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      10.8.3 體硅微加工工藝∈《集成電路產業(yè)全書》

      深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-05-24 16:53 ? 次閱讀
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      Bulk-Si Micromachining Technology

      審稿人：北京大學 王瑋

      審稿人：北京大學 張興 蔡一茂

      https://www.pku.edu.cn

      10.8 集成微系統技術

      第10章 集成電路基礎研究與前沿技術發(fā)展

      《集成電路產業(yè)全書》下冊

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      • 集成電路
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