實(shí)驗(yàn)名稱(chēng):
高壓放大器三維超聲橢圓振動(dòng)平臺(tái)的測(cè)試應(yīng)用
研究方向:
三維超聲橢圓
以共振頻率為約束條件設(shè)計(jì)了非共振型三維橢圓振動(dòng)輔助加工平臺(tái),實(shí)現(xiàn)了頻率、振幅、相等振動(dòng)參數(shù)的可調(diào)性。
測(cè)試設(shè)備:
ATA-2082功率放大器、壓電陶瓷片、壓電疊堆、電容傳感器探頭、測(cè)振儀、數(shù)據(jù)采集卡。
以工作行程為目標(biāo)的位移放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),基于該位移放大機(jī)構(gòu),設(shè)計(jì)出大行程解耦微定位平臺(tái),運(yùn)用理論建模與數(shù)值仿真的方法分析微定位平臺(tái)的靜動(dòng)態(tài)特性,最終通過(guò)性能測(cè)試驗(yàn)證所設(shè)計(jì)的振動(dòng)平臺(tái)和微定位平臺(tái)的定位精度。
實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)圖
實(shí)驗(yàn)結(jié)果:
測(cè)試結(jié)果如圖所示,x/y/z軸的一階固有頻率均小于理論計(jì)算和有限元仿真結(jié)果。主要原因是三維橢圓振動(dòng)加工平臺(tái)上附加了墊片(鋁板)質(zhì)量,導(dǎo)致振動(dòng)平臺(tái)的等效質(zhì)量增加;其次振動(dòng)平臺(tái)在整體裝配會(huì)由于整體質(zhì)量的增加,其頻率會(huì)有所降低。
實(shí)驗(yàn)中所用到的功率放大器ATA-2082指標(biāo)參數(shù):
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