摘要：本土半導(dǎo)體材料廠商不斷提升半導(dǎo)體產(chǎn)品技術(shù)水平和研發(fā)能力，逐漸打破了國外半導(dǎo)體廠商的壟斷格局，推進中國半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化進程，促進中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造使用到的設(shè)備如單晶爐、多晶爐等都是惡性的諧波源，這些設(shè)備產(chǎn)生的諧波會污染電力系統(tǒng)，影響系統(tǒng)的供電質(zhì)量。因此這些生產(chǎn)半導(dǎo)體的電子廠房需要一套系統(tǒng)解決方案，有效解決其產(chǎn)生的電能質(zhì)量問題。

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體行業(yè)；電能質(zhì)量；電能質(zhì)量監(jiān)測與治理；系統(tǒng)解決方案

1引言

半導(dǎo)體是許多工業(yè)整機設(shè)備的核心，普遍應(yīng)用于計算機、通信、消費電子、汽車、工業(yè)/醫(yī)療、軍事等核心領(lǐng)域。為鼓勵半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展，突破產(chǎn)業(yè)瓶頸，我國出臺等多項政策支持半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展，為半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供良好的發(fā)展環(huán)境。半導(dǎo)體等電子廠房相較于其他工業(yè)類廠房，主要特殊之處在于其潔凈等級要求高，***、等離子注入機等精密設(shè)備的電源質(zhì)量和電壓等級要求高。生產(chǎn)半導(dǎo)體的廠房使用到的大部分電子產(chǎn)品采用了非線性的可控變流裝置、變頻調(diào)速裝置等負荷，其產(chǎn)生的諧波問題導(dǎo)致了公用電網(wǎng)電能品質(zhì)降低。若不治理，不僅會影響設(shè)備的正常運行，嚴重時甚至?xí){患者的生命安全，因此對半導(dǎo)體廠房供配電系統(tǒng)電能質(zhì)量治理的深入分析研究勢在必行。

2諧波源分析

半導(dǎo)體芯片加工電子廠房生產(chǎn)制造配電系統(tǒng),主要諧波負載為主要諧波源為單晶爐、多晶爐、各類精密設(shè)備、照明及變頻通風(fēng)設(shè)備、計算機及UPS等。

目前大多數(shù)單晶爐是采用中頻感應(yīng)電源加熱的工作方式，中頻電源主電路包括整流電路、濾波電路、單相橋式逆變電路和并聯(lián)諧振電路。其中整流電路采用三相全控橋式整流電路，作用是將三相50Hz工頻交流電壓整流成波動的直流電壓。單晶爐的中頻電源產(chǎn)生諧波電流僅含(k=1,2,3…)次。

單晶爐、多晶爐、IC測試臺、PLC控制的機械手、芯片制造用的晶圓機或變頻控制的半導(dǎo)體機臺都會產(chǎn)生大量的諧波，他們不但會造成機臺設(shè)備自身的壞機現(xiàn)象，回流進電網(wǎng)的諧波電流還會引起其它回路的發(fā)熱，電子開關(guān)誤動作、供電電壓不穩(wěn)，甚至生產(chǎn)線停線、半成品的報廢，其損失不可謂不大。而且高能設(shè)備如：外延設(shè)備、擴散設(shè)備、離子注入設(shè)備的頻繁加卸載，更加重了用電環(huán)境的惡化。

3諧波影響

3.1對電網(wǎng)的影響

導(dǎo)致電網(wǎng)功率消耗變大、設(shè)備試用時間降低、接地保護功能和遙控功能出現(xiàn)異常、線路與設(shè)備熱量變大等，特別是三次諧波導(dǎo)致非常大的中性線電流，造成配電變壓器零線電流大于相線電流數(shù)值，致使設(shè)備不能平穩(wěn)運行。因此，諧波還能引發(fā)造成諧振在電網(wǎng)中發(fā)生，則會將運行正常的供電停止、情況嚴重、電網(wǎng)解裂等情況發(fā)生。諧振造成變電站局部并聯(lián)與串聯(lián)，致使電壓互感器設(shè)施損壞；造成變電站系統(tǒng)當中的設(shè)備與元件生成附加的諧波損耗，導(dǎo)致電力變壓器、電力電纜、電動機等設(shè)備溫度上升，電容器損壞，進而促進了絕緣材料發(fā)生質(zhì)變的速率。

