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壓力傳感器的四種壓力技術(shù)!

廣州工控傳感科技有限公司 ? 2023-06-08 15:49 ? 次閱讀
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大家好,我是【廣州工控傳感★科技傳感器事業(yè)部,張工。

壓力傳感器是通過將實際壓力值轉(zhuǎn)換為電信號來工作的組件。壓力傳感器可配備各種不同的傳感元件,并響應(yīng)氣體或液體壓力施加在該元件上的力。然后測量施加在元件上的力并將其轉(zhuǎn)換為電輸出信號,使其可以被PLC、處理器和其他計算機監(jiān)控。



壓力傳感器的四種壓力技術(shù)

當(dāng)今市場上有許多不同的壓力傳感技術(shù)。世界各地制造商最常生產(chǎn)的一些技術(shù)如下:
1.電容式——電容式壓力傳感器通常受到大批量OEM專業(yè)應(yīng)用的青睞。檢測兩個表面之間的電容變化使這些傳感器能夠感應(yīng)極低的壓力和真空水平。在我們典型的傳感器配置中,緊湊的外殼包含兩個空間緊密、平行、電隔離的金屬表面,其中一個本質(zhì)上是一個能夠在壓力下輕微彎曲的隔膜。這些牢固固定的表面(或板)被安裝,以便組件的彎曲改變它們之間的間隙(實際上形成一個可變電容器)。產(chǎn)生的變化由帶有(或ASIC)的靈敏線性比較器電路檢測到,該電路放大并輸出成比例的高電平信號。



2.CVD類型——化學(xué)氣相沉積(或“CVD”)制造方法在分子水平上將多晶硅層粘合到不銹鋼膜片上,從而生產(chǎn)出具有卓越長期漂移性能的傳感器。常見的批量處理半導(dǎo)體制造方法用于以非常合理的價格創(chuàng)建具有出色性能的多晶硅應(yīng)變計電橋。CVD結(jié)構(gòu)具有出色的性價比,是OEM應(yīng)用中最受歡迎的傳感器。

3.濺射薄膜類型——濺射薄膜沉積(或“薄膜”)可創(chuàng)建具有最大組合線性度、滯后性和可重復(fù)性的傳感器。精度可高達(dá)滿量程的0.08%,而長期漂移每年低至滿量程的0.06%。



4.MMS類型——這些傳感器采用微加工硅(MMS)隔膜來檢測壓力變化。硅膜片通過充油的316SS隔離膜片免受介質(zhì)影響,它們與過程流體壓力串聯(lián)反應(yīng)。MMS傳感器采用常見的半導(dǎo)體制造技術(shù),可在緊湊的傳感器封裝中實現(xiàn)高耐壓、良好的線性度、出色的熱沖擊性能和穩(wěn)定性。

5.微熔類型——玻璃微熔技術(shù),將17-4PH低碳鋼通過高溫玻璃粉將硅應(yīng)變計燒結(jié)在腔體的背面,壓力腔體采用進口17-4PH不銹鋼整體加工,無"O"型圈、無焊縫,無泄漏隱患。


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