白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器。白光測(cè)量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm別。面和線粗糙度測(cè)量，可確保0.1nm的測(cè)量可靠性，不限制材質(zhì)和形狀。利用光波干涉原理 將被測(cè)表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來(lái)，并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測(cè)量，以得出被測(cè)表面粗糙度，可以輕松測(cè)量曲面粗糙度。

在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中，被測(cè)物體表面的形狀可能是比較復(fù)雜的曲面，這就需要將曲面分成很多小區(qū)域，逐個(gè)進(jìn)行測(cè)量來(lái)確定表面的整體形狀。一般來(lái)說(shuō)，曲面可以由一系列的平面或曲面所組成，每個(gè)小區(qū)域的表面形狀都可以近似看作是一個(gè)平面或曲面。測(cè)量過(guò)程包括三個(gè)主要步驟：校準(zhǔn)、分區(qū)和測(cè)量：

1. 校準(zhǔn)

校準(zhǔn)是確定測(cè)量?jī)x器的基準(zhǔn)，校正干涉圖像；需要把白光干涉儀與標(biāo)準(zhǔn)平面進(jìn)行校正。一般情況下，使用平面玻璃作為標(biāo)準(zhǔn)平面，通過(guò)調(diào)節(jié)干涉儀的反射鏡和位移鏡等參數(shù)，使得干涉圖像呈現(xiàn)出平直的垂直桿紋。

2. 分區(qū)

將被測(cè)曲面劃分為若干個(gè)小區(qū)域，每個(gè)小區(qū)域都可以看成是一個(gè)平面或者一個(gè)曲面，需要依次進(jìn)行測(cè)量。在分區(qū)之確定分區(qū)大小，一般情況下根據(jù)曲面變化情況確定分區(qū)大小，如果曲率變化較大的地方，分區(qū)可以設(shè)置得更小。

3. 測(cè)量

在分區(qū)的過(guò)程中，需要通過(guò)調(diào)整白光干涉儀的參數(shù)，使得干涉圖像呈現(xiàn)出垂直的桿紋，然后測(cè)量每個(gè)小區(qū)域的高度信息。在測(cè)量每個(gè)小區(qū)域時(shí)，需要確定參考面，一般可以根據(jù)分區(qū)的情況選擇適當(dāng)?shù)膮⒖济?，可以是?biāo)準(zhǔn)平面或上一個(gè)分區(qū)的表面等。

針對(duì)葉片類曲面零部件，型號(hào)為W3的白光干涉儀能夠在空間范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)曲面全自動(dòng)測(cè)量功能，解決其形狀不規(guī)則裝夾不便、測(cè)量點(diǎn)分布不在同一個(gè)面、單次測(cè)量效率低的問(wèn)題。

注意事項(xiàng)

在測(cè)量曲面時(shí)需要注意以下幾點(diǎn)：

1. 測(cè)量時(shí)需要避免強(qiáng)烈的光線干擾，盡量在較暗的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量。

2. 操作時(shí)需要小心謹(jǐn)慎，避免干涉儀鏡片受到損壞或者誤差。

3. 在曲面的分區(qū)時(shí)需要合理劃分大小，尤其是在曲率變化大的地方。

4. 參考面的選擇需要合理考慮，避免測(cè)量誤差。

5. 測(cè)量結(jié)果需要進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和修正，避免誤差。