隨著科學(xué)技術(shù)的深入研究，在低溫真空強(qiáng)磁的環(huán)境下提供納米級精密定位的應(yīng)用在物理學(xué)、化學(xué)和材料學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用越來越多，而低溫真空無磁壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是一種高精度精密定位設(shè)備，主要特點(diǎn)是高精度、高穩(wěn)定性和高可靠性，可在低溫、真空及磁場等情況下提供精密定位，在半導(dǎo)體加工、檢測等方面廣泛應(yīng)用。

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺(tái)是一款三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計(jì)，可進(jìn)行XYZ三維掃描運(yùn)動(dòng)，采用低溫壓電驅(qū)動(dòng)，耐低溫可達(dá)4K，它的體積小巧，尺寸僅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外殼采用輕型耐低溫、無磁材料，采用低溫雙絞線，以適應(yīng)低溫環(huán)境下的使用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

低溫真空無磁，耐低溫可達(dá)4K

XYZ三維運(yùn)動(dòng)

4K溫度下位移達(dá)30μm/軸

分辨率可達(dá)2nm

開環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

響應(yīng)速度快

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體加工

半導(dǎo)體檢測

高精密測試和操作

其他真空無磁要求的納米運(yùn)動(dòng)控制等

技術(shù)參數(shù)

推薦控制器

芯明天設(shè)計(jì)生產(chǎn)多款壓電控制器，如模塊化、小體積型、大功率、工業(yè)式、集成式等?？筛鶕?jù)不同應(yīng)用場景選擇合適的壓電控制器。

E00/E01系列壓電控制器

E00/E01系列壓電控制器是模塊化式壓電控制器，模塊化，可自由選擇伺服模塊、上位機(jī)通信模塊。驅(qū)動(dòng)XD106.XYZ60K三維壓電掃描臺(tái)，選用E01.A3或E01.C3都可，后者增加了上位機(jī)通信功能。

E70.C3系列壓電控制器

E70系列壓電控制器是一款集成式壓電控制器，它的外形尺寸緊湊很多，具有三個(gè)輸出通道，可進(jìn)行上位機(jī)通信控制和模擬控制，非常適于驅(qū)動(dòng)XD106.XYZ60K三維壓電掃描臺(tái)。

審核編輯 黃宇