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2023年12月1日， 2023上海國際微技術(shù)研究與創(chuàng)新論壇（2023 SITRI DAY），暨上海工研院十周年慶、第四屆菊園科技創(chuàng)新論壇、MEMS WORLD SUMMIT活動在科創(chuàng)之城——上海嘉定順利舉辦。

本次SITRI DAY活動由上海市科學(xué)技術(shù)委員會、上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會、上海市國有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員以及上海市嘉定區(qū)人民政府聯(lián)合指導(dǎo)，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院、嘉定區(qū)菊園新區(qū)管委會、MEMS WORLD SUMMIT主辦，上海新微科技集團(tuán)有限公司、上海菊園經(jīng)濟(jì)發(fā)展中心聯(lián)合主辦，上海嘉定區(qū)菊園科技企業(yè)服務(wù)中心、中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會、上海集成電路材料研究院協(xié)辦。本次活動以“面向世界科技前沿、面向經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場、面向國家重大需求、面向人民生命健康”為核心宗旨，通過建設(shè)打造一個高水平的技術(shù)交流平臺，促進(jìn)科技創(chuàng)新資源的協(xié)同配置，并進(jìn)一步強(qiáng)化上海工研院作為公共服務(wù)平臺的科技創(chuàng)新策源功能，加快推進(jìn)產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用和成果轉(zhuǎn)化，從而引領(lǐng)“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)向中高端邁進(jìn)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。

本次論壇采取線上線下相結(jié)合，除主題演講外，還設(shè)有MEMS技術(shù)、硅光技術(shù)、生命信息技術(shù)和投資孵化路演四個分論壇活動。會議邀請了中國科學(xué)院院士祝世寧教授、中國科學(xué)院院士褚君浩教授、中國工程院院士吳漢明教授、歐洲科學(xué)院及比利時皇家學(xué)院雙料院士Johan Hofkens教授、加拿大皇家科學(xué)院及工程院兩院院士Andreas Mandelis教授、法國國家醫(yī)學(xué)科學(xué)院外籍通訊院士及上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院沈柏用教授、教育部長江學(xué)者及上海交通大學(xué)物理與天文學(xué)院金賢敏教授、德國弗勞恩霍夫光電微系統(tǒng)研究所（Fraunhofer IPMS）副所長J?rg Amelung先生、國際傳感器行業(yè)協(xié)會（全球董事）及萬物云首席科學(xué)家丁險峰先生以及來自博世、TDK、廣東增芯、賽微電子、豫信電科、聯(lián)合微電子、矽睿科技等一眾行業(yè)重點(diǎn)企業(yè)的高管、地區(qū)負(fù)責(zé)人及技術(shù)專家和來自長三角國創(chuàng)中心、粵港澳大灣區(qū)國創(chuàng)中心、國家智能傳感器創(chuàng)新中心、國家信息光電子創(chuàng)新中心、中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院等機(jī)構(gòu)的負(fù)責(zé)人、高管、技術(shù)專家以及中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會副理事長及上海市集成電路行業(yè)協(xié)會秘書長郭奕武先生、SEMI中國高級總監(jiān)張文達(dá)先生、全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會李根梓秘書長等眾多產(chǎn)業(yè)界企業(yè)、平臺、機(jī)構(gòu)的負(fù)責(zé)人和技術(shù)專家以及來自上海市科委、廣東省工信廳、嘉定區(qū)經(jīng)委、嘉定區(qū)科委、嘉定區(qū)國資委以及嘉定菊園新區(qū)的領(lǐng)導(dǎo)共計700余人，與其他26000余名線上產(chǎn)業(yè)界人士共同謀劃“超越摩爾”集成電路產(chǎn)業(yè)的升級與深化發(fā)展的長久之道。

上海市科委副主任王曄先生、中國科學(xué)院院士祝世寧教授及菊園新區(qū)黨工委書記陳懿先生為本次活動致辭。

上海市科委副主任王曄先生致辭

王曄副主任介紹了上海工研院作為上海市首家研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺的建設(shè)背景，以及首批15家平臺的落地對上海市科創(chuàng)中心建設(shè)所起到的基石作用，并寄語上海工研院未來繼續(xù)瞄準(zhǔn)世界科技前沿技術(shù)，引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)科技發(fā)展方向，肩負(fù)起歷史賦予平臺的重任，勇做新時代科技創(chuàng)新的排頭兵。

