99精品伊人亚洲|最近国产中文炮友|九草在线视频支援|AV网站大全最新|美女黄片免费观看|国产精品资源视频|精彩无码视频一区|91大神在线后入|伊人终合在线播放|久草综合久久中文

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評(píng)論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會(huì)員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識(shí)你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

集成電路制造裝備用精密陶瓷結(jié)構(gòu)件的特點(diǎn)及產(chǎn)業(yè)格局

深圳市賽姆烯金科技有限公司 ? 來源:深圳市賽姆烯金科技有限 ? 2023-07-14 15:21 ? 次閱讀
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

集成電路產(chǎn)業(yè)(即IC產(chǎn)業(yè))是關(guān)乎國家經(jīng)濟(jì)、政治和國防安全的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè),在IC產(chǎn)業(yè)中,集成電路制造裝備具有極其重要的戰(zhàn)略地位。以***為代表的集成電路關(guān)鍵裝備是現(xiàn)代技術(shù)高度集成的產(chǎn)物,其設(shè)計(jì)和制造過程均能體現(xiàn)出包括材料科學(xué)與工程、機(jī)械加工等在內(nèi)的諸多相關(guān)科學(xué)領(lǐng)域的最高水平。

例如,對(duì)于材料科學(xué)與工程學(xué)科而言,集成電路制造關(guān)鍵裝備要求零部件材料具有輕質(zhì)高強(qiáng)、高導(dǎo)熱系數(shù)和低熱膨脹系數(shù)等特點(diǎn),且致密均勻無缺陷;對(duì)于機(jī)械加工學(xué)科而言,集成電路制造關(guān)鍵裝備則要求零部件具有極高的尺寸精度和尺寸穩(wěn)定性,以保證設(shè)備實(shí)現(xiàn)超精密運(yùn)動(dòng)和控制。

在國內(nèi),中國建筑材料科學(xué)研究總院率先開展了極大規(guī)模集成電路制造裝備用精密碳化硅結(jié)構(gòu)件的制備工藝研究,攻克了以***為代表的集成電路制造關(guān)鍵裝備用大尺寸、中空薄壁、復(fù)雜結(jié)構(gòu)、精密碳化硅結(jié)構(gòu)件制備的技術(shù)難關(guān),形成一系列自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的專利技術(shù),制備出了諸如碳化硅真空吸盤、導(dǎo)軌、反射鏡、工件臺(tái)等一系列***用精密碳化硅結(jié)構(gòu)件,滿足了***等集成電路制造關(guān)鍵裝備用精密結(jié)構(gòu)件的使用要求,推動(dòng)了我國集成電路關(guān)鍵裝備的獨(dú)立自主健康發(fā)展。

集成電路制造裝備用精密陶瓷結(jié)構(gòu)件的特點(diǎn) >>

集成電路制造關(guān)鍵技術(shù)及裝備主要有包括光刻技術(shù)及光刻裝備、薄膜生長技術(shù)及裝備、化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)及裝備、高密度后封裝技術(shù)及裝備等,均涉及高效率、高精度、高穩(wěn)定性的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)和驅(qū)動(dòng)技術(shù),對(duì)結(jié)構(gòu)件的精度和結(jié)構(gòu)材料的性能提出了極高的要求。

以***中工件臺(tái)為例,該工件臺(tái)主要負(fù)責(zé)完成曝光運(yùn)動(dòng),要求實(shí)現(xiàn)高速、大行程、六自由度的納米級(jí)超精密運(yùn)動(dòng),如對(duì)于100nm分辨率、套刻精度為33nm和線寬為10nm的***,其工件臺(tái)定位精度要求達(dá)到10nm,掩模硅片同時(shí)步進(jìn)和掃描速度分別達(dá)到150nm/s和120nm/s,掩模掃描速度接近500nm/s,并且要求工件臺(tái)具有非常高的運(yùn)動(dòng)精度和平穩(wěn)性。

① 高度輕量化:為降低運(yùn)動(dòng)慣量,減輕電機(jī)負(fù)載,提高運(yùn)動(dòng)效率、定位精度和穩(wěn)定性,結(jié)構(gòu)件普遍采用輕量化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),其輕量化率為60%~80%,最高可達(dá)到90%;

