2023年9月，杭州朗迅科技股份有限公司正式發(fā)布晶圓制造虛擬仿真實訓系統(tǒng)。系統(tǒng)采用虛擬仿真和虛擬現(xiàn)實技術，按8英寸晶圓真實FAB線環(huán)境的要求，對車間環(huán)境、真實設備、工藝流程等進行高度模擬仿真，主要包括單晶硅生長、硅襯底制備、氧化、光刻、刻蝕、離子注入、化學氣相淀積（CVD）、物理氣相淀積（PVD）、化學機械拋光（CMP）等9大工序。系統(tǒng)采用3D沉浸式互動方式讓學生體驗和參與整體工藝、參數設置等技術流程，進而掌握集成電路制造工藝的基本原理、設備認識、工藝實訓以及參數設置等技術技能。

作為國內知名的集成電路測試專業(yè)化服務企業(yè)和典型的集成電路產教融合型企業(yè)，朗迅科技堅持秉持建設世界一流的集成電路測試基地、以先進技術、創(chuàng)新模式持續(xù)賦能“中國芯” 愿景，專注于集成電路產業(yè)生態(tài)建設與服務、產教融合與人才培養(yǎng)，助力國家集成電路產業(yè)實現(xiàn)高水平科技自立自強。

今年3月，朗迅科技的虛擬仿真研發(fā)團隊針對國內近100所高等院校集成電路相關專業(yè)課程的開設情況和教學模式開展了為期一個月的深入調研和訪談。4月初，我司正式啟動了晶圓制造虛擬仿真實訓系統(tǒng)的開發(fā)工作，以針對性解決實訓教學過程中“高投入、高難度、高風險，難實施、難觀摩、難再現(xiàn)”等痛點和難點問題，有效實現(xiàn)人才培養(yǎng)的信息化、智能化和現(xiàn)代化。

晶圓制造虛擬仿真實訓系統(tǒng)是對全鏈路虛擬仿真實訓系統(tǒng)的進一步完善，可以有效地鏈接封裝實訓系統(tǒng)和測試實訓系統(tǒng)，最終實現(xiàn)集成電路實訓操作的完整閉環(huán)。同時，有意向的院?？梢耘c我司聯(lián)系進行產品體驗與試用！

一、實訓系統(tǒng)的五大特色

1采用3D建模高度還原晶圓制造車間原貌及制造工藝全流程，讓學生身臨其境地“邊體驗邊學習”晶圓制造工藝和技能。

2新增微觀原理動畫和原理講解，將抽象的理論知識具象化，幫助學生理解制造工序過程中芯片內部發(fā)生的系列反應。

3復雜運行流程可視化。模擬晶圓制造設備內部真實的運行過程，學生可更直觀地看到設備內部運行情況。（下圖為離子注入設備內部的反應動畫）

4實訓中各大小步驟可自由切換，方便教師隨時調取所需內容用于課堂重點解析，同時學生也可從中間任意環(huán)節(jié)開啟實訓，一改傳統(tǒng)流程工藝“不可返回、從頭開始”的不良體驗。

5設備介紹視頻板塊全新升級，增加設備內部運行原理和設備結構動畫。

二、實訓系統(tǒng)的應用場景

1助力課堂教學，支持專業(yè)課程開展

通過虛擬現(xiàn)實這種新穎、互動的新型教學模式，將虛擬現(xiàn)實技術與院校重點專業(yè)相結合，改革傳統(tǒng)實驗操作模式；同時將過去設備昂貴、實驗代價較高的操作實訓課，轉入虛擬空間，讓學生輕松安全地完成實訓學習。

2賦能學生&教師技能競賽比拼

朗迅晶圓制造虛擬仿真實訓系統(tǒng)，“始于顏值，樂于體驗，終于內容”，開啟實訓教學新模式，強化課堂教學及實踐效果，可有效助力學生及教師技能提升與比拼。

3推動虛擬仿真實訓基地建設

朗迅集成電路封裝虛擬仿真實訓系統(tǒng)和測試虛擬仿真實訓系統(tǒng)，此前已成功助力多所院校申報國家級、省級虛擬仿真實訓基地。通過實訓基地大大加強實訓課程設計的專業(yè)性和兼容性，完善與虛擬仿真相適應的實訓教學課程體系，整合實訓教學內容，研究開發(fā)實訓教學資源，打造高水平教學團隊，優(yōu)化人才培養(yǎng)方案和實訓方式。

三、豐富的配套教學資源&服務

1系統(tǒng)優(yōu)質的教學課件和微課資源

幫助教師節(jié)約備課時間，轉而將更多地時間投入到如何更高效地開展教學工作、促進人才培養(yǎng)的教學法當中。

2全面深化知識點的實訓指導書

相較于封裝和測試實訓指導書，該書內容更加豐富和完善：不僅提供了實訓系統(tǒng)操作的指導教程，還針對不同的工序，增加了知識背景、原理講解、設備運行原理等內容，使學生真正做到知其然且知其所以然。

3全面系統(tǒng)的師資培訓

對于初建專業(yè)或者系統(tǒng)使用方式不清晰的院校，我司可免費安排專業(yè)的師資培訓以及實訓系統(tǒng)使用的相關培訓。

朗迅科技匯聚其產業(yè)和教育的多方資源和力量，提供專業(yè)的虛擬現(xiàn)實教育資源與服務—還原真實場景，構建教學環(huán)境，延展實訓教學時間和空間，拓展實訓教學內容廣度和深度、提升實訓教學質量和水平，有效構建職業(yè)能力和職業(yè)素質有機結合的教學實訓體系。

朗迅充分利用VR/AR等新型技術，助力學校優(yōu)秀專業(yè)群建設，共探以集成電路為核心的虛擬仿真課程資源體系和創(chuàng)新型人才培養(yǎng)模式。依托高度還原的集成電路全產業(yè)鏈虛擬仿真實訓系統(tǒng)系列產品（含制造、封裝和測試等），創(chuàng)設沉浸式教學環(huán)境，加強實訓及考核，讓學生學到最新的技術和操作技能，真切融入集成電路產業(yè)工作崗位，為學生走向社會打下堅實的基礎。