大家好，我是【廣州工控傳感★科技】EPL傳感器事業(yè)部，張工。

EPL是一款表面貼裝式壓力傳感器，其不銹鋼隔離膜式設(shè)計(jì)。多種量程，測(cè)量范圍從0~5至1000psi，同時(shí)，EPL壓力傳感器的非重復(fù)性為±0.25%FSO，確保了測(cè)量的低誤差。此外，EPL系列壓力傳感器的諧振頻率范圍為40~350kHz，具有寬頻率測(cè)量范圍，動(dòng)態(tài)測(cè)量時(shí)最大限度地保證測(cè)量不失真。EPL具有的溫度性能，其工作溫度范圍為-40~+120℃，可在高溫環(huán)境下的應(yīng)用。同時(shí)，最大溫度補(bǔ)償范圍為-40~+90℃，在寬溫度范圍內(nèi)確保了壓力測(cè)量精度，降低溫度變化對(duì)測(cè)量誤差的影響。EPL采用小型表面貼裝，使用合成橡膠或環(huán)氧樹(shù)脂，可輕松將EPL安裝于平面上。

EPL的特點(diǎn)：

測(cè)量范圍0~5至1000psi；

非重復(fù)性±0.25%FSO；

諧振頻率范圍為40~350kHz；

工作溫度范圍-40~+120℃；

最大溫度補(bǔ)償范圍-40~+90℃；

采用小型表面貼裝，使用合成橡膠或環(huán)氧樹(shù)脂；

EPL的應(yīng)用：化學(xué)處理汽車(chē)試驗(yàn)臺(tái)常見(jiàn)的實(shí)驗(yàn)室測(cè)量

另外EPB采用的量程從 0-5 到 5000 psi（0-0.35 到 350 bar），包括表壓，密封壓和絕壓。 EPB的直徑可以小到 3.2mm，響應(yīng)頻率從 55 到 400 kHz，適合動(dòng)態(tài)和靜態(tài)測(cè)量?？蛇x多種補(bǔ)償溫度范圍，從 -40°C 到 90°C。

下面講講EPB和EPL的加工新技術(shù)。

微細(xì)加工技術(shù)微細(xì)加工技術(shù)：包括光刻、腐蝕、氧化、擴(kuò)散等技術(shù)，其中光刻和腐蝕技術(shù)應(yīng)用最多。 在腐蝕技術(shù)中，由于濕法腐蝕方法簡(jiǎn)單，常用的腐蝕液有乙醇二胺、鄰苯二酚和水。 750ml：120g：240ml比例的混合液具有各向異性腐蝕特性，適用于各種特殊形狀的加工； KOH和水或異丙酮按44g：100ml配制的溶液，腐蝕速率與硅片的晶向有關(guān)，最適合晶向較深的凹槽。 這兩種蝕刻液都不能蝕刻摻硼的硅，因此可以通過(guò)摻硼來(lái)精確控制尺寸。 另一種常用的蝕刻劑是以 1:2:1 制備的 HF:HNO3 和乙酸。 腐蝕速度快，但選擇性不強(qiáng)，只能掩蔽。

微細(xì)加工是利用硅的各向異性腐蝕特性和與摻雜濃度有關(guān)的腐蝕速率，對(duì)硅材料進(jìn)行精細(xì)加工，制成復(fù)雜的敏感元件。 例如，制造重量輕、密封良好、生物相容的硅微型醫(yī)療傳感器，可以吞入藥丸中。 如果通過(guò)化學(xué)蝕刻的方法在硅材料或其他材料上選擇性地進(jìn)行微機(jī)械加工，如開(kāi)孔、減薄、開(kāi)槽等，形成微機(jī)械元件，就可以制成硅壓力、加速度、氣體和醫(yī)療傳感器。 這種微米級(jí)加工技術(shù)是一種蝕刻技術(shù)，也是一種微細(xì)加工技術(shù)。

離子注入技術(shù)：離子注入技術(shù)是半導(dǎo)體敏感元件的主要制備工藝。 它利用電荷來(lái)控制雜質(zhì)，可以將注入量控制在1010~106μm2范圍內(nèi)，因此可以精確控制PN結(jié)的深度，實(shí)現(xiàn)多種不同特殊離子的摻雜，尤其是特殊離子的摻雜。 離子，可修飾半導(dǎo)體表面，可替代等離子CVD或?yàn)R射技術(shù)制備多晶材料，避免水、氧等外來(lái)雜質(zhì)的污染，提高敏感元件的性能。