② 高形位精度:為實(shí)現(xiàn)高精度運(yùn)動(dòng)和定位,要求結(jié)構(gòu)件具有極高的形位精度,平面度、平行度、垂直度要求小于1μm,形位精度要求小于5μm;

③ 高尺寸穩(wěn)定性:為實(shí)現(xiàn)高精度運(yùn)動(dòng)和定位,要求結(jié)構(gòu)件具有極高的尺寸穩(wěn)定性,不易產(chǎn)生應(yīng)變,且導(dǎo)熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)低,不易產(chǎn)生大的尺寸變形;

④ 清潔無污染:要求結(jié)構(gòu)件具有極低的摩擦系數(shù),運(yùn)動(dòng)過程中動(dòng)能損失小,且無磨削顆粒的污染。

碳化硅材料具有極高的彈性模量、導(dǎo)熱系數(shù)和較低的熱膨脹系數(shù),不易產(chǎn)生彎曲應(yīng)力變形和熱應(yīng)變,并且具有極佳的可拋光性,可以通過機(jī)械加工至優(yōu)良的鏡面;因此采用碳化硅作為***等集成電路關(guān)鍵裝備用精密結(jié)構(gòu)件材料具有極大的優(yōu)勢(shì)。但是傳統(tǒng)的陶瓷制備工藝如注漿、干壓等很難實(shí)現(xiàn)諸如***工作臺(tái)這類復(fù)雜部件的制備。為此,中國建材總院研發(fā)出一系列成型、燒結(jié)技術(shù),解決了采用碳化硅材料制作此類部件的國產(chǎn)化問題。

集成電路制造裝備用精密陶瓷結(jié)構(gòu)件產(chǎn)業(yè)格局 >>

目前全球集成電路制造裝備支出達(dá)到500億美元,其中陶瓷結(jié)構(gòu)件占支出的20%以上。目前IC制造裝備用高端碳化硅陶瓷零部件70%被Kyocera、CoorsTek兩家公司壟斷,剩余部分也被歐美日企業(yè)所占據(jù)。

Kyocera和CoorsTek產(chǎn)品的特點(diǎn)是種類齊全、市場(chǎng)覆蓋面廣,以半導(dǎo)體用陶瓷組件為例,CoorsTek提供的精密陶瓷結(jié)構(gòu)件涵蓋了***專用組件、等離子刻蝕設(shè)備專用組件、PVD/CVD專用組件、離子注入設(shè)備專用組件、晶片吸附固定傳輸專用組件等一系列產(chǎn)品;Kyocera則提供***、晶圓制造設(shè)備、刻蝕機(jī)、沉積設(shè)備(CVD、PVD)、液晶面板(LCD)制造裝備等專用的陶瓷零部件。

我國集成電路關(guān)鍵裝備用精密陶瓷結(jié)構(gòu)件的自主研究和國產(chǎn)化應(yīng)用推廣才剛剛起步,隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)的蓬勃發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)該類高端陶瓷結(jié)構(gòu)件的需求會(huì)越來越大,碳化硅以其優(yōu)異的物理化學(xué)性能,在集成電路關(guān)鍵裝備用結(jié)構(gòu)件領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景,中國建材總院在該領(lǐng)域已經(jīng)進(jìn)行了初步的研制與探索并取得了良好的成果。





審核編輯:劉清

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
  • 集成電路
    +關(guān)注

    關(guān)注

    5425

    文章

    12071

    瀏覽量

    368558
  • LCD屏
    +關(guān)注

    關(guān)注

    0

    文章

    126

    瀏覽量

    16057
  • PVD
    PVD
    +關(guān)注

    關(guān)注

    4

    文章

    51

    瀏覽量

    17392
  • 光刻機(jī)
    +關(guān)注

    關(guān)注

    31

    文章

    1167

    瀏覽量

    48210
  • 碳化硅
    +關(guān)注

    關(guān)注

    25

    文章

    3066

    瀏覽量

    50500

原文標(biāo)題:集成電路制造裝備用精密陶瓷結(jié)構(gòu)件的特點(diǎn)及產(chǎn)業(yè)格局

文章出處:【微信號(hào):深圳市賽姆烯金科技有限公司,微信公眾號(hào):深圳市賽姆烯金科技有限公司】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

