為了最大限度地提高生產(chǎn)效率，新的晶圓工廠和正在翻新升級(jí)的晶圓工廠選擇采用RFID技術(shù)應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)上，通過(guò)RFID技術(shù)的非接觸式采集信息特性，對(duì)晶圓盒在生產(chǎn)、存儲(chǔ)、運(yùn)輸過(guò)程中進(jìn)行信息追蹤和管理，提升半導(dǎo)體制造 業(yè)的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

Wafer晶圓盒在半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要起到放置盒輸送晶圓的作用，能夠降低在運(yùn)輸過(guò)程中被污染的風(fēng)險(xiǎn)。在半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間，將TI標(biāo)簽植入到wafer晶圓盒上，并在TI標(biāo)簽上記錄著晶圓盒的信息，如尺寸、種類(lèi)、加工時(shí)間/次數(shù)等，RFID讀寫(xiě)頭JY-V640則是用來(lái)讀取wafer晶圓盒的標(biāo)簽信息，則能夠大大提高生產(chǎn)線上的工作效率。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上，TI玻璃管標(biāo)簽部署在晶圓盒上，晶圓盒玻璃管標(biāo)簽內(nèi)的材料型號(hào)、規(guī)格、加工流程等信息通過(guò)RFID讀寫(xiě)頭進(jìn)行識(shí)別，以準(zhǔn)確控制和調(diào)整生產(chǎn)過(guò)程。RFID讀寫(xiě)頭還可以支持對(duì)晶圓盒的實(shí)時(shí)監(jiān)控。在生產(chǎn)線上，讀寫(xiě)器會(huì)實(shí)時(shí)讀取經(jīng)過(guò)的晶圓盒標(biāo)簽信息，并將信息上傳到上位機(jī)軟件中。生產(chǎn)管理人員可以隨時(shí)了解生產(chǎn)線的運(yùn)行狀況，及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)計(jì)劃，確保生產(chǎn)順利進(jìn)行。

在晶圓清洗過(guò)程中，半導(dǎo)體RFID讀取器讀取清洗區(qū)域的TI玻璃管標(biāo)簽，以確定晶圓的信息及其到達(dá)清洗位置的時(shí)間。清洗任務(wù)完成后，記錄清洗完成時(shí)間，并標(biāo)記清洗后的硅片。將有關(guān)此過(guò)程的所有信息上傳到管理系統(tǒng)，以避免過(guò)程混亂。

在晶圓盒存儲(chǔ)柜的管理中，RFID讀寫(xiě)頭嵌入到存儲(chǔ)柜載體平臺(tái)的支撐板中。在接入晶圓盒時(shí)，RFID讀寫(xiě)頭會(huì)自動(dòng)將讀取的晶圓盒接入信息和時(shí)間上傳到管理系統(tǒng)的數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行存儲(chǔ)，并實(shí)時(shí)更新接入信息。

當(dāng)晶圓盒放置在半導(dǎo)體電子貨架上時(shí)，電子貨架上的RFID讀寫(xiě)頭會(huì)自動(dòng)讀取玻璃管標(biāo)簽，采集存儲(chǔ)在電子貨架上的晶圓盒信息，并在前方顯示屏上顯示晶圓產(chǎn)品的部分類(lèi)型信息；如果RFID讀寫(xiě)頭在取出晶圓盒后無(wú)法讀取該位置的標(biāo)簽，則會(huì)在顯示屏上顯示相應(yīng)的產(chǎn)品已被取出。

半導(dǎo)體橋式起重機(jī)站識(shí)別和裝卸管理，在橋式起重機(jī)上安裝RFID讀寫(xiě)頭，在列車(chē)軌道節(jié)點(diǎn)上安裝RFID標(biāo)簽。在進(jìn)行運(yùn)輸作業(yè)時(shí)，RFID讀寫(xiě)頭可以讀取軌道節(jié)點(diǎn)處的RFID標(biāo)簽，以獲取橋式起重機(jī)的行駛位置信息?？梢詫?duì)橋式起重機(jī)的位置進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)控，并可根據(jù)自身位置進(jìn)行路線規(guī)劃和調(diào)度，以保證橋式起重機(jī)運(yùn)行的安全距離和運(yùn)輸效率。當(dāng)橋式起重機(jī)到達(dá)相應(yīng)點(diǎn)時(shí)，RFID讀寫(xiě)頭將識(shí)別目的地的標(biāo)簽信息，并將該批晶圓信息輸入到目的地的晶圓存儲(chǔ)信息數(shù)據(jù)庫(kù)中。工作人員可以在管理系統(tǒng)中快速找到晶圓盒的所有信息。

審核編輯 黃宇