一、引言
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,先進(jìn)封裝作為后摩爾時(shí)代全球集成電路的重要發(fā)展趨勢(shì),正日益受到廣泛關(guān)注。受益于AI、服務(wù)器、數(shù)據(jù)中心、汽車電子等下游強(qiáng)勁需求,半導(dǎo)體封裝朝著多功能、小型化、便攜式的方向發(fā)展,先進(jìn)封裝市場(chǎng)有望加速滲透。據(jù)Yole的數(shù)據(jù),全球先進(jìn)封裝市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)將從2023年的378億美元增長(zhǎng)至2029年的695億美元,復(fù)合年增長(zhǎng)率達(dá)到10.7%。
二、封裝技術(shù)迭代
(一).從傳統(tǒng)封裝到先進(jìn)封裝的跨越
隨著集成電路工藝制程越發(fā)先進(jìn),對(duì)技術(shù)端和成本端均提出巨大挑戰(zhàn),封裝行業(yè)實(shí)現(xiàn)了從傳統(tǒng)封裝到先進(jìn)封裝的轉(zhuǎn)變。傳統(tǒng)封裝主要功能為芯片提供機(jī)械保護(hù)、散熱途徑以及確保機(jī)械和電氣連接穩(wěn)定性等。先進(jìn)封裝則采用先進(jìn)設(shè)計(jì)思路和集成工藝,對(duì)芯片進(jìn)行封裝級(jí)重構(gòu),能有效提升系統(tǒng)高功能密度。它可在不單純依靠芯片制程工藝突破的情況下,通過晶圓級(jí)封裝和系統(tǒng)級(jí)封裝,提高產(chǎn)品集成度和功能多樣化,滿足終端應(yīng)用對(duì)芯片輕薄、低功耗、高性能的需求,同時(shí)大幅降低芯片成本,在高端邏輯芯片、存儲(chǔ)器、射頻芯片、圖像處理芯片、觸控芯片等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
(二).先進(jìn)封裝發(fā)展趨勢(shì)與技術(shù)迭代
隨著芯片在算速與算力上需求同步提升,高速信號(hào)傳輸、優(yōu)化散熱性能、實(shí)現(xiàn)更小型化封裝、降低成本、提高可靠性以及實(shí)現(xiàn)芯片堆疊等成為封裝領(lǐng)域新追求。從制造工藝端來看,為持續(xù)提升集成度,先進(jìn)封裝從最初的倒裝封裝(FC),逐步向晶圓級(jí)封裝(WLP)、2.5D/3D封裝等迭代。
資料來源:《先進(jìn)封裝推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)新發(fā)展》,《先進(jìn)封裝技術(shù)的發(fā)展與機(jī)遇》,華安證券研究
三、先進(jìn)封裝技術(shù)
傳統(tǒng)封裝首先將晶圓切割成芯片,然后對(duì)芯片進(jìn)行封裝;而晶圓級(jí)封裝則是先在晶圓上進(jìn)行部分或全部封裝,之后再將其切割成單件。
晶圓級(jí)封裝方法能夠進(jìn)一步細(xì)分為以下四種不同類型:其一,晶圓級(jí)芯片封裝(WLCSP),能夠直接在晶圓的頂部形成導(dǎo)線和錫球(Solder Balls),且無需基板。其二,重新分配層(RDL),運(yùn)用晶圓級(jí)工藝對(duì)芯片上的焊盤位置進(jìn)行重新排列,焊盤與外部通過電氣連接的方式相連接。其三,倒片(Flip Chip)封裝,在晶圓上形成焊接凸點(diǎn),以此來完成封裝工藝。其四,硅通孔(TSV)封裝,借助硅通孔技術(shù),在堆疊芯片的內(nèi)部實(shí)現(xiàn)內(nèi)部連接。
(一).晶圓級(jí)封裝(WLP)
晶圓級(jí)封裝(Wafer Level Packaging, WLP)是一種前沿的半導(dǎo)體封裝技術(shù)。與傳統(tǒng)封裝方法不同,WLP在晶圓制造階段即對(duì)芯片進(jìn)行封裝,而非切割成單個(gè)單元后進(jìn)行。這一創(chuàng)新方式使得晶圓上的芯片能夠先進(jìn)行測(cè)試和封裝,隨后再切割成獨(dú)立個(gè)體,從而大幅度提升了生產(chǎn)效率和封裝密度。
晶圓級(jí)封裝(資料來源:屹立芯創(chuàng))