收藏 人收藏
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

    評(píng)論

    相關(guān)推薦
    熱點(diǎn)推薦

    電機(jī)控制專用集成電路PDF版

    電動(dòng)機(jī)、異步電動(dòng)機(jī)、單相交流換向器電動(dòng)機(jī)控制專用集成電路,著 重介紹它們的電路特點(diǎn)、工作原理、運(yùn)行、應(yīng)用示例。首先歸納專用集成電路產(chǎn)品情況,然后分節(jié)介紹典型型號(hào)產(chǎn)品。第4章對(duì)用于直流電
    發(fā)表于 04-22 17:02

    中國集成電路大全 接口集成電路

    資料介紹本文系《中國集成電路大全》的接口集成電路分冊(cè),是國內(nèi)第一次比較系統(tǒng)地介紹國產(chǎn)接口集成電路的系列、品種、特性和應(yīng)用方而知識(shí)的書籍。全書共有總表、正文和附錄三部分內(nèi)容??偙聿糠至杏袊a(chǎn)接口
    發(fā)表于 04-21 16:33

    集成電路制造設(shè)備防震基座選型指南:為穩(wěn)定護(hù)航

    集成電路制造這一精密復(fù)雜的領(lǐng)域,每一個(gè)環(huán)節(jié)都如同精密儀器中的微小齒輪,一絲偏差都可能導(dǎo)致嚴(yán)重后果。制造設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行更是重中之重,而防震基
    的頭像 發(fā)表于 04-07 09:36 ?333次閱讀
    <b class='flag-5'>集成電路</b><b class='flag-5'>制造</b>設(shè)備防震基座選型指南:為穩(wěn)定護(hù)航

    未來五年:集成電路制造設(shè)備定制化防震基座制造廠商的風(fēng)云之路

    集成電路制造領(lǐng)域,設(shè)備的精密性與穩(wěn)定性至關(guān)重要,而定制化防震基座作為保障設(shè)備精準(zhǔn)運(yùn)行的關(guān)鍵一環(huán),其重要性不言而喻。展望未來五年,隨著集成電路產(chǎn)業(yè)
    的頭像 發(fā)表于 03-24 09:48 ?466次閱讀
    未來五年:<b class='flag-5'>集成電路</b><b class='flag-5'>制造</b>設(shè)備定制化防震基座<b class='flag-5'>制造</b>廠商的風(fēng)云之路

    集成電路制造中的電鍍工藝介紹

    本文介紹了集成電路制造工藝中的電鍍工藝的概念、應(yīng)用和工藝流程。
    的頭像 發(fā)表于 03-13 14:48 ?1036次閱讀
    <b class='flag-5'>集成電路</b><b class='flag-5'>制造</b>中的電鍍工藝介紹

    集成電路制造工藝中的High-K材料介紹

    本文介紹了在集成電路制造工藝中的High-K材料的特點(diǎn)、重要性、優(yōu)勢(shì),以及工藝流程和面臨的挑戰(zhàn)。
    的頭像 發(fā)表于 03-12 17:00 ?1179次閱讀
    <b class='flag-5'>集成電路</b><b class='flag-5'>制造</b>工藝中的High-K材料介紹

    集成電路制造中的劃片工藝介紹

    本文概述了集成電路制造中的劃片工藝,介紹了劃片工藝的種類、步驟和面臨的挑戰(zhàn)。
    的頭像 發(fā)表于 03-12 16:57 ?1616次閱讀
    <b class='flag-5'>集成電路</b><b class='flag-5'>制造</b>中的劃片工藝介紹

    集成電路產(chǎn)業(yè)新地標(biāo) 集成電路設(shè)計(jì)園二期推動(dòng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能級(jí)提升

    在2025海淀區(qū)經(jīng)濟(jì)社會(huì)高質(zhì)量發(fā)展大會(huì)上,海淀區(qū)對(duì)18個(gè)園區(qū)(樓宇)的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)業(yè)空間及更新改造的城市高品質(zhì)空間進(jìn)行重點(diǎn)推介,誠邀企業(yè)來海淀“安家”。2024年8月30日正式揭牌的集成電路設(shè)計(jì)園二期就是
    的頭像 發(fā)表于 03-12 10:18 ?413次閱讀