中國科學(xué)院院士祝世寧教授致辭

祝世寧院士作為產(chǎn)業(yè)專家，回顧了他與上海工研院在硅光平臺建設(shè)過程中的淵源及雙方共同創(chuàng)立光電子集成芯片立強(qiáng)論壇的種種情景，期待在未來的發(fā)展中可以與平臺在光電子領(lǐng)域有更多的合作與交流，雙方共同推動中國光電子技術(shù)的發(fā)展，為產(chǎn)業(yè)的提升作出更大的貢獻(xiàn)。

嘉定區(qū)菊園新區(qū)黨工委書記陳懿先生致辭

嘉定區(qū)菊園新區(qū)黨工委書記陳懿先生代表地方對本次活動的順利舉辦表示了祝賀，并代表菊園科技創(chuàng)新論壇的主辦單位對與會嘉賓的到來表示了歡迎，同時對于上海工研院落地菊園十載為當(dāng)?shù)亍俺侥枴奔呻娐樊a(chǎn)業(yè)發(fā)展所帶來的積極作用表示了感謝，并強(qiáng)調(diào)在未來的日子里菊園新區(qū)要進(jìn)一步加強(qiáng)對產(chǎn)業(yè)、平臺的服務(wù)，推動創(chuàng)新鏈產(chǎn)業(yè)鏈資金鏈人才鏈深度融合，全面推動地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

上海工研院董事長謝曉明研究員致歡迎辭

在各位嘉賓致辭完畢后，由中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)所所長、上海工研院董事長謝曉明研究員代表本次論壇的主辦方向各位與會領(lǐng)導(dǎo)、專家以及產(chǎn)業(yè)界人士致歡迎辭。謝董事長首先感謝前來參加本次活動的參會嘉賓，隨后回顧了上海工研院響應(yīng)上海市集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，探索信息領(lǐng)域創(chuàng)新機(jī)制、奠定上海研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺運(yùn)行模式的十年發(fā)展歷程。他還表示未來上海工研院將繼續(xù)探索“超越摩爾”技術(shù)研發(fā)與轉(zhuǎn)化以及產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè)路徑，充分發(fā)揮銜接科研和產(chǎn)業(yè)以及產(chǎn)業(yè)技術(shù)策源地功能，為相關(guān)企業(yè)提供高水平的技術(shù)供給和高質(zhì)量的技術(shù)服務(wù)。

隨后大會啟動了成果發(fā)布儀式，由上海工研院發(fā)布了“MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝模塊”以及“90nm硅光集成工藝”兩項“超越摩爾”技術(shù)成果。兩項成果均來自于上海工研院承擔(dān)的國家及市級重大專項所取得的階段性成果，可為中小企業(yè)提供MEMS制造和硅光子器件的標(biāo)準(zhǔn)化工藝，大幅提高產(chǎn)品設(shè)計效率，其中硅光集成工藝器件庫更是達(dá)到國際領(lǐng)先水平。

“超越摩爾”成果發(fā)布儀式

成果發(fā)布儀式后，上海工研院與摩侖科技、上海汽車芯片工程中心、聯(lián)影微電子、國家信息光電子中心、浙江大學(xué)微納電子學(xué)院、上海精測、增芯科技、利揚(yáng)芯片、煒盛科技及大立科技等“超越摩爾”集成電路生態(tài)圈戰(zhàn)略合作伙伴代表簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，旨在打通長三角與粵港澳大灣區(qū)以及中部地區(qū)產(chǎn)業(yè)區(qū)域限制，實(shí)現(xiàn)從設(shè)備、芯片生產(chǎn)、設(shè)計到封裝測試的全產(chǎn)業(yè)鏈布局，助力上海“超越摩爾”集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

“超越摩爾”集成電路生態(tài)圈戰(zhàn)略合作伙伴代表簽約儀式

活動過后，上海工研院總經(jīng)理董業(yè)民博士作了《建設(shè)具有全球影響力的“超越摩爾”功能型創(chuàng)新平臺》的主題報告。報告回顧了上海工研院十年以來發(fā)展的芯路歷程以及取得的一些成績，在未來的發(fā)展過程中，上海工研院將繼續(xù)圍繞上海集成電路一體兩翼戰(zhàn)略，聚焦“超越摩爾”芯片制造核心技術(shù)及產(chǎn)業(yè)孵化，打造一個具有全球影響力的“超越摩爾”集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

