行業(yè)背景

半導體制造業(yè)可以說是現代電子工業(yè)的核心產業(yè)，廣泛應用于計算機、通信、汽車、醫(yī)療等領域。而在半導體生產加工過程中，如刻蝕、 鍍膜、 擴散、沉積、退火等環(huán)節(jié)，真空泵都是必不可少的關鍵設備，它可以構建穩(wěn)定受控的真空環(huán)境，以避免產品出現污染、氧化或者其他缺陷，對于半導體產品的品質、壽命以及性能都有著不可忽視的影響。

為保證真空泵安全穩(wěn)定運行，物通博聯提供基于工業(yè)智能網關的數據采集遠程監(jiān)控系統，實現真空泵運行狀態(tài)及工藝參數的在線監(jiān)控與預警，從而幫助工廠及時采取措施，保證生產安全與產品質量。

行業(yè)痛點

數據采集困難：真空泵通常分布在生產現場或遠程地點，傳統的手動采集數據方式需要人工去現場抄寫數據，工作量大，因此需要數據采集實現遠程監(jiān)控。

故障預警挑戰(zhàn)：真空泵運行出現故障無法及時感知，一旦出現故障就會影響生產的穩(wěn)定性和安全性，同時造成物料浪費，因此需要故障預警報警機制。

數據應用難題：真空泵產生的數據包括壓強、溫度、振動等多種參數，需要進行實時處理和分析，需要數據報表及展示分析渠道，實現提質增效、節(jié)能優(yōu)化等。

解決方案

半導體工業(yè)正在逐步實現自動化生產，真空泵通過PLC自動化控制已經得到廣泛應用，因此只需要將物通博聯工業(yè)智能網關接入到PLC，就能實時采集PLC內真空泵的工作參數（壓強、溫度、振動等）并通過5G/4G/WIFI/以太網等方式上傳到云平臺或本地上位機，進而實現設備遠程監(jiān)控、故障報警、遠程控制及遠程維護等功能。

通過手機端和電腦端，工廠可以遠程查看工藝組態(tài)畫面，了解每臺真空泵的運行狀態(tài)、工藝參數、故障信息、運維記錄等，從而實現及時管理控制，維護安全穩(wěn)定的生產秩序。

系統功能

1、數據采集：系統可以實時采集真空泵的運行狀態(tài)數據，如壓強、溫度、振動等，并將這些數據生成可視化圖表，方便快速查詢實時數據和歷史數據。

2、組態(tài)監(jiān)控：系統可以自定義云組態(tài)，在線查看每臺真空泵工作狀態(tài)和參數變化，支持自定義編輯，通過拖拉拽添加/刪除控件，操作簡單易懂。

3、遠程監(jiān)控：通過手機或電腦等智能終端，讓用戶可以隨時隨地查看真空泵的實時運行狀態(tài)和歷史數據，提高了設備的管理效率和生產效益。

4、異常處理：當真空泵出現異常情況時，系統會自動報警并記錄異常信息，便于用戶快速發(fā)現并解決問題，減少生產損失與物料浪費。

5、遠程維護：工程師可以對異地PLC進行遠程編程調試和遠程上下載程序等操作，減少出差和花銷，提高工作效率和售后服務質量。

6、數據分析：根據采集到的數據進行分析和處理，可以了解設備性能、能耗水平，也能預測可能出現的問題，采取措施進行管理優(yōu)化，提高生產效率。

系統效益

通過對真空泵的實時監(jiān)控和故障報警，實現對半導體芯片生成過程的真空環(huán)境進行精細控制，保證過程中的參數穩(wěn)定正常，能夠保證企業(yè)提高設備效率和可靠性，減少停工和維護時間，為企業(yè)帶來更多的經濟效益。

審核編輯 黃宇