    汽車結(jié)構(gòu)件焊接技術(shù)進(jìn)展與應(yīng)用分析

    汽車結(jié)構(gòu)件焊接技術(shù)的最新進(jìn)展、應(yīng)用現(xiàn)狀以及未來發(fā)展趨勢(shì)三個(gè)方面進(jìn)行探討。 ### 汽車結(jié)構(gòu)件焊接技術(shù)的最新進(jìn)展 近年來,隨著輕量化設(shè)計(jì)要求的提高,高強(qiáng)度鋼、鋁合金
    的頭像 發(fā)表于 02-20 08:45 ?446次閱讀

    朗凱威鋰電池用心教你鋰電池結(jié)構(gòu)件清洗是怎么完成的

    鋰電池作為一種重要的能源存儲(chǔ)裝置,在各個(gè)領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。而鋰電池結(jié)構(gòu)件的清洗對(duì)于電池的性能和安全性有著至關(guān)重要的影響。
    的頭像 發(fā)表于 12-07 16:47 ?1073次閱讀
    朗凱威鋰電池用心教你鋰電池<b class='flag-5'>結(jié)構(gòu)件</b>清洗是怎么完成的

    “中國芯”產(chǎn)業(yè)的十年歷程和國內(nèi)集成電路區(qū)域發(fā)展研究(下篇)

    ”“區(qū)域內(nèi)部擴(kuò)張型遷移”“政府引導(dǎo)基金驅(qū)動(dòng)”等特點(diǎn),并分析面臨的主要問題,同時(shí)提出在新發(fā)展格局下我國集成電路產(chǎn)業(yè)區(qū)域發(fā)展的相關(guān)建議。一、我國集成電路
    的頭像 發(fā)表于 10-30 08:08 ?1285次閱讀
    “中國芯”<b class='flag-5'>產(chǎn)業(yè)</b>的十年歷程和國內(nèi)<b class='flag-5'>集成電路</b>區(qū)域發(fā)展研究(下篇)

    “中國芯”產(chǎn)業(yè)的十年歷程和國內(nèi)集成電路區(qū)域發(fā)展研究(上篇)

    北國咨觀點(diǎn)集成電路作為數(shù)字經(jīng)濟(jì)和新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè),其發(fā)展直接影響一個(gè)國家的國民經(jīng)濟(jì)、智能制造水平和國際競(jìng)爭(zhēng)力。當(dāng)前,隨著集成電路
    的頭像 發(fā)表于 10-30 08:07 ?1755次閱讀
    “中國芯”<b class='flag-5'>產(chǎn)業(yè)</b>的十年歷程和國內(nèi)<b class='flag-5'>集成電路</b>區(qū)域發(fā)展研究(上篇)

    什么是集成電路?有哪些類型?

    集成電路,又稱為IC,按其功能結(jié)構(gòu)的不同,可以分為模擬集成電路、數(shù)字集成電路和數(shù)/?;旌?b class='flag-5'>集成電路三大類。
    的頭像 發(fā)表于 10-18 15:08 ?4666次閱讀

    語音集成電路有哪些特點(diǎn)

    各種應(yīng)用中都非常有用,包括智能手機(jī)、智能音箱、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、醫(yī)療設(shè)備和安全系統(tǒng)等。 以下是關(guān)于語音集成電路特點(diǎn)的分析: 集成度高 :語音集成電路將多個(gè)功能
    的頭像 發(fā)表于 09-30 15:43 ?743次閱讀

    集成電路產(chǎn)業(yè)狂飆,企業(yè)如何為高質(zhì)量發(fā)展注入活力

    據(jù)國家統(tǒng)計(jì)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示,2024年上半年我國集成電路產(chǎn)品的產(chǎn)量同比增長了28.9%,增勢(shì)明顯。在萬年芯看來,集成電路產(chǎn)業(yè)強(qiáng)勢(shì)“狂飆”,交出了亮眼的2024年“期中考”成績,業(yè)內(nèi)也正在為產(chǎn)業(yè)
    的頭像 發(fā)表于 08-02 14:35 ?686次閱讀
    <b class='flag-5'>集成電路</b><b class='flag-5'>產(chǎn)業(yè)</b>狂飆,企業(yè)如何為高質(zhì)量發(fā)展注入活力