上海工研院董業(yè)民博士發(fā)言

歐洲科學(xué)院/比利時皇家科學(xué)與藝術(shù)學(xué)院雙料院士及比利時魯汶大學(xué)化學(xué)系終身教授Johan Hofkens教授分享了《The Power of One: From Single Molecule Investigations to Materials Research and Beyond》的主題報告，報告探討了單分子光譜學(xué)對應(yīng)用該技術(shù)的各個領(lǐng)域都產(chǎn)生的巨大影響，從催化、等離子體學(xué)、聚合物物理學(xué)、生物物理學(xué)到細(xì)胞生物學(xué)和 DNA 測序。此外，報告中還分享了單分子技術(shù)和新顯微鏡模式的開發(fā)如何推動材料科學(xué)和生物科學(xué)的發(fā)展。

比利時魯汶大學(xué)Johan Hofkens教授發(fā)言

來自中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院集成電路所所長周峰先生隨后分享了《智能傳感器及硅光技術(shù)行業(yè)趨勢》的主題報告，報告詳細(xì)闡述了國內(nèi)外智能傳感器的分類、技術(shù)路線以及行業(yè)發(fā)展趨勢，其中重點(diǎn)介紹了硅光技術(shù)在智能傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用和未來發(fā)展趨勢。

來自TDK-InvenSense副總裁張宏達(dá)博士帶來了《Enriching Lives with Sensing Solutions——運(yùn)用傳感解決方案豐富生活》的主題演講，報告介紹了TDK MEMS傳感器的工作原理和產(chǎn)品特點(diǎn)，特別介紹了TDK-InvenSense 專有的 CMOS-MEMS 片上系統(tǒng)平臺在傳感器制造中的優(yōu)勢。

來自德國弗勞恩霍夫光電微系統(tǒng)研究所（Fraunhofer IPMS）的J?rg Amelung先生以及Sandro Koch博士分享了《From Concept to Production: Unleashing the Potential of MEMS-based Ultrasound》的主題報告。報告介紹了MEMS器件的進(jìn)步和特定技術(shù)發(fā)展的關(guān)系，以及弗勞恩霍夫光電微系統(tǒng)研究所開發(fā)的基于MEMS的微機(jī)械超聲換能器（MUT）所獨(dú)有的特性技術(shù)等創(chuàng)新應(yīng)用案例。

主論壇最后舉行了第五屆菊園科技創(chuàng)新論壇輪值主席交接儀式。第四屆論壇主辦單位中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)所代表俞文杰副所長與下一屆主辦單位中國工程物理研究院上海激光等離子體研究所代表黨委副書記高妍琦先生完成了論壇輪值主席的交接儀式，順利完成了主論壇活動。

菊園科技創(chuàng)新論壇輪值主席交接儀式

各分論壇環(huán)節(jié)

下午MEMS技術(shù)、硅光技術(shù)、生命信息技術(shù)分論壇和投資孵化路演活動同時開展，各論壇集聚了包括吳漢明院士、褚君浩院士、祝世寧院士、沈柏用院士、Andreas Mandelis院士、Robert Pan博士，李昕欣研究員（國家杰青）、金賢敏教授（長江學(xué)者）以及來自華為、華進(jìn)半導(dǎo)體、華大科技、安靠封裝、大立科技、博世、聯(lián)影微電子、藥明生物、國家信息光電子中心和上海工研院的二十余位專家為大家?guī)砹酥黝}報告、圓桌論壇等技術(shù)分享活動。投資孵化路演活動現(xiàn)場集聚了十五家創(chuàng)新科技企業(yè)的創(chuàng)新項目和近百位投資人，為創(chuàng)新企業(yè)的發(fā)展帶來了機(jī)遇。

本次上海國際微技術(shù)研究與創(chuàng)新論壇活動依托上海工研院平臺優(yōu)勢，進(jìn)一步暢通了“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)的溝通渠道，協(xié)同推動產(chǎn)業(yè)技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用和成果轉(zhuǎn)化，為中小企業(yè)的孵化、培育和發(fā)展提供了更好的創(chuàng)新服務(wù)。同時擴(kuò)大了上海打造集成電路“一體兩翼”空間布局影響力，將吸引更多全產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)落戶上海，加快構(gòu)筑上海集成電路產(chǎn)業(yè)新高地。

審核編輯 黃宇