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IGBT的物理結(jié)構(gòu)模型—PIN&MOS模型(3)

冬至子 ? 來(lái)源:橘子說(shuō)IGBT ? 作者:orange ? 2023-12-01 10:08 ? 次閱讀
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上一節(jié)講到了根據(jù)PIN1的邊界條件求解系數(shù)圖片圖片,下面根據(jù)PIN2的邊界條件求解系數(shù)圖片圖片

首先,陽(yáng)極側(cè)圖片的邊界條件與PIN1相同,即陽(yáng)極電子電流為0,即圖片;

其次,陰極側(cè)圖片的邊界條件與PIN1不同,陰極側(cè)因PN結(jié)反偏,空穴濃度為0,即圖片。

(這里需要注意的是,載流子電流為零并不意味著載流子濃度為零,反之亦然。對(duì)于PIN1結(jié)構(gòu),因?yàn)殛?yáng)極和陰極的多子濃度遠(yuǎn)大于少子濃度,所以可以忽略少子電流;對(duì)于PIN2結(jié)構(gòu),因?yàn)殛帢OPN結(jié)反偏的緣故,載流子被耗盡,所以濃度為零,但因電場(chǎng)和濃度差的存在,電流卻不為零。)

將上述兩個(gè)邊界條件帶入圖片的通解表達(dá)式,即可得到系數(shù)圖片圖片電流密度圖片之間的關(guān)系如下:

圖片

圖片圖片帶入圖片的通解表達(dá)式,整理后便得到PIN2的濃度分布:

圖片

同理,假設(shè)載流子壽命為1圖片,芯片厚度為100圖片,電流密度為圖片時(shí),載流子濃度如圖所示。顯然,陽(yáng)極(集電極)區(qū)域載流子濃度最高,在N-drift區(qū)域逐漸降低,直至到0。

圖片

對(duì)應(yīng)IGBT結(jié)構(gòu)(如圖虛線區(qū)域順時(shí)針旋轉(zhuǎn)90°),陰極區(qū)域?qū)?yīng)p-base基區(qū),即載流子到達(dá)基區(qū)底部時(shí),其濃度會(huì)降低至0,所以基區(qū)底部是沒(méi)有電導(dǎo)調(diào)制效應(yīng)的。

在實(shí)際設(shè)計(jì)中,設(shè)計(jì)人員也會(huì)通過(guò)一些技術(shù)手段來(lái)增強(qiáng)這個(gè)區(qū)域載流子的濃度。當(dāng)然,這也會(huì)對(duì)其他參數(shù)造成影響,如擊穿電壓等,設(shè)計(jì)中需要綜合考慮。

把PIN1和PIN2的載流子濃度分布繪到一起如圖所示,可以清晰地看出IGBT紅色陰影部分的載流子濃度是很低的。

圖片

同時(shí),從濃度分布曲線上還可以發(fā)現(xiàn)其他一些現(xiàn)象:

集電極的載流子濃度并非均勻分布,PIN1區(qū)域的濃度要略高于PIN2區(qū)域??紤]到實(shí)際加工過(guò)程中,集電極的濃度是相同的,又因?yàn)榧姌O側(cè)的電子電流為0,這就意味著PIN1區(qū)域的空穴注入效率要高于PIN2區(qū)域;

因?yàn)闄M向載流子濃度的不同,所以在IGBT內(nèi)部一定會(huì)形成橫向的擴(kuò)散電流,在靠近集電極一側(cè),橫向擴(kuò)散自PIN1區(qū)域向PIN2方向,在靠近p-base基區(qū)一側(cè),橫向擴(kuò)散自PIN2區(qū)域向PIN1區(qū)域。

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