的確，Micro LED顯示面板的制造工序較多，其中Micro LED巨量轉(zhuǎn)移、巨量焊接及巨量修復(fù)是Micro LED顯示屏的必備制程，激光技術(shù)及其裝備是Micro LED顯示面板產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵核心裝備，相較于原來(lái)OLED制程裝備大部分仰賴進(jìn)口，Micro LED制程國(guó)產(chǎn)化裝備有望領(lǐng)跑國(guó)際。

就激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備來(lái)說(shuō)，主要應(yīng)用于Micro LED巨量轉(zhuǎn)移和單點(diǎn)修復(fù)制程，可實(shí)現(xiàn)對(duì)任意尺寸任意間距RGB芯片選擇性轉(zhuǎn)移，在修復(fù)段用于芯片單點(diǎn)轉(zhuǎn)移。

據(jù)彭信翰介紹，激光轉(zhuǎn)移具有高產(chǎn)出、高精度等特點(diǎn)，且在可選擇性轉(zhuǎn)移方面有較大優(yōu)勢(shì)。目前，Micro LED巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)主要有兩大技術(shù)路線，分別為透過(guò)Mask選擇性轉(zhuǎn)移以及控制激光束轉(zhuǎn)移。

其中，控制激光束轉(zhuǎn)移是當(dāng)前的主流技術(shù)路線，海目星激光通過(guò)這一技術(shù)路線推出二極管泵浦固體(DPSS)激光器，目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)移像素密度超600PPI,制程良率已達(dá)99.99%以上，轉(zhuǎn)移基板尺寸超過(guò)11”，達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，可實(shí)現(xiàn)巨量轉(zhuǎn)移+轉(zhuǎn)移修復(fù)+面板修復(fù)。

二極管泵浦固體(DPSS)激光器應(yīng)用于Micro LED巨量鍵合制程，搭配高精度溫控激光器、快速視覺(jué)對(duì)位與演算法實(shí)現(xiàn)本應(yīng)用。本制程為使用光斑整形后的線型光斑，將預(yù)先排列于玻璃上的LED以線掃方式，通過(guò)吸收激光之能量后實(shí)現(xiàn)巨量焊接的工藝。

就工藝效果而言，Micro LED巨量焊接設(shè)備在完成焊接后，透過(guò)目檢可看到芯片對(duì)位精準(zhǔn)，在點(diǎn)亮測(cè)試中可實(shí)現(xiàn)點(diǎn)亮與控制皆符合制程要求。彭信翰直言，“目前Micro LED巨量焊接設(shè)備已實(shí)現(xiàn)12”以上基板RGB三色焊接工藝，良率至高達(dá)99.99%以上(排除來(lái)料芯片等異常)。”

焊接完成之后，面板屏上會(huì)存在一些缺陷，這就需要做修復(fù)工作。為此，海目星還推出Micro LED Trimming設(shè)備，針對(duì)Micro LED制程中產(chǎn)生的缺陷，進(jìn)行膠層、芯片去除與焊盤(pán)修整，以利后續(xù)修補(bǔ)制程。

經(jīng)過(guò)該設(shè)備修復(fù)之后，面板生產(chǎn)芯片點(diǎn)亮良率可達(dá)到99.9%，甚至99.99%，修補(bǔ)后良率達(dá)到99.9999%，甚至100%。彭信翰表示，該項(xiàng)技術(shù)將解決Micro LED顯示面板無(wú)法完美修復(fù)的問(wèn)題，并推進(jìn)新型顯示關(guān)鍵設(shè)備的國(guó)產(chǎn)自主化，降低生產(chǎn)成本。

當(dāng)Micro LED制程難點(diǎn)得以解決，Micro LED應(yīng)用爆發(fā)還有多遠(yuǎn)？降本成為關(guān)鍵！

彭信翰認(rèn)為，Micro LED降本主要有以下三大途徑：“第一，裝備及材料國(guó)產(chǎn)化；第二，創(chuàng)新技術(shù)及制程的推出；第三，生產(chǎn)規(guī)模化，良率提升?！?/strong>