WLP技術(shù)帶來了諸多優(yōu)勢(shì)。首先,在尺寸和重量方面,由于封裝過程在晶圓級(jí)別進(jìn)行,無需為封裝體預(yù)留額外空間,因此可以顯著減小封裝尺寸和減輕重量。其次,成本效率也是WLP的一大亮點(diǎn),整個(gè)晶圓能夠同時(shí)進(jìn)行封裝,這種批量處理方式有效降低了生產(chǎn)成本。此外,WLP還能實(shí)現(xiàn)更高的I/O密度和更優(yōu)的電氣性能,因?yàn)镮/O引腳可以直接分布在芯片周圍。同時(shí),由于封裝材料直接與芯片接觸,有助于熱量的傳導(dǎo),從而提升了散熱性能。最后,由于減少了焊接接頭的數(shù)量,WLP還顯著提高了產(chǎn)品的可靠性。
然而,WLP技術(shù)也存在一些劣勢(shì)。首先,設(shè)計(jì)復(fù)雜性增加,因?yàn)閃LP要求在晶圓級(jí)別進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造,這可能會(huì)提高設(shè)計(jì)的復(fù)雜性和成本。其次,一旦芯片被封裝,如果發(fā)現(xiàn)缺陷,修復(fù)或更換單個(gè)芯片將變得異常困難。最后,WLP需要高精度的制造工藝,對(duì)設(shè)備和技術(shù)的要求較高,這可能限制了部分小規(guī)模制造商的采用。
先進(jìn)的晶圓級(jí)封裝分類
晶圓級(jí)芯片封裝(WLCSP)可分為兩大類型:扇入型WLCSP(Fan-In WaferLevel Chip ScalePackage, Fan-In WLCSP)和扇出型 WLCSP(Fan-Out Wafer Level Chip ScalePackage, Fan-Out WLCSP)。
1.扇入型 (Fan-In) WLCSP (Wafer Level Chip Scale Package)
晶圓級(jí)芯片封裝大多制造過程在晶圓上完成,是晶圓級(jí)封裝典型代表。廣義上,晶圓級(jí)封裝還包括在晶圓上完成部分工藝的封裝,如采用重新分配層、倒片技術(shù)和硅通孔技術(shù)的封裝。扇入型和扇出型 WLCSP 中的 “扇” 指芯片尺寸。扇入型 WLCSP 的封裝布線、絕緣層和錫球在晶圓頂部。扇入型 WLCSP 與傳統(tǒng)封裝相比有優(yōu)缺點(diǎn)。
扇出型封裝(FO)技術(shù)
優(yōu)點(diǎn):封裝尺寸與芯片尺寸相同,可縮至最?。诲a球直接固定在芯片上,無需基板等媒介,電氣傳輸路徑短,電氣特性好;無需基板和導(dǎo)線等封裝材料,工藝成本低,在裸片數(shù)量多、生產(chǎn)效率高時(shí)可進(jìn)一步節(jié)約成本。
缺點(diǎn):采用硅芯片作封裝外殼,物理和化學(xué)防護(hù)性能弱,與 PCB 基板熱膨脹系數(shù)差異大,導(dǎo)致錫球承受應(yīng)力大,焊點(diǎn)可靠性弱;存儲(chǔ)器半導(dǎo)體推出同一容量芯片尺寸變化時(shí),無法用現(xiàn)有基礎(chǔ)設(shè)施進(jìn)行封裝測(cè)試;封裝錫球陳列尺寸大于芯片尺寸或晶圓上芯片數(shù)量少、生產(chǎn)良率低時(shí),封裝成本高于傳統(tǒng)封裝。
2.扇出型 (Fan-Out) WLCSP
扇出型WLCSP繼承了扇入型的優(yōu)點(diǎn)并改進(jìn)了其缺陷。
扇入型封裝和扇出型封裝(資料來源:SK海力士)
扇入型WLCSP的錫球均位于芯片表面,而扇出型則可延伸至芯片外。扇入型需在封裝后才切割晶圓,故芯片與封裝尺寸需一致,錫球也必須在芯片范圍內(nèi)。扇出型則先切割再封裝,芯片排列在載體上重塑為晶圓,其間填充環(huán)氧樹脂模塑料。之后取出晶圓進(jìn)行級(jí)處理并切割成單元。
扇出型不僅保持扇入型的電氣特性,還解決了其問題,如無法使用現(xiàn)有封裝測(cè)試設(shè)施、錫球陣列過大無法封裝及封裝不良導(dǎo)致的成本增加等。因此,扇出型WLCSP近年來應(yīng)用日益廣泛。
(二).重新分配層 (ReDistribution Layer, RDL)
RDL技術(shù)是對(duì)晶圓上已有鍵合焊盤進(jìn)行重新布線的工藝,通過增加金屬層來改變焊盤布局。這是一種晶圓級(jí)工藝,專為焊盤重排設(shè)計(jì),處理后仍需傳統(tǒng)封裝。
客戶若想獨(dú)特排列晶圓焊盤,采用RDL技術(shù)比更改晶圓制造更高效。此外,RDL也適用于中心焊盤芯片的堆疊。
采用RDL技術(shù)的芯片與剖面圖
(三).倒片封裝 (Flip Chip)
