Dage Quadra7介紹

作為Dage Quadra 系列中前沿的產(chǎn)品，Dage Quadra7擁有出色的亞微米級(jí)高分辨率和襯度，可實(shí)現(xiàn)細(xì)微缺陷清晰展現(xiàn)。

采用高功率（160kV 20W）X射線源技術(shù)，相較同類產(chǎn)品（15W）大大提升了X射線通量，在維持小焦點(diǎn)尺寸的同時(shí)提高了成像效率、襯度和信噪比。

在10W以內(nèi)可實(shí)現(xiàn)0.1um的分辨率。

配有670萬(wàn)像素的C-MOS平板探測(cè)器，幾何放大倍數(shù)可達(dá)2500倍。

JIMA卡專用于測(cè)量X射線系統(tǒng)的分辨率，以保證X射線系統(tǒng)在微米和納米焦點(diǎn)的圖像質(zhì)量。

DageQuadra7 JIMA卡實(shí)測(cè)可達(dá)到最高的分辨0.4um。

失效分析：細(xì)微缺陷及T角度觀察Via

失效分析：自動(dòng)測(cè)量孔洞率與球徑及數(shù)據(jù)導(dǎo)出

特殊能力：輻射累積測(cè)試

Dage Quadra7可通過(guò)曝光距離、管電壓、管功率、暴露時(shí)間等參數(shù)計(jì)算得到樣品所受輻射劑量。方便進(jìn)行輻射累積實(shí)驗(yàn)及芯片軟失效分析。

劑量單位為拉德（rad），1rad=0.01Gy

GIGA FORCE