前言： 半導體產業(yè)作為我國戰(zhàn)略科技力量的核心支柱產業(yè)，其半導體零部件領域的發(fā)展對于推動我國半導體產業(yè)高質量發(fā)展具有至關重要的影響。

新質生產力加速國內產業(yè)演進

新質生產力是推動新舊動能轉換、引領經濟轉型過程的關鍵動力。

通過新質生產力賦能傳統(tǒng)產業(yè)改造、轉型、升級，可以促進產業(yè)智能化、綠色化、高端化發(fā)展。

從全球視角來看，新質生產力在國際貿易中具有重要作用。

一方面，新質生產力通過技術創(chuàng)新和產業(yè)升級提升我國產品競爭力；

另一方面，借助在線電子商務平臺，實現(xiàn)貿易伙伴多元化，降低對單一市場的依賴。

新質生產力的發(fā)展還有助于緩解技術封鎖，推動我國科技創(chuàng)新和自主可控能力的提升。

新質生產力要求科技創(chuàng)新引領及產業(yè)轉型升級發(fā)展（信息化、數(shù)字化及智能化），因此建議關注競爭格局較好的半導體設備及零部件產業(yè)鏈。

零部件價值在半導體設備總價值中占比近半

半導體設備由眾多復雜零部件構成，這些零部件的性能、品質和精度直接影響著設備的可靠性與穩(wěn)定性。

因此，半導體設備零部件需在材料、結構、工藝、品質、精度、可靠性及穩(wěn)定性等方面滿足半導體設備及技術的要求。

半導體設備的生產能力取決于零部件的保障。可以說，半導體設備零部件是整個半導體行業(yè)的基石。

半導體設備零部件是半導體設備廠商的主要成本來源，約占營業(yè)成本的90%，并占半導體設備總價值量的50%。

從成本角度來看，零部件采購額通常占據半導體設備生產成本的90%以上，是半導體設備的基礎和核心。

據預測，到2030年，我國半導體設備零部件市場預期規(guī)模將達到約180億美元。

根據SEMI數(shù)據，2022年全球半導體設備市場規(guī)模達到1076億美元，我國半導體設備市場規(guī)模達到283億美元，占全球半導體設備規(guī)模的26%。

預計到2026年底，我國晶圓制造產能有望超過340萬片/月。相應地，預計2020年至2026年，我國晶圓廠用于制造芯片流程中替換零部件的采購額將從10億美元增長至19億美元左右。

“小”賽道做“大”生意

所謂的[小]賽道，是因為各個細分領域都非常精細，單一產品的市場容量有限。

比如流量計、密封圈等零部件，對精度和材料要求很高，而且同類型產品型號眾多，不同類別之間的工作原理差別很大。

正因為高精度和碎片化的特點，純粹的半導體零部件公司并不多見。

國際上領先的半導體零部件企業(yè)通常采用跨行業(yè)多產品線的發(fā)展戰(zhàn)略，半導體零部件只是其中的一項業(yè)務。

比如MKS儀器公司，在氣體壓力計、反應器、射頻/直流電源、真空產品、機械手臂等領域都占據主要市場份額。

設備的零部件通常占設備總支出的70%左右，以刻蝕機為例，十種主要關鍵部件占設備總成本的85%。

因此，半導體零部件雖然[小]，卻能制約[大]的設備。

由于部分零部件短缺，許多國產設備廠商采取了3-4倍的超前采購策略。

比如北方華創(chuàng)去年采購總額高達176億，即使設備可以國產，數(shù)量仍然不足以滿足需求。

一方面，半導體設備廠商需要大量的定制化原裝零部件，這部分主要由零部件廠商提供。

VLSI數(shù)據顯示，2020年半導體設備子系統(tǒng)市場銷售規(guī)模接近100億美元，其中維修和支持服務占46%，零部件產品銷售占32%，替換升級占22%。

另一方面，晶圓代工廠商的需求也在增長。國內主流代工廠全年日常運營中領用的零部件（包括更換和失效更換）超過2000種。

因此，半導體制造廠往往會直接采購作為耗材或備件的零部件及相關服務。

對于設備制造商來說，替換零件能帶來高利潤并穩(wěn)定收入。即使在經濟低迷時期，芯片制造商控制投資，仍會繼續(xù)購買替換零件。

國內具有代表屬性的企業(yè)情況

①富創(chuàng)精密：作為國內領先的平臺型半導體設備零部件制造商，富創(chuàng)精密在國產替代的趨勢中占據前列。

2018至2022年，其營業(yè)收入從2.25億元增長至15.44億元，復合年增長率（CAGR）高達62%。

同時，富創(chuàng)精密在中國大陸半導體設備零部件市場的份額也從2018年的0.6%增長至2022年的1.8%。

②中瓷電子：這家國內領先的陶瓷材料供應商在半導體靜電卡盤領域肩負起國產化的重任。2022年，中瓷電子的通信類陶瓷產品營業(yè)收入達到9.5億元，同比增長30%，占營業(yè)總收入的72%。

通信類陶瓷產品仍是中瓷電子的核心業(yè)務。此外，中瓷電子的靜電卡盤業(yè)務在2022年實現(xiàn)了800萬元的營業(yè)收入，實現(xiàn)了[從0到1]的突破。

③英杰電氣：作為國內領先的射頻電源供應商，英杰電氣的相關產品正在從工業(yè)級向半導體級升級。

目前，全球半導體射頻電源市場基本由海外企業(yè)MKS、AE、日本大阪變壓器株式會社壟斷。

英杰電氣在國內半導體設備廠的認證過程中，有望實現(xiàn)國產零的突破。公司的半導體射頻電源已進入中微公司MOCVD設備的供應鏈，并在刻蝕、薄膜沉積、離子注入等環(huán)節(jié)開始驗證。

