品化的 MEMS電容式壓力芯片,靈敏度達到厘米級,無需衛(wèi)星信號,自成系統(tǒng),應用于戰(zhàn)斗機、無人機、導彈、炮彈等定位海拔高度系統(tǒng),與慣導系統(tǒng)配合,無需衛(wèi)星導航,也能精準命中目標,此芯片也可應用于熱電池系統(tǒng),對熱電池內部壓力和溫度進行監(jiān)控,提高電池續(xù)航時間,大量應用于手機,消費電子,汽車,無人機,家電,工業(yè),醫(yī)療,航空航天,軍工等領域,該芯片具有低功耗,高精度,高分辨率,溫度特性優(yōu)良等優(yōu)點。

傳感器靈敏度:±0.5Pa(或±0.05m)(標準模式下即可達到)
相對精度:±0.06hPa(或±0.5m)
絕對精度:±1hPa(或±8m)
工作壓力:300~1200hPa
工作溫度:-40~85°C
溫度精度:±0.5°C
壓力溫度敏感度:0.5Pa/K
測量時間:典型值:標準模式為 27.6ms(16 倍),最小值:3.6ms 為低精度模式
平均電流消耗量:大氣壓力工作電流為 2μA;1.5uA 1Hz 采樣率的溫度測量;休眠電流 0.5μA
電源電壓:VDDIO:2.0~5.5V
校準:使用測量校正的系數進行單獨校正,產品出廠已校準
接口:I 2C 和 SPI(均具有可選的中斷)
包裝尺寸:8 引腳 LGA,2.0mm x 2.5mm x 1.0mm

典型應用
? 室內導航(樓層檢測等,例如在商場和停車場)
? 健康和運動(準確的仰角增益和垂直速度)
? 戶外導航(GPS 啟動時間和精度改進,如隧道內的航位推算)
? 氣象站(“微天氣”和本地天氣預報)
? 硬盤驅動程序(硬盤驅動器中的泄漏率檢測)
? 無人機(飛行穩(wěn)定性和高度控制)

午芯芯科技有限公司是一家專注于MEMS芯片研發(fā)、設計、生產、銷售于一體的科技創(chuàng)新型企業(yè),其生產的MEMS電容式壓力芯片是由哈工大、沈理工的多位博導、教授帶領的科研團隊,進行成果轉化,已獲得授權10項芯片架構專利,擁有完全自主知識產權,達到《軍用電子元器件可控評估》A級標準。

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審核編輯 黃宇

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