本文介紹了晶圓料號打標(biāo)的方式以及激光打標(biāo)的原理。

晶圓為什么要打標(biāo)？

晶圓在制造過程中有數(shù)百道工藝步驟，標(biāo)記使得每片晶圓能夠在不同階段進(jìn)行身份識別，有助于追朔，生產(chǎn)管理，數(shù)據(jù)收集分析，防止混淆等功能。

晶圓的標(biāo)打在哪里？

如上圖，一般在晶圓邊緣的flat 或notch附近，正反面均可。

為什么用激光而不用油墨？

1、激光打標(biāo)潔凈度更高，油墨在操作過程中會對晶圓有污染；

2、油墨容易被有機(jī)類容易去除掉，導(dǎo)致失去標(biāo)記功能；

3、激光的精度更高，能夠生成微小的文字、條形碼等。

激光打標(biāo)的原理是什么？

激光束直接作用在材料表面，使其局部溫度迅速上升到氣化點，使材料表面物質(zhì)瞬間氣化并消失，從而在表面留下凹痕。