④新松機器人：已實現(xiàn)量產半導體EFEM和真空機械手，并向中國半導體設備廠出貨。

2022年，新松機器人的EFEM和真空機械手營業(yè)收入達到2.4億元。

在國內相關EFEM和真空機械手市場空間接近50億元的大背景下，新松機器人的半導體零部件業(yè)務有望迎來翻倍式增長。

⑤新萊應材：其高純、超高純產品正在長鑫存儲、長江存儲、北方華創(chuàng)等國內一線廠商的驗證過程中。

新萊應材是中國大陸半導體閥門領域的龍頭企業(yè)，也是國內少數(shù)通過AMAT、Lam認證的半導體設備零部件供應商。

2022年，新萊應材的泛半導體業(yè)務營業(yè)收入達到7.11億元，同比增長33.6%。

⑥江豐電子：近年來，江豐電子持續(xù)加大投入，構建了包括超精密加工、特種焊接、表面處理、超級凈化清洗等在內的生產體系，填補了國內零部件的產能缺口。

2021年，江豐電子的半導體零部件營業(yè)收入為1.84億元，同比增長239.96%，收入占比11.56%，毛利率23.93%；

2022年上半年，半導體零部件營業(yè)收入為1.77億元，收入占比和毛利率進一步提升至16.26%、28.28%。

零部件細分領域將實現(xiàn)重點突破

①石英制品：作為半導體設備的重要組成部分和芯片生產過程中的關鍵耗材，石英制品的應用場景與半導體生產工藝緊密相連。

據全球石英玻璃制品終端市場數(shù)據顯示，半導體石英制品占比高達65%。據WSTS數(shù)據顯示，2021年全球半導體石英制品市場規(guī)模達到240億元。

我國石英制品行業(yè)主要企業(yè)包括寧波云德、強華股份、菲利華、菲利華石創(chuàng)、東科石英、石英股份、凱德石英等。

②射頻電源：射頻電源在各類電源中較為復雜，對射頻功率的饋入、匹配器的匹配以及屏蔽和接地等方面具有較高要求。

據中原證券測算，2021年全球半導體設備零部件市場規(guī)模為513億美元，其中射頻電源約占10%，推算出2021年半導體射頻電源市場規(guī)模約為50億美元。

國內廠商英杰電氣在半導體射頻電源領域取得突破，已與國內半導體設備龍頭企業(yè)展開合作。

③真空泵：真空泵為集成電路制造前道工序四大核心設備之一，提供制造工藝所需超潔凈真空環(huán)境，負責完成物理和化學氣相沉積、刻蝕、離子注入等超微加工。

據華經產業(yè)研究院數(shù)據，2021年全球半導體真空泵市場規(guī)模為179.7億元，預計2022年將達到196.4億元，同比增長9.3%；

其中半導體設備市場為147.3億元，維修市場為49.1億元。

海外廠商占據2021年全球半導體真空泵市場95%份額，國內廠商如漢鐘精機、中科儀等已取得突破，未來具有較大國產替代空間。

④閥：據QYR數(shù)據，2020年全球共消費82.36萬個真空閥，約占全球半導體閥市場33.66%。

據QYResearch數(shù)據，2021年全球半導體閥市場規(guī)模為13.74億美元，同比增長17.15%，預計2027年將達到19.58億美元，2021-2027年復合增長率為4.69%。

⑤靜電吸盤：靜電吸盤已成為廣泛應用的晶圓夾持工具，是刻蝕設備、PVD設備、PECVD設備、離子注入設備等核心部件。

據QYResearch數(shù)據，2021年全球靜電吸盤市場銷售額為17.14億美元，預計2028年將達到24.12億美元，2022-2028年復合增長率為5.06%。

2021年全球靜電吸盤銷量為5.54萬件，預計2028年將達到7.99萬件。

2021年中國靜電吸盤市場規(guī)模為3.19億美元，預計2028年將達到5.24億美元，2022-2028年復合增長率為7.16%。

我國在半導體靜電吸盤領域已實現(xiàn)技術突破，北京華卓精科科技有限公司、廣東海拓創(chuàng)新精密設備科技有限公司實現(xiàn)商業(yè)化生產，中國臺灣CALITECH亦在靜電卡盤吸盤方面取得一定突破。

⑥機械手：半導體機械手可分為大氣機械手和真空機械手。

目前大氣機械手市場占比超過60%。據QYResearch數(shù)據，2021年全球半導體機械手市場銷售額為8.36億美元，預計2027年將達到13.47億美元，2021-2027年復合增長率為8.3%。

2021年中國半導體機械手市場規(guī)模為1.67億美元，約占全球的20%，預計2027年將達到3.61億美元，占比將達到26.8%。

⑦陶瓷部件：據專家介紹，陶瓷部件成本占半導體設備成本10%以上。

市場調研機構Techcet發(fā)布的報告顯示，作為半導體制造設備耗材的陶瓷部件市場規(guī)模預計在2022年達到23億美元，同比增長15%。

目前，國內涉及半導體陶瓷件供應的企業(yè)包括蘇州珂瑪、卡貝尼、河南東微電子、三環(huán)集團、中瓷電子等。

結尾：

隨著半導體產業(yè)持續(xù)向我國大陸地區(qū)轉移，國內半導體設備零部件制造商面臨前所未有的發(fā)展機遇。

在國內企業(yè)的發(fā)展階段上，大部分企業(yè)仍處于初期階段，業(yè)務范疇相對狹窄，總體規(guī)模相對較小。

因此，在短期內，乘借國產替代的浪潮，提升核心產品的競爭力成為當務之急。

從長期視角來看，橫向或縱向（部分）拓展業(yè)務領域是企業(yè)發(fā)展的必然途徑。

審核編輯：黃飛