近日，中微晶園成功研發(fā)出基于Cavity-SOI工藝的MEMS絕壓壓力傳感器產(chǎn)品，可應(yīng)用于高度計(jì)、無(wú)人機(jī)、充氣泵、汽車(chē)胎壓監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。該系列化產(chǎn)品采用了先進(jìn)的Cavity-SOI工藝，結(jié)合了MEMS技術(shù)的創(chuàng)新設(shè)計(jì)與精湛工藝，具有高精度、高可靠、低功耗、穩(wěn)定性強(qiáng)、抗干擾能力強(qiáng)、工作溫度范圍廣泛、芯片尺寸微型化等突出特點(diǎn)。這標(biāo)志著中微晶園在MEMS技術(shù)領(lǐng)域又一次獲得了重大突破，填補(bǔ)了公司高端壓力傳感器的空白，拓展了公司高精度、高可靠產(chǎn)品的種類(lèi)，提升了公司壓力傳感器產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，為未來(lái)的MEMS壓力傳感器產(chǎn)品系列化發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

團(tuán)隊(duì)目前正在進(jìn)行絕壓產(chǎn)品壓力量程系列化拓展，預(yù)計(jì)6月底前完成100~2000kPa絕壓壓力量程產(chǎn)品全覆蓋及量產(chǎn)化，產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋汽車(chē)工業(yè)、工業(yè)自動(dòng)化、醫(yī)療設(shè)備等。中微晶園定當(dāng)不負(fù)眾望，披荊斬棘，致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品優(yōu)化，為客戶提供更多高性能、高可靠性的MEMS傳感器產(chǎn)品。

審核編輯：劉清