太陽能作為應(yīng)用廣、無排放、無噪聲的環(huán)保能源，在近些年迎來快速發(fā)展，而在各類型的太陽能電池及太陽能充電系統(tǒng)中，多會(huì)鍍一層透明的ITO導(dǎo)電薄膜，其鍍膜厚度對(duì)電池片的導(dǎo)電性能有著非常重要的影響，因而需要對(duì)鍍膜厚度進(jìn)行檢測(cè)與管控。

由于ITO膜具有一定的透光性，而硅基板具有較強(qiáng)的反射率，會(huì)對(duì)依賴反射光信號(hào)進(jìn)行圖像重建的光學(xué)輪廓儀造成信號(hào)干擾導(dǎo)致ITO膜厚圖像重建失真，因此考慮采用接觸式輪廓儀對(duì)ITO膜厚進(jìn)行測(cè)量，由于其厚度范圍從十幾納米到幾百納米，考慮到測(cè)量的同時(shí)不損傷樣件本身，因而采用具有超微力可調(diào)和亞納米級(jí)分辨率的臺(tái)階儀最為合適。

中圖儀器CP系列臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測(cè)量上具有極強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。視頻中展示了中圖儀器CP200臺(tái)階儀測(cè)量ITO導(dǎo)電薄膜的全過程，針對(duì)該應(yīng)用場(chǎng)景，CP200臺(tái)階儀提供如下便捷功能：1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)的全電動(dòng)載物臺(tái)，能夠快速定位到測(cè)量標(biāo)志位；2）對(duì)于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測(cè)量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測(cè)量；3）提供SPC統(tǒng)計(jì)分析功能，直觀分析測(cè)量數(shù)值變化趨勢(shì)。中圖儀器，以雄厚的技術(shù)實(shí)力，為產(chǎn)品性能優(yōu)越性提供支撐；以卓越的產(chǎn)品性能，為測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性保駕護(hù)航；以專業(yè)化的產(chǎn)品和服務(wù)，為客戶提供最優(yōu)的解決方案。