北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司近期榮獲一項名為“半導體工藝設備中溫度控制裝置及方法”的創(chuàng)新專利，授權公告號為CN113013071B，授權公告日為2024年5月17日，申請日期為2021年3月31日。

本發(fā)明涉及一種用于半導體工藝設備的溫度控制裝置和方法，具體包含第一溫控源、第二溫控源、第一輸出管道、第二輸出管道、第一回流管道、第二回流管道、第一短路管道、第二短路管道以及控制器等部件。其中，兩個溫控源的輸出口經由兩個輸出管道與卡盤的進口相連，回流口則通過兩個回流管道與卡盤的出口相接；同時，兩個輸出口還通過兩個短路管道與各自的回流口連接。每個管道上都設有通斷開關，而控制器則負責依次連通或斷開這些開關，實現(xiàn)卡盤與兩個溫控源之間的連通切換。值得注意的是，兩個溫控源所使用的溫控介質的溫度并不相同。本發(fā)明的實施有助于提升溫度控制范圍、縮短控溫時間，并有效解決兩個溫控源中流體串混的問題。