六足運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域有著悠久的應(yīng)用歷史，但近年來(lái)，傳統(tǒng)的6自由度(6-DOF)定位設(shè)備在面對(duì)行業(yè)對(duì)更高精度、更高可重復(fù)性和更好的幾何性能的需求時(shí)顯得有些不足?，F(xiàn)對(duì)一些ALIO位移臺(tái)參數(shù)細(xì)節(jié)做一些解讀，以便您理解ALIO六自由度位移臺(tái)對(duì)于傳統(tǒng)六足位移臺(tái)的提升。

準(zhǔn)確度（accuracy）

準(zhǔn)確度是指在特定三維空間中，實(shí)際位置與通過(guò)測(cè)量設(shè)備測(cè)量的位置之間的差異。對(duì)于測(cè)量設(shè)備而言，準(zhǔn)確度受到反饋機(jī)制（如ALIO六軸位移臺(tái)的光柵尺增量編碼器）、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（如滾珠螺桿、導(dǎo)桿、線(xiàn)性電機(jī)）以及軸承路徑的準(zhǔn)確性的影響。

重復(fù)度（Repeatability）

可重復(fù)性被定義為在相同條件下，系統(tǒng)重復(fù)地被命令到同一位置時(shí)所達(dá)到的位置范圍。單向可重復(fù)性通過(guò)從一個(gè)方向接近該點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。雙向可重復(fù)性是測(cè)量系統(tǒng)能夠從兩個(gè)方向返回到該點(diǎn)的能力。

分辨率（Resolution）

分辨率被定義為系統(tǒng)的最小可識(shí)別位移量。也分辨率由反饋裝置確定。

最小步長(zhǎng)
（Minimum Incremental Step Size）

被定義為系統(tǒng)的最小可行移動(dòng)量，也被稱(chēng)為步進(jìn)大小。

俯仰（Pitch）

被定義為系統(tǒng)的最小可行移動(dòng)量，也被稱(chēng)為步進(jìn)大小。

俯仰是圍繞水平平面上與行進(jìn)方向垂直的軸的旋轉(zhuǎn)。如果所測(cè)量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心，則俯仰旋轉(zhuǎn)會(huì)引起兩個(gè)維度上的阿貝誤差。對(duì)于X軸，俯仰旋轉(zhuǎn)會(huì)在X方向和Z方向上引起阿貝誤差。對(duì)于Y軸，俯仰旋轉(zhuǎn)會(huì)在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差。這些誤差的大小可以通過(guò)將偏移距離的長(zhǎng)度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦值和1減旋轉(zhuǎn)角度的余弦值來(lái)確定。

橫滾（Roll）

橫滾是圍繞與行進(jìn)方向平行的水平平面上的軸進(jìn)行的旋轉(zhuǎn)。如果所測(cè)量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心，則橫滾旋轉(zhuǎn)會(huì)引起兩個(gè)維度上的阿貝誤差。對(duì)于X軸，橫滾旋轉(zhuǎn)會(huì)在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差。對(duì)于Y軸，橫滾旋轉(zhuǎn)會(huì)在X方向和Z方向上引起阿貝誤差。這些誤差的大小可以通過(guò)將偏移距離的長(zhǎng)度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦值和余弦值來(lái)計(jì)算。

偏航（Yaw）

偏航是圍繞與行進(jìn)方向垂直的垂直平面上的軸進(jìn)行的旋轉(zhuǎn)，即Z軸。如果所測(cè)量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心，則偏航旋轉(zhuǎn)會(huì)引起兩個(gè)維度上的阿貝誤差。對(duì)于X軸或Y軸臺(tái)。

回程誤差（Backlash）

回程誤差是由行進(jìn)方向反轉(zhuǎn)引起的定位誤差。反向間隙是在行進(jìn)方向反轉(zhuǎn)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生位置變化的指令運(yùn)動(dòng)部分。反向間隙是由傳動(dòng)系中元素之間的間隙引起的。隨著間隙的增加，產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)所需的輸入量也會(huì)增加。間隙的增加導(dǎo)致反向間隙誤差增加。反向間隙也會(huì)影響雙向可重復(fù)性。ALIO位移臺(tái)從系統(tǒng)設(shè)計(jì)上避免萬(wàn)向節(jié)消除了回程誤差，大大提升位移臺(tái)整體性能。

直線(xiàn)度（Straightness）

直線(xiàn)度是指在水平平面上，相對(duì)于行進(jìn)方向的真實(shí)行進(jìn)線(xiàn)路的偏差。平整度是指在垂直方向上，相對(duì)于行進(jìn)方向的真實(shí)行進(jìn)線(xiàn)路的偏差。對(duì)于A(yíng)LIO位移臺(tái)，直線(xiàn)度和平整度參數(shù)都與位移臺(tái)的安裝表面有關(guān)，請(qǐng)聯(lián)系昊量光電了解詳情。

跳動(dòng)（runout）

跳動(dòng)是旋轉(zhuǎn)機(jī)械系統(tǒng)的不準(zhǔn)確性，特別是工具或軸沒(méi)有完全與主軸線(xiàn)一致地旋轉(zhuǎn)。例如;鉆孔時(shí)，由于鉆頭偏心旋轉(zhuǎn)（離軸而不是成一直線(xiàn)），跳動(dòng)會(huì)導(dǎo)致孔大于鉆頭的標(biāo)稱(chēng)直徑。對(duì)于軸承，跳動(dòng)會(huì)導(dǎo)致機(jī)器振動(dòng)并增加軸承負(fù)載。

跳動(dòng)有兩種主要形式：

徑向跳動(dòng)（Radial runout）：由于工具在平行于機(jī)器軸線(xiàn)的情況下發(fā)生平移，徑向跳動(dòng)沿機(jī)器軸線(xiàn)的各個(gè)點(diǎn)測(cè)量結(jié)果相同。

軸向跳動(dòng)（Axial runout）：由于工具或零件與軸線(xiàn)有角度，導(dǎo)致工具（或軸）尖端相對(duì)于基準(zhǔn)位置偏離中心旋轉(zhuǎn)。軸向跳動(dòng)的大小取決于測(cè)量點(diǎn)與基準(zhǔn)位置的距離。

ALIO的6-D 納米精度工作臺(tái)的核心是串聯(lián)和平行運(yùn)動(dòng)學(xué)的結(jié)合，這使得傳統(tǒng)的六足運(yùn)動(dòng)學(xué)過(guò)時(shí)了，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍(幾乎無(wú)限的XY行程，完全可編程的工具中心點(diǎn)位置)方面都有數(shù)量級(jí)的改進(jìn)。

ALIO的Hybrid Hexapod具有小于100納米的3維6軸點(diǎn)精度重復(fù)性，使其成為激光加工、光學(xué)檢測(cè)、光電子、半導(dǎo)體、計(jì)量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項(xiàng)目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。