3.2對用電安全造成的影響

第一，失火造成災(zāi)害。有些意外失火狀況的起因多數(shù)跟電力諧波有聯(lián)系?，F(xiàn)階段節(jié)能燈、調(diào)光器設(shè)施中關(guān)開電源很普及，*初為了節(jié)約能源，之后這些設(shè)施卻產(chǎn)生了諧波源，導(dǎo)致電網(wǎng)的危險系數(shù)增加,中性線電流變大，嚴重的超出線電流，造成失火的潛在安全風(fēng)險。第二，有關(guān)設(shè)備損壞。電能質(zhì)量會影響繼電保護、計算機系統(tǒng)與精細儀器和機械等，造成其不能平穩(wěn)運轉(zhuǎn)和操控，減少設(shè)施利用期限，進而導(dǎo)致繼電保護錯誤操作出現(xiàn)可避免的意外損失，造成不同情況的干擾。第三，通信擾亂。其電網(wǎng)擾亂的主要因素為發(fā)生諧波，通過基本靜電感應(yīng)和電磁感應(yīng)，經(jīng)過通信線路導(dǎo)致聲頻混亂。其諧波頻率提升，則會有雜音問題，通過通信線路上導(dǎo)致音頻混亂。

3.3 諧波對于電氣設(shè)備產(chǎn)生的影響

第一，電力電容器產(chǎn)生的影響。而電容器在電網(wǎng)無功配置容量中占有比重很大，其中少數(shù)電容器安排只參照無功補償量，不會參照裝置點電能質(zhì)量現(xiàn)實存在的污染狀況。惡劣情況下會出現(xiàn)串聯(lián)并聯(lián)諧振，造成電容器諧波過電壓與過電流，導(dǎo)致電容器開裂；第二，變壓器產(chǎn)生影響。諧波電流在變壓器中發(fā)生，致使銅耗提高，造成局部過熱、震蕩、聲音變大、繞組附加過熱等；第三，同步發(fā)電機產(chǎn)生的影響。在系統(tǒng)里面的同步發(fā)電機中流入負序電流與諧波電流，造成多余的損耗，導(dǎo)致發(fā)電機局部過熱，絕緣力度降低。第四，自動控制器產(chǎn)生的影響?，F(xiàn)如今，數(shù)字控制技術(shù)已投入到更加廣泛領(lǐng)域，諸多精細負載針對受電電能質(zhì)量指標有更高要求?；诖耍娔苜|(zhì)量被沾上臟物則會導(dǎo)致設(shè)備的監(jiān)測模塊中引發(fā)畸變量、擾亂一般分解計算、造成出錯的輸出結(jié)果的損害。

4電子半導(dǎo)體行業(yè)電能質(zhì)量監(jiān)測和治理系統(tǒng)解決方案

4.1行業(yè)特征

對電能質(zhì)量要求高:

負載中含有多種諧波源，配電諧波含量較高

諧波主要以6N土1次諧波為主

存在大量變頻設(shè)備，變頻設(shè)備之間存在相互諧振風(fēng)險.

4.2解決方案

半導(dǎo)體芯片制造業(yè)在國民經(jīng)濟中起著舉足輕重的作用，相關(guān)企業(yè)的規(guī)模也越來越大，其供配電系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠的運維不僅是其安全生產(chǎn)的基本保證，還關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)的順利進行。集成電路芯片制造關(guān)鍵設(shè)備多、工位器具多、工藝步驟繁多復(fù)雜。除供配電系統(tǒng)外，還需傳送系統(tǒng)、超純水凈化系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣冷風(fēng)冷系統(tǒng)、特殊氣體分配系統(tǒng)來保證生產(chǎn)過程的順利實施以及關(guān)鍵設(shè)備的安全運行。由于整個工廠的生產(chǎn)條件*終通過電能供給來實現(xiàn)，因此半導(dǎo)體芯片制造對供電質(zhì)量要求特別高。