倒片封裝技術(shù)通過將芯片上的凸點(diǎn)翻轉(zhuǎn)并安裝于基板等封裝體上,實(shí)現(xiàn)芯片與板的電氣連接。此技術(shù)已很大程度上取代傳統(tǒng)引線鍵合,原因有二:
引線鍵合對(duì)輸入/輸出(I/O)引腳數(shù)量和位置有限制,而倒片封裝無此限制。
倒片封裝的電信號(hào)傳輸路徑更短。
在引線鍵合中,金屬焊盤一維排列于芯片表面,無法位于邊緣或中心。而倒片封裝中,焊盤可二維排列于芯片一側(cè),數(shù)量大幅增加。此外,凸點(diǎn)焊盤可布置于芯片頂部任意位置,供電焊盤也可靠近需供電區(qū)域,提升電氣性能。
引線鍵合與倒片鍵合的信號(hào)傳輸路徑對(duì)比
(四).堆疊封裝 (Stacked Packages)
堆疊封裝技術(shù)能減小產(chǎn)品體積,提升性能,是產(chǎn)品開發(fā)的重要方法。過去,一個(gè)封裝體內(nèi)通常只封裝一個(gè)芯片,但現(xiàn)在可開發(fā)多芯片封裝或大容量存儲(chǔ)器封裝,甚至整合多個(gè)系統(tǒng)組件于單個(gè)封裝體內(nèi)。這些技術(shù)助力半導(dǎo)體公司打造高附加值產(chǎn)品,滿足市場(chǎng)需求。
堆疊封裝技術(shù)主要分為三類:
封裝堆疊:通過垂直堆疊封裝體形成。
芯片疊層封裝(引線鍵合):使用引線鍵合技術(shù)將不同芯片堆疊在單個(gè)封裝體內(nèi)。
芯片疊層封裝(TSV):使用硅通孔技術(shù)替代引線鍵合實(shí)現(xiàn)內(nèi)部電氣互連。
2.5D/3D封裝與堆疊封裝緊密相連,均為半導(dǎo)體封裝的關(guān)鍵技術(shù),旨在提升芯片集成度、性能和體積效率。
堆疊封裝通過垂直堆疊多個(gè)封裝體或芯片來減小體積、提升性能,可采用不同技術(shù)實(shí)現(xiàn)。2.5D封裝利用中介層和TSV等技術(shù)連接多個(gè)芯片,降低成本、提高產(chǎn)量。3D封裝則在芯片內(nèi)部制作TSV,實(shí)現(xiàn)更高集成度,但技術(shù)難度和成本較高。
三者均追求高集成度、性能和體積效率,堆疊封裝包含2.5D和3D封裝。它們?cè)诓煌I(lǐng)域有廣泛應(yīng)用,如高性能計(jì)算、網(wǎng)絡(luò)通信等,且隨著技術(shù)進(jìn)步,將更廣泛地應(yīng)用于電子產(chǎn)品,推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
資料來演:芯觀點(diǎn)
(五).系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)
系統(tǒng)級(jí)封裝(System in Package, SiP)是一種先進(jìn)的封裝技術(shù),它通過將多個(gè)功能各異的集成電路(ICs),比如處理器、存儲(chǔ)器、傳感器等,集成在一個(gè)單一的封裝內(nèi),來構(gòu)建一個(gè)完整的系統(tǒng)解決方案。這種集成不僅限于硬件組件,還可以包括軟件部分以及無源元件,如電阻器和電容器,從而實(shí)現(xiàn)高度的系統(tǒng)整合。
SiP技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于其高集成度,能夠?qū)⒍鄠€(gè)芯片和元件集成在單一封裝內(nèi),顯著減少最終產(chǎn)品所需的空間。此外,由于元件之間的距離縮短,SiP能夠提升電子設(shè)備的性能,減少信號(hào)傳輸?shù)难舆t。SiP還提供了設(shè)計(jì)靈活性,允許設(shè)計(jì)師在系統(tǒng)級(jí)別上進(jìn)行創(chuàng)新,更容易實(shí)現(xiàn)定制化設(shè)計(jì)。從成本角度來看,SiP通過集成多個(gè)元件減少了組裝成本和材料使用,從而降低了整體成本。同時(shí),由于減少了外部連接和接口,SiP提高了系統(tǒng)的可靠性和耐用性。
芯粒概念圖
然而,SiP技術(shù)也面臨一些挑戰(zhàn)。其設(shè)計(jì)和開發(fā)過程比傳統(tǒng)封裝更為復(fù)雜,需要跨學(xué)科的專業(yè)知識(shí)。此外,SiP封裝的維修難度較高,一旦封裝出現(xiàn)故障,可能需要更換整個(gè)模塊,增加了維修成本。隨著集成度的提高,散熱成為SiP設(shè)計(jì)中的一個(gè)重要考慮因素。盡管長(zhǎng)期來看SiP可以降低成本,但初期的制造成本可能較高,特別是對(duì)于產(chǎn)量不大的產(chǎn)品。這些挑戰(zhàn)需要通過創(chuàng)新的設(shè)計(jì)和制造技術(shù)來克服,以實(shí)現(xiàn)SiP技術(shù)的全面優(yōu)勢(shì)。
