湖南三安“晶圓尋邊裝置”專利獲授權(quán)
天眼查結(jié)果顯示，湖南三安半導體有限責任公司的“晶圓尋邊裝置”專利被批準。許可公告日為9月26日，許可公告號為cn219759550u。
本實用新型專利摘要據(jù)公開找到一種晶片邊裝置，半導體制造相關(guān)輔助裝置技術(shù)領(lǐng)域，通過推片機構(gòu)來將放置在承載臺負載區(qū)域的第一卡塞內(nèi)的晶圓推入放置在過渡區(qū)域的第二卡塞內(nèi)，以免手動推片替換卡塞導致晶圓臟污甚至碎片的風險，并將第二卡塞移動到邊緣探索區(qū)域，尋找邊緣接觸到第二卡塞內(nèi)的晶圓，利用平板邊緣特性的晶圓片的邊緣尋找可以更加精密地進行。
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