安科瑞電氣提出的電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng)解決方案可滿足電力監(jiān)控管理、運維與電能質(zhì)量治理等方面的需求，致力于為高速公路行業(yè)用戶提供一站式的整體解決方案，從產(chǎn)品、系統(tǒng)、服務(wù)等不同方面來滿足用戶的需要，為用戶創(chuàng)造價值。

4.3方案特點

電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng)即可通過本地設(shè)備為用戶提供電能質(zhì)量監(jiān)測、治理與設(shè)備運維等功能，亦可通過接入AcrelEMS-SEMI電站廠房能效管理平臺，為用戶提供遠程在線服務(wù)；

符合GB/T17626.30-2012中A級準確度測量方法，適用于要求準確測量電能質(zhì)量指標參數(shù)的場合；

專業(yè)化的電能質(zhì)量監(jiān)測：電能質(zhì)量實時在線監(jiān)測，測量精度高、測得準，符合IEC61000-4-30標準；

電能質(zhì)量監(jiān)測與治理裝置信息互聯(lián)，通過統(tǒng)一平臺管理，方便用戶同時監(jiān)測電網(wǎng)電能質(zhì)量以及治理數(shù)據(jù)；

采用三電平電力電子驅(qū)動器件，通過更多的電平輸出更高品質(zhì)的治理波形。

4.4方案效果

對電網(wǎng)電能質(zhì)量高精度的實時監(jiān)控，包括電壓偏差、頻率偏差、諧波、電壓波動、閃變、三相電壓不平衡等。同時可對故障事件進行記錄，對監(jiān)測點負荷曲線及電壓電流、電壓偏差、不平衡度、閃變等進行趨勢分析，用戶可以通過系統(tǒng)查看發(fā)生告警的事件波形、趨勢分析，亦可根據(jù)監(jiān)測點的電能質(zhì)量情況統(tǒng)計分析生成電能質(zhì)量診斷報告。

通過集中補償+就地補償?shù)闹卫聿呗?，更高效的補償整個數(shù)據(jù)中心的無功和諧波，提高數(shù)據(jù)中心內(nèi)系統(tǒng)電能質(zhì)量、用電設(shè)備供電效率，大幅度降低設(shè)備故障率，達到數(shù)據(jù)中心內(nèi)自動化設(shè)備對電源質(zhì)量的要求，可有效解決諧波的干擾及誤跳閘問題。

系統(tǒng)提供多維度的用電指標統(tǒng)計與電能數(shù)據(jù)分析工具，為配電系統(tǒng)運行管理優(yōu)化和節(jié)能損耗提供指導(dǎo)。

5安科瑞電能質(zhì)量監(jiān)測與治理系統(tǒng)產(chǎn)品選型

5.1集中治理

電子廠房內(nèi)會使用到如風(fēng)機、空調(diào)等等電器，這些電器分布較為分散，且單一的設(shè)備產(chǎn)生的諧波量較少，且為確保無功功率因數(shù)達到國標要求值，避免罰款，在配電房處對這些負載產(chǎn)生的電能質(zhì)量問題進行集中治理，同時也可對整個低壓供配電系統(tǒng)進行電能質(zhì)量在線監(jiān)測，其中包含諧波分析、波形采樣、電壓暫降/暫升/中斷、閃變監(jiān)測等，其集中治理的產(chǎn)品選型見表1。

表1電能質(zhì)量監(jiān)測及集中治理產(chǎn)品選型表

5.2就地治理

電子廠房在生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的過程中需要使用到可控變流裝置、變頻調(diào)速裝置等負荷，這些設(shè)備在運行過程中會產(chǎn)生大量的諧波污染電網(wǎng)，如果不從源頭治理會影響到電壓的畸變率，*終會造成其他負載的損壞。針對以上負載情況，建議在各重要設(shè)備的配電箱增加電能質(zhì)量補償設(shè)備進行就地治理，達到終端治理諧波的目的，避免諧波影響到整個配電系統(tǒng)和其他用電設(shè)備。

審核編輯 黃宇