四、先進(jìn)封裝市場(chǎng)格局
全球先進(jìn)封裝參與者眾多,其解決方案涵蓋(超)高密度扇出(有機(jī)中介層)、3D片芯堆疊、2.5D硅中介層、2.5D嵌入式硅橋、3D堆疊存儲(chǔ)器等幾大類。龍頭代工廠及其解決方案包括臺(tái)積電(InFO,集成扇出)、日月光(FOCoS,芯片后裝的基板上扇出芯片)、三星(2.5D RDL(再分布層))、Amkor Technology(S - SWIFT,高密度扇出線)等。
典型工藝布局如下:
2.5D:CoWoS(臺(tái)積電)、EMIB(英特爾)、I - Cube(三星)、XDFOI(長(zhǎng)電科技)等;
3D:SoIC(臺(tái)積電)、Foveros(英特爾)、X - Cube(三星)、3D - eSinC(華天科技)等。
所有高端性能封裝平臺(tái)(Yole對(duì)2.5D和3D的分類)
五、未來發(fā)展趨勢(shì)
在當(dāng)前AI等新興領(lǐng)域帶動(dòng)下,移動(dòng)和消費(fèi)類、電信和基礎(chǔ)設(shè)施以及汽車等終端市場(chǎng)需求強(qiáng)勁增長(zhǎng),先進(jìn)封裝市場(chǎng)快速增長(zhǎng),產(chǎn)業(yè)鏈各細(xì)分環(huán)節(jié)都有望迎來國(guó)產(chǎn)替代廣闊機(jī)遇。未來,先進(jìn)封裝可能會(huì)朝著更高集成度、更小尺寸、更高性能以及智能化等方向發(fā)展。例如,可能會(huì)出現(xiàn)將更多種類芯片集成在一個(gè)封裝體內(nèi)的技術(shù),進(jìn)一步縮小封裝尺寸,采用更先進(jìn)材料和工藝提高性能,以及實(shí)現(xiàn)封裝體的智能化監(jiān)測(cè)和控制等。
六、結(jié)語
先進(jìn)封裝作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié),在滿足終端應(yīng)用需求、推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展方面具有重要作用。隨著市場(chǎng)需求的增長(zhǎng)和技術(shù)的不斷進(jìn)步,全球先進(jìn)封裝市場(chǎng)規(guī)模將持續(xù)擴(kuò)大,國(guó)內(nèi)企業(yè)在市場(chǎng)格局中也有一定的發(fā)展機(jī)會(huì),同時(shí)關(guān)鍵設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化替代也在逐步推進(jìn)。未來,先進(jìn)封裝技術(shù)將不斷創(chuàng)新和發(fā)展,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來更多的可能性。
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原文標(biāo)題:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈重要環(huán)節(jié),淺談先進(jìn)封裝
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SiP與Chiplet成先進(jìn)封裝技術(shù)發(fā)展熱點(diǎn)
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先進(jìn)封裝技術(shù)FC/WLCSP的應(yīng)用與發(fā)展
先進(jìn)封裝技術(shù)的發(fā)展與機(jī)遇
什么是先進(jìn)封裝技術(shù)的核心

什么是先進(jìn)封裝?先進(jìn)封裝技術(shù)包括哪些技術(shù)

先進(jìn)封裝技術(shù)綜述

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