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ERS electronic推出具備光子解鍵合和晶圓清洗功能的全自動(dòng)Luminex機(jī)器

全球TMT ? 來源:全球TMT ? 作者:全球TMT ? 2024-05-29 17:39 ? 次閱讀
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慕尼黑2024年5月29日/美通社/ -- 半導(dǎo)體制造業(yè)提供溫度管理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者ERS electronic宣布推出兩款全新Luminex系列全自動(dòng)設(shè)備:LUM300A1和 LUM300A2,這兩臺(tái)設(shè)備專為處理300毫米基板而設(shè),均采用了ERS最先進(jìn)的光子解鍵合技術(shù),為臨時(shí)鍵合和解鍵合工藝提供了無與倫比的靈活性、極高生產(chǎn)能力和成本效益。

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ERS's fully automatic Luminex machines set a new standard when it comes to flexibility, cost-effectiveness, and throughput

"臨時(shí)鍵合和解鍵合是基板(晶圓或面板)減薄和封裝工藝不可或缺的技術(shù)," Yole Group半導(dǎo)體設(shè)備高級(jí)技術(shù)與市場(chǎng)分析師Taguhi Yeghoyan博士認(rèn)為,"封裝在所有應(yīng)用中所取得的進(jìn)步(如扇出面板級(jí)封裝和異質(zhì)集成)推動(dòng)了臨時(shí)鍵合和解鍵合設(shè)備的銷量,預(yù)計(jì)2029 年收入將達(dá)到5.71億美元,23到29年均復(fù)合增長(zhǎng)率為16.6%,其中超過70%的收入將來自于激光有關(guān)的機(jī)器。"[1]

ERS的新型Luminex設(shè)備為無應(yīng)力解鍵合提供了獨(dú)特的解決方案,與傳統(tǒng)激光鍵合相比,可節(jié)省運(yùn)營(yíng)成本30%以上。具備強(qiáng)大的晶圓、薄晶圓處理能力,每小時(shí)產(chǎn)出量至少為45個(gè)晶圓的該設(shè)備無疑為用戶提供了一種高產(chǎn)能的解決方案,生產(chǎn)率將得到顯著提升。

光子解鍵合工藝的一個(gè)主要優(yōu)勢(shì)是能與各種鍵合材料兼容,這使得機(jī)器能夠滿足OSAT變化多端的產(chǎn)品,并無縫集成到各種制造工作流程中。

LUM300A1為解鍵合工藝提供量產(chǎn)型解決方案,LUM300A2還另外配有晶圓清洗模塊。

ERS electronic公司副總裁兼先進(jìn)封裝設(shè)備事業(yè)部經(jīng)理Debbie-Claire Sanchez說:“Luminex設(shè)備大大提高了解鍵合工藝的靈活性和效率,使我們的客戶能夠加快開發(fā)用于人工智能、汽車和其他尖端應(yīng)用的下一代半導(dǎo)體芯片。”

適用于最大尺寸為600 x 600 mm晶圓和面板的半自動(dòng)版本LUM600S1已于今年3月份發(fā)布,客戶可在位于中國(guó)和德國(guó)的實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行測(cè)試和評(píng)估該機(jī)器。

[1]來源:Wafer Fab Equipment Market Monitor, Yole Intelligence, 2024


審核編輯 黃宇

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