嘉興嘉善世博開元名都酒店成功舉行嘉山復旦研究院開園儀式。本次活動由加山縣人民政府和復旦大學共同主辦，嘉善復旦研究院承辦。復旦大學黨委書記裘新，復旦大學校長、中科院院士金力，復旦大學常務副校長許征，浙江省科技廳二級巡視員曹華芬，嘉興市委書記陳偉，嘉興市副市長倪滬平，嘉興市委常委、嘉善縣委書記江海洋，嘉善復旦研究院院長張衛(wèi)等人參加的開院儀式、活動現(xiàn)場，近200人見證了佳善復旦研究院的正式開院。在開院儀式上，萬基企業(yè)（600641）旗下的嘉芯半導體設(shè)備科技有限公司（以下簡稱“嘉芯半導體”）與資產(chǎn)復旦研究院達成了戰(zhàn)略合作。嘉善復旦研究院副院長丁士進先生、嘉芯半導體設(shè)備科技有限公司董事長兼CEO周偉芳女士等領(lǐng)導參加戰(zhàn)略簽約儀式。

根據(jù)戰(zhàn)略合作協(xié)議的內(nèi)容，雙方將在公平自愿，平等互利共贏的開放優(yōu)勢互補”的原則，建立戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，共同集成電路領(lǐng)域的科學研究、產(chǎn)業(yè)合作、人才交流等方面長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，充分發(fā)揮各自的資源優(yōu)勢，共同發(fā)展戰(zhàn)略目標的實現(xiàn)。合作，圍繞重點科技合作、產(chǎn)業(yè)合作、人員交流三個方面的技術(shù)突破，創(chuàng)新平臺項目申報，科技成果轉(zhuǎn)化推廣、研發(fā)及服務資源開放共享、產(chǎn)-學-研深度融合等領(lǐng)域的全方位互利合作促進儲存及資產(chǎn)集成電路發(fā)展高品質(zhì)“里”。

從整體實力看，戰(zhàn)略合作雙方在各自領(lǐng)域積累了長期經(jīng)驗和技術(shù)，具有廣泛優(yōu)勢集成和合作互補的基礎(chǔ)。作為本半導體芯片半導體核心裝備的新銳本土企業(yè)之一，2021年4月，半導體裝備上市公司與企業(yè)攜手，世界著名產(chǎn)業(yè)專家共同投資成立，總投資規(guī)模20億元，用地109無公司開發(fā)制造刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等集成電路成熟工藝的關(guān)鍵設(shè)備，產(chǎn)品范圍包括芯片制造核心設(shè)備的多個重要品種。從2022年下半年開始，嘉芯半導體多次中標客戶特色工程生產(chǎn)線，包括氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、深槽刻蝕機、側(cè)墻等離子刻蝕機；高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設(shè)備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（Metal Sputter（Al/Ti/TiN））；快速熱處理（RTP）設(shè)備以及雙燃燒+雙水洗尾氣處理等各種設(shè)備。

嘉善復旦研究院是為響應和實行《長三角一體化發(fā)展規(guī)劃綱要》國家戰(zhàn)略而建設(shè)的重點實驗室。依托復旦大學集成電路產(chǎn)業(yè)鏈學科優(yōu)勢，研究院致力于高能創(chuàng)新載體建設(shè)，科研攻關(guān)和成果轉(zhuǎn)化，地區(qū)產(chǎn)業(yè)升級，協(xié)同創(chuàng)新生態(tài)構(gòu)建，數(shù)字化改革等。作為第一屆國家集成電路創(chuàng)新中心浙江分中心重點建設(shè)，研究院承擔起復旦大學人才資源，創(chuàng)新資源，產(chǎn)業(yè)資源與浙江地區(qū)特色經(jīng)濟相銜接的“橋頭堡”，推進長江三角洲一體化協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)。

在戰(zhàn)略合作象征著雙方深化合作、協(xié)同發(fā)展的路上新的里程碑作用充分發(fā)揮產(chǎn)業(yè)+學術(shù)研究輪子驅(qū)動功能，提高技術(shù)創(chuàng)新能力，實現(xiàn)雙向優(yōu)勢賦予可以加快科研成果轉(zhuǎn)化，同時在線技術(shù)開發(fā)、人才培養(yǎng)、學校開拓市場等方面產(chǎn)生的強大協(xié)同效應為我國集成電路行業(yè)的發(fā)展注入了芯片的活力。

展望未來，芯片半導體集成電路領(lǐng)域的發(fā)展方向，繼續(xù)聚焦在嘉善復旦研究院和持續(xù)有深度的合作，開拓關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)鏈條、關(guān)鍵技術(shù)、關(guān)鍵產(chǎn)品的能量水平持續(xù)提高，中國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展不斷貢獻智慧和力量，為實現(xiàn)的。